多波长同时照明的菲涅耳域非相干叠层衍射成像 被引量：6

1

作者 潘安 王东 +3 位作者 史祎诗 姚保利 马臻 韩洋 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期94-104,共11页

传统的叠层衍射成像往往采用单波长照明,即使使用多波长来提升恢复质量也是采用依次照明的方式,同时对相干性要求很高.非相干光照明一直被认为不利于衍射成像.本文提出了一种多波长同时照明的非相干叠层衍射成像方案及相应的多路复用叠... 传统的叠层衍射成像往往采用单波长照明,即使使用多波长来提升恢复质量也是采用依次照明的方式,同时对相干性要求很高.非相干光照明一直被认为不利于衍射成像.本文提出了一种多波长同时照明的非相干叠层衍射成像方案及相应的多路复用叠层衍射成像算法,并通过仿真和实验验证了该方案的可行性.相比于传统的相干叠层衍射成像方案,该方案不仅能够很好地恢复物像,同时也能够恢复不同波长下分别对应的物体的光谱响应、复振幅探针和光谱比例,从而获得更多的物体信息,具有多通道和多光谱的优势.同时,通过彩色图像编码的方式,能够实现物体的真彩色复原和图像质量的增强.此外,还证明了该算法具有很强的鲁棒性,研究了最多可分辨波长的数量.该研究结果为叠层衍射成像技术的信息多路复用及多光谱成像在更多领域的应用展现了可能性. 展开更多

关键词 非相干 叠层衍射成像 迭代算法 多波长

在线阅读 下载PDF 职称材料

叠层相干衍射成像算法发展综述 被引量：2

2

作者 潘新宇 毕筱雪 +5 位作者 董政 耿直 徐晗 张一 董宇辉 张承龙 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期102-122,共21页

随着同步辐射技术的发展和光源相干性的提升,叠层相干衍射成像(ptychography)得到快速发展.叠层相干衍射成像算法解决了传统相干衍射成像算法收敛速度较慢、容易陷入局部最优解和算法停滞等问题,具有成像视场大、算法鲁棒性强、对误差... 随着同步辐射技术的发展和光源相干性的提升,叠层相干衍射成像(ptychography)得到快速发展.叠层相干衍射成像算法解决了传统相干衍射成像算法收敛速度较慢、容易陷入局部最优解和算法停滞等问题,具有成像视场大、算法鲁棒性强、对误差容忍性高、应用范围广等优点,正成为相干衍射成像领域的热点研究方向.本文首先介绍了叠层相干衍射成像算法提出的背景;然后详细总结了叠层相干衍射成像算法的发展脉络、主要的算法流程以及应用场景,并且介绍了叠层相干衍射成像与人工智能结合的新算法及应用潜力;最后介绍了叠层相干衍射成像算法具体的并行化实现及常用软件包.本文有助于建立叠层相干衍射成像领域算法本身、人工智能以及计算方法全局研究视角,对于促进叠层相干衍射成像方法学的系统发展具有重要的参考意义. 展开更多

关键词 叠层相干衍射成像 算法 成像方法学 人工智能

在线阅读 下载PDF 职称材料

同步辐射X射线光斑信息对扫描相干衍射成像的影响 被引量：2

3

作者 刘海岗 许子健 +3 位作者 王春鹏 郭智 张祥志 邰仁忠 《辐射研究与辐射工艺学报》 CAS CSCD 2013年第6期51-58,共8页

本文采用拓展重叠关联迭代引擎算法,系统地模拟研究了X射线光斑尺寸、扫描点数及波前形貌对扫描相干衍射成像重建图像质量的影响。结果表明,在实际入射光斑尺寸不易确定时,算法中初始猜测光斑尺寸可以由模拟入射光斑最大光强值的1%对应... 本文采用拓展重叠关联迭代引擎算法,系统地模拟研究了X射线光斑尺寸、扫描点数及波前形貌对扫描相干衍射成像重建图像质量的影响。结果表明,在实际入射光斑尺寸不易确定时,算法中初始猜测光斑尺寸可以由模拟入射光斑最大光强值的1%对应边界确定。对物体进行扫描时,入射光斑个数大于7×7且重叠度优于70%可以重建出较好的图像。入射光斑的振幅和位相分布对重建图像质量也有着显著影响。 展开更多

