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可动微机电器件摩擦磨损测试方法研究 被引量:2
1
作者 孟永钢 郭占社 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期12-14,17,共4页
为比较真实地模拟可动微机电器件侧面间的摩擦磨损状况,进而研究MEMS器件的摩擦磨损规律,设计和研制了一种基于单晶硅材料的微摩擦试验模块,利用微机械体硅工艺及键合技术,将摩擦磨损测试单元、加载单元以及微力传感元件集成在单一的芯... 为比较真实地模拟可动微机电器件侧面间的摩擦磨损状况,进而研究MEMS器件的摩擦磨损规律,设计和研制了一种基于单晶硅材料的微摩擦试验模块,利用微机械体硅工艺及键合技术,将摩擦磨损测试单元、加载单元以及微力传感元件集成在单一的芯片上。最后,在大气环境下借助数字光学显微镜和图像处理技术对该试验模块的静、动态摩擦因数及磨损状况进行了测试。试验结果表明:随着正压力的增加,该摩擦副的摩擦因数相应减小,在较长时间的摩擦过程中磨粒表面出现了比较严重的氧化现象。 展开更多
关键词 微机电器件 摩擦磨损 体硅工艺 键合技术 摩擦因数
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适用于微机电器件的钯-镍合金膜层的制备
2
作者 王利卿 张国辉 《电镀与环保》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期1-3,共3页
以紫铜片为基体,采用脉冲电沉积方法制备了钯-镍合金膜层。选取占空比和脉冲频率作为变量,分别研究了占空比和脉冲频率对钯-镍合金膜层的孔隙率和内应力的影响。结果表明:随着占空比的增大,孔隙率升高,内应力先减小后增大;随着脉冲频率... 以紫铜片为基体,采用脉冲电沉积方法制备了钯-镍合金膜层。选取占空比和脉冲频率作为变量,分别研究了占空比和脉冲频率对钯-镍合金膜层的孔隙率和内应力的影响。结果表明:随着占空比的增大,孔隙率升高,内应力先减小后增大;随着脉冲频率的提高,孔隙率明显降低,内应力增大;当占空比为20%~30%、脉冲频率为1.0 kHz时,采用脉冲电沉积方法能制备出适用于微机电器件的钯-镍合金膜层。 展开更多
关键词 钯-镍合金膜层 微机电器件 孔隙率 内应力
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MEMS器件捷联惯导系统旋转调制技术 被引量:9
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作者 王学运 吕妍红 +1 位作者 王玮 王蕾 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期494-498,共5页
使用微机电(MEMS)惯性器件利于捷联惯导系统的低成本和小型化,但MEMS器件误差较大.为提高系统精度,引入了一种全自主误差补偿方法——旋转调制.说明了旋转调制对常值误差的抑制作用和对导航精度的改善效果,并在旋转轴数目、旋转方向、... 使用微机电(MEMS)惯性器件利于捷联惯导系统的低成本和小型化,但MEMS器件误差较大.为提高系统精度,引入了一种全自主误差补偿方法——旋转调制.说明了旋转调制对常值误差的抑制作用和对导航精度的改善效果,并在旋转轴数目、旋转方向、旋转连续性和旋转速度等方面比较了不同旋转调制方案.根据MEMS器件的误差特性,选择了一种适合MEMS器件捷联惯导系统的旋转调制方案并自主研发了原理样机.静态和车载实验表明:旋转调制可以明显抑制MEMS器件常值误差对导航精度的影响,200 s内俯仰和横滚姿态精度提高了5倍,速度和位置精度提高了近10倍. 展开更多
关键词 旋转调制 微机电器件 捷联惯导系统 惯性测量单元 误差自补偿
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激光驾束导弹制导控制辅助惯性器件滤波 被引量:2
4
作者 赵斌 周军 卢晓东 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2015年第3期620-625,共6页
针对某型激光驾束导弹微机电(micro electro mechanical systems,MEMS)速率陀螺仪和加速度计测量噪声大的问题,提出采用姿控舵偏角和过载指令实现陀螺仪和加速度计的滤波。首先,基于姿态运动学建立MEMS速率陀螺滤波方程;其次,结合局部... 针对某型激光驾束导弹微机电(micro electro mechanical systems,MEMS)速率陀螺仪和加速度计测量噪声大的问题,提出采用姿控舵偏角和过载指令实现陀螺仪和加速度计的滤波。首先,基于姿态运动学建立MEMS速率陀螺滤波方程;其次,结合局部模型跟踪控制律特点,引入过载指令与实际过载的近似数学描述,建立加速度计滤波方程;最后,采用无迹卡尔曼滤波(unscented Kalman filter,UKF)实现对三轴角速率、两轴加速度、攻角及侧滑角的辅助估计。半实物仿真试验表明,该算法可以将速率陀螺误差及加速度计误差分别降低至16%和30%,同时对攻角和侧滑角的估计偏差约为0.03°,证明算法有效。 展开更多
关键词 微机电器件 舵偏角 制导指令 辅助滤波
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硅微仿生矢量水声传感器研制 被引量:19
5
作者 谢斌 薛晨阳 +3 位作者 张文栋 熊继军 张斌珍 陈尚 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2300-2303,共4页
