微光电子机械系统技术及其应用 被引量：3

1

作者 李红光 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期1-3,7,共4页

概述微光电子机械系统(MOEMS)技术发展历史,分析其现状。以美国陆军研究开发和工程指挥部的"战略研究规划"中的7个研究领域为例,分析MOEMS技术应用潜力和未来发展趋势。提出现在MOEMS工程遇到的技术挑战:MOEMS加工工艺,达到... 概述微光电子机械系统(MOEMS)技术发展历史,分析其现状。以美国陆军研究开发和工程指挥部的"战略研究规划"中的7个研究领域为例,分析MOEMS技术应用潜力和未来发展趋势。提出现在MOEMS工程遇到的技术挑战:MOEMS加工工艺,达到全反射的光学表面的加工工艺,可与电子线路和MOEMS集成兼容的CMOS半导体材料,MOEMS器件的组装。 展开更多

关键词 微光电子机械系统 微电子机械系统 微系统 微结构 小型系统

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晶圆键合技术与微电子机械系统新进展 被引量：4

2

作者 葛劢冲 赵晓东 《电子工业专用设备》 2004年第7期15-20,共6页

概述了晶圆键合技术穴WB雪和微电子机械系统穴MEMS雪的新进展。介绍了晶圆键合工艺、技术要求、应用选择以及对MEMS的作用;展示了MEMS制造技术和应用前景。

关键词 晶圆键合技术 绝缘体上硅 微电子机械系统 微光电子机械系统 晶圆级封装

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微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用

3

作者 李萍 《电子元器件应用》 2001年第4期9-15,21,共8页

本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。

关键词 微电子机械系统 微光学电子机械系统 传感机理 传感器

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微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景 被引量：4

4

作者 蒋军彪 韩宗虎 《激光与光电子学进展》 CSCD 2001年第4期40-45,共6页

综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列 ;简要叙述其发展历程 ,着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向 。

关键词 微型反射镜阵列 微型化技术 微机械系统 微光学电子机械系统

原文传递

MOEMS光学系统的发展与应用 被引量：3

5

作者 耿凡 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期110-113,共4页

概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用和广阔前景,提出了相关的研究建议。

关键词 微光电子机械系统 光学系统 制作技术

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光开关技术进展 被引量：13

6

作者 禹培栋 王国忠 +1 位作者 陈明华 谢世钟 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期149-154,共6页

随着密集波分复用技术的应用以及光联网的提出 ,光开关技术已经成为未来光联网的关键技术之一。光开关广泛应用于交叉连接设备、保护倒换、分插复用器等各种设备中。综述了目前已经实用或正在研究的光开关及阵列的各种制作技术 ,包括微... 随着密集波分复用技术的应用以及光联网的提出 ,光开关技术已经成为未来光联网的关键技术之一。光开关广泛应用于交叉连接设备、保护倒换、分插复用器等各种设备中。综述了目前已经实用或正在研究的光开关及阵列的各种制作技术 ,包括微光电子机械技术、液晶技术、全息光栅技术以及气泡技术、热光技术及声光技术等 ,详细分析了各种技术相应的发展状况、技术特点和应用范围 ,并分析了其发展的趋势。 展开更多

关键词 光开关 光联网 密集波分复用 微光电子机械系统

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体硅MOEMS阵列光开关的制作 被引量：2

7

作者 董玮 梁静秋 +5 位作者 刘彩霞 张歆东 贾翠萍 周敬然 王立军 陈维友 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期573-575,587,共4页

设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直... 设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、倾斜下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极阵列。具有集成性好,制作工艺简单,微反射镜的表面平整垂直,各单元的微镜面平行,反射镜面的尺寸较大等优点。对光开关的参数进行了测试,指出了体硅MOEMS阵列光开关制作过程中存在的问题。 展开更多

关键词 光开关阵列 微光电子机械系统 微反射镜 倾斜下电极

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MOEMS 2D扫描镜的研究进展 被引量：3

8

作者 马天义 余跃 +1 位作者 许敬 吴建东 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第6期1-3,8,共4页

微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,... 微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,并给出了典型产品及系统应用,总结了目前在MOEMS扫描镜的系统应用方面存在的难点问题。介绍了国内MOEMS扫描镜的研究现状,并分析了与国外产品的差距。 展开更多

关键词 微光电子机械系统 扫描镜 静电驱动 框架式

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基于MOEMS敏感结构的非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器 被引量：5

9

作者 解涛 杨志 +2 位作者 王文军 吴宇 刘涛 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第7期627-632,共6页