关键词 扫描相干衍射成像 位相恢复算法 分辨率 同步辐射X射线

在线阅读 下载PDF 职称材料

不对称光阑对相干衍射成像缺陷检测效果的影响

4

作者 盛昌杰 韩雷 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2017年第14期178-182,共5页

微电子器件生产中的缺陷对于最终的产品质量是一个重大的关键因素。因此需要发展和提升一系列缺陷检测技术。无透镜的相干衍射成像技术提供了一种灵活的、高分辨的、无损的方式用于检测微电子器件的内部缺陷。然而在相干衍射成像中仍存... 微电子器件生产中的缺陷对于最终的产品质量是一个重大的关键因素。因此需要发展和提升一系列缺陷检测技术。无透镜的相干衍射成像技术提供了一种灵活的、高分辨的、无损的方式用于检测微电子器件的内部缺陷。然而在相干衍射成像中仍存在着一些问题。针对相位恢复过程中的孪生像问题提出了一种改变光阑形状的方法。仿真表明这种方法是可行的。仿真还表明这种改变光阑形状的方法有更快的收敛速度。不仅如此,这种新的改进对迭代过程中的光阑尺寸误差也不敏感。这将为相干衍射成像用于测量奠定技术基础。 展开更多

关键词 缺陷检测 相干衍射成像 相位恢复 迭代算法 孪生像

在线阅读 下载PDF 职称材料

非相干照明条件下的ptychographic iterative engine成像技术 被引量：1

5

作者 余伟 何小亮 +1 位作者 刘诚 朱健强 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第24期187-193,共7页

在传统多波长相干衍射成像理论的基础上提出适用于X-射线和电子束等非相干光源照明成像的改进多波长ptychographic iterative engine方法,同时将小孔形状和照明光谱信息用于叠代计算,可以在非相干照明条件下精确重建出物体的强度透射像... 在传统多波长相干衍射成像理论的基础上提出适用于X-射线和电子束等非相干光源照明成像的改进多波长ptychographic iterative engine方法,同时将小孔形状和照明光谱信息用于叠代计算,可以在非相干照明条件下精确重建出物体的强度透射像和相位透射像,并对光源带宽对重建精度的影响进行了分析,对于解决如何在非相干照明条件下对大尺寸物体进行精确相位成像的问题具有较好的科研和实用价值. 展开更多

关键词 相干衍射成像 相位恢复 多波长相干衍射成像算法

在线阅读 下载PDF 职称材料

厚样品三维叠层衍射成像的实验研究 被引量：5

6

作者 潘安 张晓菲 +2 位作者 王彬 赵青 史祎诗 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期107-122,共16页

叠层衍射成像是一种新兴的无透镜成像技术,目前限制这项技术发展的是光束透过样品时的乘法近似假设,这意味着在可见光域微米级分辨率下,叠层衍射成像的样品厚度不能超过数十微米.通过将样品沿轴多层切片的方式,在模拟实验和光学实验中... 叠层衍射成像是一种新兴的无透镜成像技术,目前限制这项技术发展的是光束透过样品时的乘法近似假设,这意味着在可见光域微米级分辨率下,叠层衍射成像的样品厚度不能超过数十微米.通过将样品沿轴多层切片的方式,在模拟实验和光学实验中均实现了对毫米量级厚样品的三维叠层衍射成像.模拟实验结果表明,单波长并不能很好地恢复三维厚样品,从而有必要引入多波长光束照明,随着波长数量的增加,三维厚样品的复原质量不断提高.光学实验使用两组不同厚度的样品进行实验验证,进一步研究了波长数量对复原结果的影响.随着波长数量增加,复原图像质量不断提高,证明了模拟实验的结论.利用所建光学实验装置,在三波长照明条件下取得了最好的成像与分离效果.同时针对实验中出现的叠影现象做出了合理的解释.研究结果对提高厚样品三维叠层衍射成像的质量具有现实意义. 展开更多

关键词 厚样品 三维叠层衍射成像 迭代算法 多波长

在线阅读 下载PDF 职称材料

动量加速方法提高层叠衍射成像的质量 被引量：1

7

作者 陶旭磊 许子健 +1 位作者 王春鹏 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期10-16,共7页

