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题名大口径光学镜面的扇形射流自动清洗技术
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作者
何其佳
彭起
侯智芸
江川
王培成
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机构
中国科学院光场调控科学技术全国重点实验室
中国科学院光束控制重点实验室
中国科学院光电技术研究所
中国科学院大学
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出处
《流体机械》
CSCD
北大核心
2024年第12期79-86,共8页
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基金
中国科学院重点实验室基金(CXJJ-22S008)。
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文摘
针对目前大口径镜面无与之匹配的自动清洗设备的问题,提出了一种扇形射流自动清洗技术,对扇型喷嘴的结构、布置形式和清洗力进行了研究,喷射角度在25°~125°范围内可控,提出气液混合清洗方式,结合自动化设备,在保护镜面不受损伤的前提下,设计了一套针对大口径光学镜面的自动清洗装置,可以在1 min内完成镜面清洗。通过Zeta仪对清洗后的镜面形貌进行观测,剩余杂质颗粒直径<10μm,无凹坑、划痕等缺陷。清洗装置自动化程度高,清洁速度快,清洁效果满足加工及镀膜要求,不会损伤镜面。研究为大口径光学镜面的自动化清洗提供了一种思路。
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关键词
大口径光学镜面清洗
自动清洗
扇形射流
喷嘴布置
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Keywords
cleaning of large-aperture optical mirrors
automatic cleaning
fan-shaped jet
nozzle arrangement
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分类号
TH74
[机械工程—光学工程]
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