根据鱼类侧线听觉仿生学原理,设计出硅微仿生矢量水声传感器结构.该传感器结构包括高精度压阻式硅微换能单元结构和空芯光子晶体光纤柱体.讨论了水声传感器结构的仿生学原理和声学原理.用有限元软件Ansys分析传感器的应力分布,讨论了传... 根据鱼类侧线听觉仿生学原理,设计出硅微仿生矢量水声传感器结构.该传感器结构包括高精度压阻式硅微换能单元结构和空芯光子晶体光纤柱体.讨论了水声传感器结构的仿生学原理和声学原理.用有限元软件Ansys分析传感器的应力分布,讨论了传感器的加工工艺,并采用气流静态加载法测试出传感器的矢量指向性图,测试结果表明,仿生水声传感微结构具有“8字型”矢量指向性. 展开更多
关键词 仿生学 矢量水声传感器 微机电器件
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神经芯片技术的研究进展 被引量:7
6
作者 吴浩扬 吴裕远 《生物化学与生物物理进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第1期89-93,共5页
神经芯片是一种用硅微加工技术制造的微机电器件 .活体的哺乳动物神经元细胞在神经芯片上培养存活 ,通过外加电路的控制 ,人们可以方便地对活体神经元进行检测 ,研究其在外加激励模式下的响应 ,整个研究过程是选择性的、实时的、连续的 ... 神经芯片是一种用硅微加工技术制造的微机电器件 .活体的哺乳动物神经元细胞在神经芯片上培养存活 ,通过外加电路的控制 ,人们可以方便地对活体神经元进行检测 ,研究其在外加激励模式下的响应 ,整个研究过程是选择性的、实时的、连续的 .简要评述了神经芯片技术的研究进展 。 展开更多
关键词 神经芯片 微机电器件 多电极阵列 神经元突触
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石墨平台微结构的纳米级红外光谱表征 被引量:2
7
作者 史云胜 刘秉琦 杨兴 《红外技术》 CSCD 北大核心 2016年第11期914-919,共6页
具有原子级光滑平面的石墨平台微结构是实现特殊功能微机电器件、微系统的重要基础。石墨微结构的化学信息表征对微机电器件、微系统的制备及性能有着重要的意义。先使用原子力显微镜获得形貌信息,再使用纳米级红外光谱对微结构的不同... 具有原子级光滑平面的石墨平台微结构是实现特殊功能微机电器件、微系统的重要基础。石墨微结构的化学信息表征对微机电器件、微系统的制备及性能有着重要的意义。先使用原子力显微镜获得形貌信息,再使用纳米级红外光谱对微结构的不同区域进行表征,获得了多个特征位置的红外光谱。通过对红外光谱的分析发现相对于其他位置,石墨平台表面具有非常有序的碳六元环结构,并且吸附的水分子最少。而石墨平台微结构的边缘由于悬键及微加工等原因是吸附水分子最多的位置,石墨基底由于微加工的破坏已经不具有碳六元环结构。这些信息为了解微结构的化学状态提供了帮助,明确所处环境对石墨平台微结构不同位置的影响,能够指导微机电器件的制备与应用。 展开更多
关键词 微机电器件 红外光谱 纳米级 石墨微结构
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无线传感器网络微型节点设计的电磁建模方法 被引量:1
8
作者 吴银锋 万江文 冯仁剑 《北京邮电大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期10-14,共5页
为解决微型无线传感器节点设计过程中无法分析射频微机电(RF MEMS)器件微小可动结构的电磁特性问题,提出一种电磁建模方法——变形时域交替方向隐式有限差分(DADI-FDTD)法.采用有限差分技术,引入时间变量实现一维垂直运动结构动态方程... 为解决微型无线传感器节点设计过程中无法分析射频微机电(RF MEMS)器件微小可动结构的电磁特性问题,提出一种电磁建模方法——变形时域交替方向隐式有限差分(DADI-FDTD)法.采用有限差分技术,引入时间变量实现一维垂直运动结构动态方程的时域离散;讨论了时域交替方向隐式有限差分(ADI-FDTD)法的三维数值色散关系;提出线性电(磁)介质参数插值的方法,解决了运动结构的机械时空步与电磁时空步的不一致问题,实现了复杂三维动态结构的时域描述.仿真实验验证了该方法可行有效. 展开更多
关键词 无线传感器网络 射频微机电器件 电磁建模 线性插值
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低成本GPS/MEMS-IMU无缝导航系统仿真与实现 被引量:1
9
作者 钟丽娜 王融 《系统仿真技术》 2013年第3期259-264,共6页
卫星导航系统实现导航定位功能要求可见星数大于等于4颗,这一限制影响了卫星导航系统在信号遮挡严重环境下的应用,如城市峡谷、大型桥梁等。针对这一问题,提出了将卫星导航系统与低成本MEMS惯性器件(IMU)进行信息融合的方案并用硬件实... 卫星导航系统实现导航定位功能要求可见星数大于等于4颗,这一限制影响了卫星导航系统在信号遮挡严重环境下的应用,如城市峡谷、大型桥梁等。针对这一问题,提出了将卫星导航系统与低成本MEMS惯性器件(IMU)进行信息融合的方案并用硬件实现该系统。将GPS与MEMS惯性器件以紧组合的工作模式融合,采用卫星原始星历信息作为观测量建立观测模型并以卡尔曼滤波实现信息融合,该系统在少于4颗可见星时仍能实现导航。为了验证这一方案,进行了仿真试验和跑车实验,结果表明该系统在可见星数小于4颗的情况下仍能保持较好的导航精度。 展开更多
关键词 卫星导航系统 微机电器件 惯性导航 无缝导航 紧组合
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二维微槽道电渗流的增强混合 被引量:1
10
作者 方力 张劲柏 《北京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期583-586,共4页
