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题名气动巨量转移技术的多孔射流场仿真与试验
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作者
俞建荣
张育恒
刘强
张梦杰
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机构
北京石油化工学院精密电磁装备与先进测量技术研究所
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出处
《制造业自动化》
2025年第4期183-188,共6页
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基金
北京市自然科学基金面上项目(3212004)
北京市属高等学校高水平科研创新团队建设支持计划项目(BPHR20220110)
北京市属高校分类发展项目(11000023T000002199202)。
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文摘
针对目前Mini/Micro LED气动巨量转移中气体射流冲击不均匀、不稳定的问题,提出了一种利用基于多通孔的吹气方案,利用气体射流透过多通孔玻璃板,同时对薄膜冲击使其形变产生微泡,减小芯片与薄膜之间的接触面积,从而实现芯片向目标基板的转移,并从仿真和试验的两个方面对工作过程中的气体射流的流场特性进行了研究。通过COMSOL Multiphysic软件对流场分析得到了不同数量的射流孔的气体驱动规律。设计了试验平台并进行测试,试验结果表明将射流孔布置在中心位置且射流孔与芯片的接触面积越大,驱动效果越佳,实现芯片的高精度、无损伤转移。在气压为1.0 MPa,气体持续时间0.3 s,出气孔和通孔玻璃板之间的间距为0.1 mm的环境下进行转移,试验得到本方案的实际转移良率达到99.9815%。
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关键词
Mini/Micro
LED
巨量转移技术
多孔射流
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Keywords
Mini/Micro LED
massive transfer
porous jet
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分类号
TM359.4
[电气工程—电机]
TP60
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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题名流固耦合气动巨量转移技术薄膜形变研究
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作者
刘杨波
徐杰
刘强
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机构
国家电光源质量监督检验中心(北京)
北京石油化工学院精密电磁装备与先进测量技术研究所
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出处
《中国照明电器》
2024年第7期9-13,62,共6页
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基金
北京市自然科学基金面上项目资助(3212004)
北京市属高等学校高水平科研创新团队建设支持计划项目(BPHR20220110)
北京市属高校分类发展项目——面向北京高端制造业的高水平应用型科研成果孵化转化平台建设(11000023T000002199202)。
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文摘
针对现有芯片转移技术良率低,速度慢的问题,本文研究了一种高效的Mini/Micro LED芯片大规模转移技术——气动巨量转移技术。该方法使用微孔气针喷射稳定气流引发薄膜凸起形变,实现对LED芯片的精准快速转移。文中利用流固耦合仿真进行了关键参数的研究和优化,包括薄膜的物理性质、扩张程度。仿真结果显示,调整薄膜的弹性模量和扩张程度可以显著优化转移过程中的薄膜凸起形态,从而提高转移精度。实验验证表明,使用弹性模量28.2 MPa、泊松比0.32、薄膜扩张量40 mm条件下的薄膜进行转移测试,转移精度可以达到±15μm。本技术的提出为Mini/Micro LED显示屏的高质量生产提供了潜在解决方案。
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关键词
Mini/Micro
LED
巨量转移技术
薄膜
流固耦合
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Keywords
Mini/Micro LED
massive transfer
films
fluid-structure interaction
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分类号
TH138.9
[机械工程—机械制造及自动化]
TN312.8
[电子电信—物理电子学]
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