随着声学探测技术的不断进步,对声压传感器提出了高精度、小型化、抗电磁干扰能力强和易批量生产等要求。研制了基于微光电子机械系统(MOEMS)敏感结构的非本征Fabry-Perot(F-P)干涉仪式光纤声压传感器。利用圆片级集成技术实现MOEMS敏... 随着声学探测技术的不断进步,对声压传感器提出了高精度、小型化、抗电磁干扰能力强和易批量生产等要求。研制了基于微光电子机械系统(MOEMS)敏感结构的非本征Fabry-Perot(F-P)干涉仪式光纤声压传感器。利用圆片级集成技术实现MOEMS敏感结构与光学腔室的高精度对准,大大提高了传感器的一致性。声压传感器的声学性能测试结果表明,其具有高灵敏度和良好的线性响应度,信噪比达到78.3 dB,实现了对声压信号的优良响应。此外,该传感器既具有光纤传感技术精度高和抗电磁干扰能力强等优点,又具备了微电子机械系统(MEMS)体积小和易批量生产的优势。 展开更多

关键词 微光电子机械系统(MOEMS) Fabry-Perot(F-P)干涉仪 光纤传感 声压传感器 圆片级集成技术

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基于半导体纳米线的环形激光器 被引量：1

10

作者 李圣昆 赵跃进 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第2期102-106,169,共6页

针对微光电子机械系统(MOMES)传感器件对微型片上光源的需求与当前半导体纳米线结构制备的进展,设计了一种基于Ⅱ-Ⅵ族半导体纳米线的激光器。将生长出来的纳米线在纯净水中超声制备均匀分布的悬浊液,再滴至载玻片表面,在显微镜50×... 针对微光电子机械系统(MOMES)传感器件对微型片上光源的需求与当前半导体纳米线结构制备的进展,设计了一种基于Ⅱ-Ⅵ族半导体纳米线的激光器。将生长出来的纳米线在纯净水中超声制备均匀分布的悬浊液,再滴至载玻片表面,在显微镜50×物镜下观测得到纳米线呈现稀疏分布,约2~3根,选择尺寸较长的纳米线作为制备环形谐振腔的材料。首先使用355 nm激光激发单根的纳米线,得到半导体纳米线受激发射的以505 nm为中心波长的绿光,半高全宽(FWHM)为20 nm,然后采用光纤探针和微米位移平台操控纳米线,制备了一个半径约10μm的环形谐振腔,并得到其激发光谱,谐振峰的中心位置在521.5 nm处,FWHM为0.19 nm,由此计算得到的品质因子值为2700,制备得到的谐振腔激光器可以满足MOMES器件集成的需要。 展开更多

关键词 微光电子机械系统(MOMES) 半导体纳米线 谐振腔 微型激光器 光致发光

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MOEMS气体传感技术研究进展 被引量：1

11

作者 蔡炜铭 任青颖 +4 位作者 江彦虎 魏鸿飞 彭俊越 常春耘 薛梅 《半导体光电》 CAS 北大核心 2022年第6期1040-1048,共9页

微光电子机械系统(MOEMS)气体传感技术是光学式气体传感器技术与MOEMS技术、新材料技术相结合的创新型技术方案。MOEMS气体传感器具有更低的价格、更高的集成度、更强的抗干扰能力,以及更高的测试精度。文章首先阐述了主要的光学气体传... 微光电子机械系统(MOEMS)气体传感技术是光学式气体传感器技术与MOEMS技术、新材料技术相结合的创新型技术方案。MOEMS气体传感器具有更低的价格、更高的集成度、更强的抗干扰能力,以及更高的测试精度。文章首先阐述了主要的光学气体传感系统的工作原理及系统结构,随后介绍了MOEMS气体传感技术中最新的微光学器件及微光学系统。通过对MOEMS气体传感器的主要研究成果和进展的综述,对未来MOEMS气体传感器的研究重点和研究挑战等进行了展望。 展开更多

关键词 微光电子机械系统 气体传感器 光谱分析

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EFPI式光纤声压传感器中敏感薄膜设计与分析

12

作者 解涛 杨志 +2 位作者 王文军 吴宇 刘涛 《现代信息科技》 2021年第2期35-37,共3页

针对非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器中的声压敏感薄膜性能提升,设计并制备了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构。对不同声压敏感薄膜感知声压的性能进行测试。结果表明:声压敏感薄膜的厚度越薄,其声压灵敏度越大,对比400 nm... 针对非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器中的声压敏感薄膜性能提升,设计并制备了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构。对不同声压敏感薄膜感知声压的性能进行测试。结果表明:声压敏感薄膜的厚度越薄,其声压灵敏度越大,对比400 nm厚度和1000 nm厚度的声压敏感薄膜,发现在相同声压的声波作用下,前者的输出电压比后者大一个数量级。此外,增加增敏环数可以有效地释放应力,降低薄膜的刚性,使得声压传感器的性能有所提升。 展开更多