X射线层叠衍射成像技术(Ptychography)所采用的图像重建迭代算法是一种传统的梯度下降算法。该算法从一组猜测函数开始,实验中探测到的正确信息被不断代入循环迭代中来修正猜测函数,最终达到收敛。这种算法存在一个问题就是容易出现收... X射线层叠衍射成像技术(Ptychography)所采用的图像重建迭代算法是一种传统的梯度下降算法。该算法从一组猜测函数开始,实验中探测到的正确信息被不断代入循环迭代中来修正猜测函数,最终达到收敛。这种算法存在一个问题就是容易出现收敛停滞的现象,也就是所谓的陷入局域最小值。造成这种现象出现的原因是局域最小值附近的梯度极小导致梯度下降的幅度极小。为了解决这一问题,最近"动量"这一概念被引入Ptychography算法中,产生了动量加速层叠衍射迭代引擎(momentum Ptychographical Iterative Engine,mPIE)算法。加入"动量"相当于给迭代重建过程赋予了"惯性"性质,当前梯度下降的幅度不仅由当前梯度决定,还会受到之前变化的幅度影响。所以即便是在梯度极小的局域最小值附近,目标函数仍然可以跳出停滞,继续变小。为了验证"动量"的引入对图像重建的提升效果,详细比较了动量mPIE算法和传统的拓展层叠衍射迭代引擎(extending Ptychographical Iterative Engine,e PIE)算法对同一套扫描相干衍射成像实验数据的重建图像质量。重建结果表明:相对于传统重建算法,动量加速算法可以获得更好的图像重建质量。 展开更多

关键词 X射线扫描相干衍射成像 动量 X射线显微 相位恢复迭代算法

在线阅读 下载PDF 职称材料

利用混合态分解算法提高重叠关联成像的质量 被引量：1

8

作者 王春鹏 许子健 +1 位作者 陶旭磊 邰仁忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期7-14,共8页

X射线重叠关联成像技术所采用的常规相位恢复迭代算法均把入射光视为完全相干的单色光(即单态入射光),把样品视为稳定平衡的(即单态样品),把实验过程中成像系统内所有光学元器件的响应视为固定不变的。然而在实际实验中,上述三个条件很... X射线重叠关联成像技术所采用的常规相位恢复迭代算法均把入射光视为完全相干的单色光(即单态入射光),把样品视为稳定平衡的(即单态样品),把实验过程中成像系统内所有光学元器件的响应视为固定不变的。然而在实际实验中,上述三个条件很难得到同时保证。在非理想的实验条件下,任何单态条件发生变化或者出现多重态混合,其造成的退相干效应均会使衍射图样变得模糊,严重降低利用单态相位恢复迭代算法获得的重建图像质量。为了消除各种来源的混合态效应的负面影响,本文利用多模式拓展重叠关联迭代引擎算法(Mm-e PIE)和子像素上采样拓展重叠关联迭代引擎算法(Us-e PIE)这两种不同的混合态分解算法对实验数据进行处理。重建结果表明,不同来源的混合态效应(退相干效应)的分解结果在重建探针函数和重建样品函数中均得到了体现,两种混合态分解算法均能够显著改善重建图像的质量。其中多模式算法Mm-e PIE在消除入射探针的非相干效应方面更胜一筹。 展开更多

关键词 X射线扫描相干衍射成像 混合态 X射线显微 相位恢复迭代算法

在线阅读 下载PDF 职称材料

扫描相干衍射成像背景噪声分离算法研究 被引量：2

9

作者 邢振江 许子健 +2 位作者 孙天啸 张祥志 邰仁忠 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第22期244-251,共8页

X射线扫描相干衍射成像(ptychography)是一种新型的无透镜成像方法,摆脱了传统透镜成像中聚焦元件对分辨率的限制,使理论分辨率只受到X射线波长和探测器数值孔径的限制。然而实验测量中的噪声限制了该方法对成像质量的改善,甚至最终导... X射线扫描相干衍射成像(ptychography)是一种新型的无透镜成像方法,摆脱了传统透镜成像中聚焦元件对分辨率的限制,使理论分辨率只受到X射线波长和探测器数值孔径的限制。然而实验测量中的噪声限制了该方法对成像质量的改善,甚至最终导致图像重建失败。在研究了ptychography现有的相位恢复迭代算法后,本文提出了一种新型的图像重建迭代算法。该算法利用ptychography数据的高冗余性,通过梯度下降最小化技术,在重建样品和探针图像的同时还完成了背景噪声的同步迭代重建,实现了信号和噪声的盲分离功能。通过仿真模拟和实验数据重建,将该方法与传统的迭代算法进行了对比,结果表明新算法能够较好地实现信噪分离,显著提升ptychography的成像质量。 展开更多