微尺度流动中的混合一直是微流系统研制中的一个大问题,对壁面zeta势非均匀分布情况下的二维微槽道电渗流进行了数值分析,重点分析了这种情况下的微流动混合增强.基于电渗流的Helmholtz Smoluchowski滑移速度模型,应用SIMPLE方法计算了... 微尺度流动中的混合一直是微流系统研制中的一个大问题,对壁面zeta势非均匀分布情况下的二维微槽道电渗流进行了数值分析,重点分析了这种情况下的微流动混合增强.基于电渗流的Helmholtz Smoluchowski滑移速度模型,应用SIMPLE方法计算了4种滑移速度在整个壁面上的分布不均匀一致时的微槽道电渗流动的流场及被动标量在其中的混合.计算结果表明,滑移速度的非均匀一致导致微槽道电渗流中的流线发生剧烈的转折,从而使得微槽道流动的混合效率有很大的提高.流场中流线的转折越剧烈、转折的次数越多,微槽道流动混合效率的提高就越大. 展开更多
关键词 混合 电渗透 槽道流 微机电器件 电流体力学
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A Generalized Reynolds' Equation For Squeeze-Film Air Damping in MEMS 被引量:5
11
作者 鲍敏杭 孙远程 +1 位作者 杨恒 王跃林 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第12期1245-1248,共4页
A differential equation that is generally effective for squeeze film air damping of perforated plate and non perforated plate as well as in MEMS devices is developed.For perforated plate,the thickness and the dimens... A differential equation that is generally effective for squeeze film air damping of perforated plate and non perforated plate as well as in MEMS devices is developed.For perforated plate,the thickness and the dimensions of the plate are not limited.With boundary conditions,pressure distribution and the damping force on the plate can be found by solving the differential equation.Analytical expressions for damping pressure and damping force of a long strip holeplate are presented with a finite thickness and a finite width.To the extreme conditions of very thin plate and very thin hole,the results are reduced to the corresponding results of the conventional Reynolds' equation.Thus, the effectiveness of the generalized differential equation is justified.Therefore,the generalized Reynolds' equation will be a useful tool of design for damping structures in MEMS. 展开更多
关键词 squeeze film air damping MEMS Reynolds' equation
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智能化高精密高速电主轴研究探索 被引量:2
12
作者 周吉贞 《世界制造技术与装备市场》 2020年第2期52-52,共1页
随着微机电器件和通讯技术的发展,主轴智能化越来越引起人们的注意,需要从控制软件和工况监控两方面入手,使主轴能够随时感知工况并能自主地加以调节。智能化和自适应是新一代电主轴的重要特征。尽管自适应机电一体化装置在主轴单元中... 随着微机电器件和通讯技术的发展,主轴智能化越来越引起人们的注意,需要从控制软件和工况监控两方面入手,使主轴能够随时感知工况并能自主地加以调节。智能化和自适应是新一代电主轴的重要特征。尽管自适应机电一体化装置在主轴单元中的应用目前处于研究阶段,但它代表机床主轴单元的未来发展趋势。 展开更多
关键词 高速电主轴 机床主轴 主轴单元 微机电器件 工况监控 控制软 高精密 智能化
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用于宽幅打印机的喷墨印表头
13
《发明与创新(大科技)》 2014年第1期42-42,共1页
成果简介:本项目开发了可用于宽幅打印机的独特微机电器件。由于喷墨印表头、封装及系统整合的开发,设计平台已经就绪可进行量产。该平台技术不仅可以用于喷墨印表头,也可用于LED磷光喷印、喷印电子及在软性电子产业上应用,截至201... 成果简介:本项目开发了可用于宽幅打印机的独特微机电器件。由于喷墨印表头、封装及系统整合的开发,设计平台已经就绪可进行量产。该平台技术不仅可以用于喷墨印表头,也可用于LED磷光喷印、喷印电子及在软性电子产业上应用,截至2010年已申请了2项美国专利。 展开更多
关键词 宽幅打印机 表头 喷墨 项目开发 电子产业 微机电器件 成果简介 设计平台
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Negative differential resistance behavior in doped C_(82) molecular devices