关键词 微光电子机械系统 F-P干涉 光纤传感 声压传感器 增敏结构

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基于磁致旋光效应的双路MOEMS加速度传感方法

13

作者 刘丽双 武亮伟 +4 位作者 郭浩 唐军 石云波 林绍卓 刘郁松 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第12期1308-1313,共6页

基于磁致旋光效应的加速度传感机理,提出了一种双路加速度传感方法。通过设置双路磁光晶体,利用其中一路磁光晶体敏感加速度信号引起的磁致旋光效应,另一路磁光晶体敏感外界的磁、热噪声并作为参考信号,通过对双路信号的同步差分检测,... 基于磁致旋光效应的加速度传感机理,提出了一种双路加速度传感方法。通过设置双路磁光晶体,利用其中一路磁光晶体敏感加速度信号引起的磁致旋光效应,另一路磁光晶体敏感外界的磁、热噪声并作为参考信号,通过对双路信号的同步差分检测,以去除外界磁、热噪声对磁光晶体的干扰。实验结果表明,基于磁致旋光效应的双路微光电子机械系统(MOEMS)加速度传感方法的灵敏度为314.3 mV/g,噪声谱密度为■,零偏不稳定性为29.1μg,表现出了较高的传感性能。相较于单路系统,双路差分检测有效去除了外界磁、热噪声的影响,提高了加速度传感的检测精度及应用范围。 展开更多

关键词 微光电子机械系统(MOEMS) 磁致旋光效应 磁光晶体 加速度传感 双路差分

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基于MOEMS的无阻塞阵列光开关

14

《光机电信息》 2005年第8期15-15,共1页

关键词 光开关 MOEMS 阵列 阻塞 微光电子机械系统 上海交大 微纳米技术 光学实验室 研制成功

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基于MOEMS的无阻塞阵列光开关

15

《光机电信息》 2005年第7期18-18,共1页

关键词 光开关 MOEMS 阵列 阻塞 微光电子机械系统 微纳米技术 光学实验室 研制成功 研究人员 上海交大 研究院

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基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关研制成功

16

《传感器世界》 2005年第5期37-38,共2页

近日，国家“863”专家组在北京主持召开了“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目验收会，该项目是由上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的。

关键词 光开关 MOEMS 研制成功 上海光学精密机械研究所 阵列 阻塞 微光电子机械系统 上海交通大学 微纳米技术 光学实验室 项目验收 专家组 研究院

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上海光机所基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关研制成功

17

《传感器世界》 2005年第6期38-38,共1页

“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目是中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的国家“863”计划项目。

关键词 光开关 MOEMS 研制成功 上海光学精密机械研究所 阵列 阻塞 微光电子机械系统 上海交通大学 微纳米技术 光学实验室 中国科学院 计划项目 研究院

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光学镜头、光学零部件

18

《中国光学》 EI CAS 2001年第6期3-4,共2页

TH703 2001063768微镜单元的设计与加工工艺研究=Research on design and fabrication process of micromirror cell[刊,中]/蒋军彪,冯培德,魏芳琳,徐建东(飞行自动控制所.陕西,西安(710065))//航空精密制造技术.—2001,37(1).

关键词 飞行自动控制 微镜单元 微光学电子机械系统 工艺研究 精密制造技术 角锥棱镜 微型反射镜阵列 矩阵光学 光学镜头 应用前景

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低电压驱动微机械1×8光开关的动态分析 被引量：6

19

作者 鲍俊峰 曹钟慧 +2 位作者 袁野 邹勇卓 吴兴坤 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期41-44,共4页

研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关。由5V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径100μm转轴转动,实现开关的状态切换。开关时间2ms,插入损耗<0.8dB,具有断电自锁功能。器件制作采用微... 研制了一种小体积、低成本及可扩展的低电压1×8微机械电子系统(MEMS)光开关。由5V电压驱动电磁机构动作,带动微反射镜绕直径100μm转轴转动,实现开关的状态切换。开关时间2ms,插入损耗<0.8dB,具有断电自锁功能。器件制作采用微细电火花加工(EDM)技术。应用有限元方法进行了器件开关时间的理论分析,器件的结构优化设计,并与实测结果进行了比较。 展开更多

关键词 微光电子机械系统 MOEMS 光开关 电火花加工 EDM 光纤通信 开关时间 工作原理 性能测试

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