关键词 X射线光学 扫描相干衍射成像 信噪分离 背景噪声 相位恢复迭代算法

原文传递

基于已知振幅信息约束的叠层光电成像 被引量：1

10

作者 王智博 张骏 +1 位作者 李拓 史祎诗 《中国科学院大学学报（中英文）》 CSCD 北大核心 2017年第5期543-550,共8页

为提高样品的重建精度及鲁棒性,提出一种可见光域上基于已知振幅信息约束的叠层成像方法。本方法仅需将待测样品周围的已知振幅图像作为先验参考信息,与样品共同叠层扫描,并代入迭代算法,即可获得优质的重建效果。通过模拟结果及搭建光... 为提高样品的重建精度及鲁棒性,提出一种可见光域上基于已知振幅信息约束的叠层成像方法。本方法仅需将待测样品周围的已知振幅图像作为先验参考信息,与样品共同叠层扫描,并代入迭代算法,即可获得优质的重建效果。通过模拟结果及搭建光学系统,对不同样品进行实验探究,证实了本方法的有效性。使用本方法,无需增加实验成本即可获取更优质的重建结果,并保持叠层成像技术的优势。本方法具有较强的抗噪声和抗孔径偏移能力,是一种简约、稳健、通用性强的衍射成像技术,具有较为重要的实用价值。 展开更多

关键词 叠层成像 振幅型先验信息 相干衍射 迭代算法

在线阅读 下载PDF 职称材料

边界条件对相干光位相恢复的影响研究

11

作者 赵致远 景文博 邹欢欢 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2018年第6期55-58,70,共5页

相干光的位相信息很难通过成像光学系统直接获得。目前比较先进的方法是利用相干衍射成像方法进行位相恢复,但其成像视场较小,对于结构稍复杂的物体容易出现图像重建停滞的现象。因此,研究了边界条件对相干衍射成像方法的影响。在传统... 相干光的位相信息很难通过成像光学系统直接获得。目前比较先进的方法是利用相干衍射成像方法进行位相恢复,但其成像视场较小,对于结构稍复杂的物体容易出现图像重建停滞的现象。因此,研究了边界条件对相干衍射成像方法的影响。在传统相干衍射成像方法的基础上,根据混合输入输出法和外推法的不同组合对迭代变换算法进行改造,形成了新的迭代变换算法。实验结果表明:对于单一边界条件的位相恢复方法,估算的位相和理想位相偏差的RMS仅为0.0096λ;对于双边界条件的位相恢复方法,检测偏差的RMS小于0.0012λ。新迭代变换算法对于相干光的位相恢复具有十分重要的应用价值。 展开更多

关键词 相干衍射成像 迭代算法 位相恢复

在线阅读 下载PDF 职称材料

可见光域多波长叠层衍射成像的实验研究 被引量：5

12

作者 王东 马迎军 +1 位作者 刘泉 史祎诗 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期146-156,共11页

运用模拟实验和光学实验研究了叠层衍射成像中波长数量和噪声对复原结果的影响.模拟结果表明,在多波长叠层衍射成像中,复原质量随波长数量的增加而不断提高并最终达到一定极限.光学实验以不同样品进行实验验证,进一步研究了增加波长与... 运用模拟实验和光学实验研究了叠层衍射成像中波长数量和噪声对复原结果的影响.模拟结果表明,在多波长叠层衍射成像中,复原质量随波长数量的增加而不断提高并最终达到一定极限.光学实验以不同样品进行实验验证,进一步研究了增加波长与随之引入噪声及系统复杂度间的制约关系.研究发现,并非波长越多成像效果越好,而可能存在一个最优的成像条件.利用所建实验装置,在双波长照明条件下取得了相对最优的成像效果.本结论对提高叠层衍射成像的质量具有现实意义. 展开更多

关键词 相干衍射 多波长叠层成像 迭代算法

原文传递

基于光栅分光法的相干衍射成像 被引量：7

13

作者 刘诚 潘兴臣 朱健强 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第18期192-197,共6页