14
作者 徐慧 贾姝婷 陈灵娜 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2012年第2期299-303,共5页
By using the first-principle calculations and nonequilibrium Green functions method, the electronic transport properties of molecular devices constructed by C82, C80BN and C80N2 were studied. The results show that the... By using the first-principle calculations and nonequilibrium Green functions method, the electronic transport properties of molecular devices constructed by C82, C80BN and C80N2 were studied. The results show that the electronic transport properties of molecular devices are affected by doped atoms. Negative differential resistance (NDR) behavior can be observed in certain bias regions for C82 and C80BN molecular devices but cannot be observed for C80N2 molecular device. A mechanism for the negative differential resistance behavior was suggested. 展开更多
关键词 electronic transport properties negative differential resistance FIRST-PRINCIPLE molecular device
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微结构和集成式功能光纤的制备和潜在应用 被引量:7
15
作者 廉正刚 陈翔 +3 位作者 王鑫 娄淑琴 郭臻 皮亚斌 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第17期223-234,共12页
光纤作为光信息和光能量的传输元器件已成为基础建设不可或缺的组成部分。针对功能光纤进行概括性介绍。着重介绍了微结构光纤的导光机理以及制备方案。微结构光纤由于其实现了灵活的预制棒制备方式、空芯传输以及理论上的超低衰耗,广... 光纤作为光信息和光能量的传输元器件已成为基础建设不可或缺的组成部分。针对功能光纤进行概括性介绍。着重介绍了微结构光纤的导光机理以及制备方案。微结构光纤由于其实现了灵活的预制棒制备方式、空芯传输以及理论上的超低衰耗,广泛地应用于光电传感和激光器应用。未来光纤发展的趋势将是光、电功能集成于一根光纤中,详细介绍了纳米机械光纤的制备和潜在应用,为全光器件和光集成技术发展提供重要的研究方向。 展开更多
关键词 光纤光学 光纤设计与制造 微结构光纤 光子晶体光纤 微机电器件
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像钢一样强的透明塑料
16
作者 《航空维修与工程》 北大核心 2008年第1期29-29,共1页
美国密西根大学的研究人员已经创建了一种复合的塑料,像钢—样的高强度,但很轻而且透明,这种材料由黏土纳米层与聚乙烯醇组成。它的进一步发展有可能用于微机电器件、装甲以及无人飞机。
关键词 透明塑料 密西根大学 微机电器件 研究人员 聚乙烯醇 无人飞机 高强度
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Experimental study on high-power LEDs integrated with micro heat pipe 被引量:3
17
作者 李聪明 周传鹏 +3 位作者 罗怡 Mohammad Hamidnia 王晓东 由博 《Optoelectronics Letters》 EI 2016年第1期31-34,共4页
Micro heat pipe(MHP) is applied to implement the efficient heat transfer of light emitting diode(LED) device.The fabrication of MHP is based on micro-electro-mechanical-system(MEMS) technique,15 micro grooves were etc... Micro heat pipe(MHP) is applied to implement the efficient heat transfer of light emitting diode(LED) device.The fabrication of MHP is based on micro-electro-mechanical-system(MEMS) technique,15 micro grooves were etched on one side of silicon(Si) substrate,which was then packaged with aluminum heat sink to form an MHP.On the other side of Si substrate,three LED chips were fixed by die bonding.Then