提出一种可以通过单次曝光实现PIE(ptychographic imaging engine)成像的方法,该方法用正交光栅将入射细光束衍射为传播方向不同的子光束簇以对样品进行照明,并用CCD同时记录各个子光束所形成的衍射光斑阵列.该方法很好地克服了现有PIE... 提出一种可以通过单次曝光实现PIE(ptychographic imaging engine)成像的方法,该方法用正交光栅将入射细光束衍射为传播方向不同的子光束簇以对样品进行照明,并用CCD同时记录各个子光束所形成的衍射光斑阵列.该方法很好地克服了现有PIE方法的成像质量易受机械扫描误差影响和数据采集时间过长两个缺点,具有很好的实用价值. 展开更多

关键词 相干衍射成像 相位恢复 显微成像 迭代算法

原文传递

相干X射线衍射成像的数字模拟研究 被引量：4

14

作者 周光照 佟亚军 +3 位作者 陈灿 任玉琦 王玉丹 肖体乔 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期772-778,共7页

相位重建是实现X射线相干衍射成像的关键,它利用远场采集的样品傅里叶相干衍射花样、结合过采样理论,再采用迭代算法复原样品的相位信息.文中采用数字模拟的方法,利用小尺寸二维非周期性图形作为物场,研究了过采样比对重构结果的影响,... 相位重建是实现X射线相干衍射成像的关键,它利用远场采集的样品傅里叶相干衍射花样、结合过采样理论,再采用迭代算法复原样品的相位信息.文中采用数字模拟的方法,利用小尺寸二维非周期性图形作为物场,研究了过采样比对重构结果的影响,研究发现,迭代次数为1000次时最佳过采样比的范围是3—7之间.利用噪声模拟方法,研究了噪声对相位重建的影响,找到了完成相位重建的噪声限是信噪比不能低于10.分析了重构结果中孪生像以及随机平移的产生原因,并给出了相应的解决办法,结果表明,此方法可有效地提高重构图像的质量. 展开更多

关键词 相干X射线衍射成像 过采样 相位重建算法 显微成像

原文传递

中心挡板对扫描相干X射线衍射成像的影响 被引量：4

15

作者 刘海岗 许子健 +2 位作者 张祥志 郭智 邰仁忠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第15期102-109,共8页

本文采用重叠关联迭代引擎算法,系统地模拟研究了扫描相干衍射成像中中心挡板导致的低频信号丢失对重建图像质量的影响.结果表明,扫描相干衍射成像对中心挡板的承受能力远大于平面波单次相干衍射成像,且选择小尺寸入射探针和较高重叠度(... 本文采用重叠关联迭代引擎算法,系统地模拟研究了扫描相干衍射成像中中心挡板导致的低频信号丢失对重建图像质量的影响.结果表明,扫描相干衍射成像对中心挡板的承受能力远大于平面波单次相干衍射成像,且选择小尺寸入射探针和较高重叠度(70%)可进一步降低中心丢失信号对扫描相干衍射成像的负面影响.另外,光斑扫描位置误差在重叠度较高时将超过中心挡板成为扫描相干衍射成像最主要的负面影响因素.本文研究结果对扫描相干衍射成像实验中如何应用中心挡光板具有重要的指导意义,将有助于进一步提高扫描相干衍射成像的分辨率. 展开更多

关键词 扫描相干衍射成像 位相恢复算法 低频丢失信号

原文传递

相干调制成像技术的迭代收敛性及重建唯一性 被引量：3

16

作者 潘兴臣 刘诚 朱健强 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第18期101-110,共10页

将相干调制成像(CMI)迭代过程等效为梯度搜索算法,建立了CMI收敛模型,从解方程角度提出为保证重建结果的唯一性需要满足的基本条件,即有调制板时光斑非0点数是无调制板时光斑非0点数的2倍,或有调制板时放大λL(λ为波长,L为衍射距离)倍... 将相干调制成像(CMI)迭代过程等效为梯度搜索算法,建立了CMI收敛模型,从解方程角度提出为保证重建结果的唯一性需要满足的基本条件,即有调制板时光斑非0点数是无调制板时光斑非0点数的2倍,或有调制板时放大λL(λ为波长,L为衍射距离)倍后的调制板频谱截止宽度与无调制板时光斑截止宽度的比值至少为0.414。通过模拟计算进行了很好的验证。该研究为CMI的进一步优化提供了理论依据。 展开更多

关键词 成像系统 相位恢复 相干衍射成像 相干调制成像 迭代算法

原文传递

用改进的Fienup迭代算法进行数字全息重建 被引量：7

17

作者 潘兴臣 刘诚 朱健强 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期46-52,共7页

数字全息成像中往往包括再现像、共轭像和零级项,再现像的分离是常见而又难以彻底解决的问题。提出一种新的全息图重建算法,即利用相干衍射成像(CDI)中的迭代方法处理数字全息图,实现仅有一个实像的再现结果,从而彻底解决该问题。该方... 数字全息成像中往往包括再现像、共轭像和零级项,再现像的分离是常见而又难以彻底解决的问题。提出一种新的全息图重建算法,即利用相干衍射成像(CDI)中的迭代方法处理数字全息图,实现仅有一个实像的再现结果,从而彻底解决该问题。该方法包括两个步骤:首先通过CCD分别测量样品单独存在、样品和参考光同时存在以及参考光的远场衍射分布;然后通过计算机进行迭代运算。由于干涉光的存在,该算法比传统的CDI算法有更快的收敛速度和重建质量。同时进行了数值模拟验证并对生物切片进行了物像重建。 展开更多

关键词 全息 相干衍射成像 再现像分离 迭代算法 振幅相位重建

原文传递

PIE成像方法技术现状及发展趋势 被引量：12

18

作者 姚玉东 刘诚 +3 位作者 潘兴臣 陶华 王海燕 朱健强 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期201-218,共18页

作为一种新近发展的无透镜成像技术,PIE(ptychographical iterative engine)不但保持了传统相干衍射成像方法装置简单、使用方便等优点,克服了视场受限和收敛速度慢等缺点,还具有成像范围可扩展、收敛速度快、抗噪声能力强等优势,在光学... 作为一种新近发展的无透镜成像技术,PIE(ptychographical iterative engine)不但保持了传统相干衍射成像方法装置简单、使用方便等优点,克服了视场受限和收敛速度慢等缺点,还具有成像范围可扩展、收敛速度快、抗噪声能力强等优势,在光学、X射线和电子束等领域得到了广泛关注并开展了大量研究,是一种有可能在大范围内替代现有相位成像技术的新方法。主要介绍了PIE方法的技术背景、技术现状、相关应用及面临的问题和可能的发展方向。 展开更多

关键词 成像系统 PIE 相干衍射成像 迭代算法 相位恢复

原文传递

照明方式对PIE成像质量影响的研究 被引量：2

19

作者 程君 刘诚 朱健强 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期141-148,共8页

系统研究了照明光的波前曲率对PIE成像分辨力的影响,证明采用弯曲波前的照明光可以显著提升PIE对随机噪声和量化误差的抗干扰能力,从而能够使重建图像的分辨力提高3倍以上,为实际实验中照明光的选择提供了指导。

关键词 相干光学 曲率照明 相干衍射成像 相位恢复 迭代算法

原文传递

双光束照明3PIE层析成像 被引量：1

20

作者 陈文 蒋志龙 +1 位作者 刘诚 朱健强 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期86-94,共9页

在单光束照明3PIE(Ptychographic Iterative Engine)方法中,照明光垂直照射在待测样品表面,没有考虑照明光倾斜对重构结果的影响。在单光束照明3PIE方法的基础上提出了双光束照明3PIE方法,同时模拟分析了初始猜测照明光中相位倾斜因子... 在单光束照明3PIE(Ptychographic Iterative Engine)方法中,照明光垂直照射在待测样品表面,没有考虑照明光倾斜对重构结果的影响。在单光束照明3PIE方法的基础上提出了双光束照明3PIE方法,同时模拟分析了初始猜测照明光中相位倾斜因子对成像质量的影响。双光束照明3PIE方法在迭代恢复样品的过程中,两束照明光均用于更新同一样品的复振幅分布,理论分析和实验结果均表明,双光束照明3PIE方法能够提高算法的收敛速度,有效减弱恢复样品不同层次之间的串扰,适用于三维层析成像。 展开更多

关键词 成像系统 相干光学 相干衍射成像 层析 迭代算法 相位恢复

原文传递