experiments were performed to study the thermal performance of this LED device.The results show that the LED device with higher filling ratio is better when the input power is 1.0 W; with the increase of input power,the optimum filling ratio changes from 30% to 48%,and the time reaching stable state is reduced; when the input power is equal to 2.5 W,only the LED device with filling ratio of 48% can work normally.So integrating MHP into high-power LED device can implement the effective control of junction temperature. 展开更多
关键词 Capillary flow FILLING Heat pipes Heat transfer MEMS
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Theoretical study of piezotronic heterojunction 被引量:1
18
作者 FENG XiaoLong ZHANG Yan WANG ZhongLin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2013年第11期2615-2621,共7页
Due to the coupling of piezoelectric and semiconducting dual properties,much attention has been focused on the piezoelectric semiconductor materials,such as ZnO,ZnS,CdS and GaN.With the usage of these piezoelectric se... Due to the coupling of piezoelectric and semiconducting dual properties,much attention has been focused on the piezoelectric semiconductor materials,such as ZnO,ZnS,CdS and GaN.With the usage of these piezoelectric semiconductor materials,novel nanodevices have been demonstrated,from which a new field called piezotronics was formulated.The core of piezotronics is to study the mechanism of the piezoelectric effect on tuning the charge transport behavior across various junctions or interfaces,with potential applications in sensors,microelectromechanical systems,and force/pressure triggered electric devices.Here following the theoretical frame work of piezotronic effect,analytical solutions of piezoelectric heterojunction are presented to investigate the electrical transport behavior at a p-n junction.Numerical simulation is given for guiding future experimental measurements. 展开更多
关键词 Piezoelectric Heterojunction piezoelectric semiconductor piezotronics
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Recent development of studies on the mechanism of resistive memories in several metal oxides 被引量:2
19
作者 TIAN XueZeng WANG LiFen +5 位作者 LI XiaoMin WEI JiaKe YANG ShiZe XU Zhi WANG WenLong BAI XueDong 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2013年第12期2361-2369,共9页
Resistive switching random access memories(RRAM)have been considered to be promising for future information technology with applications for non-volatile memory,logic circuits and neuromorphic computing.Key performanc... Resistive switching random access memories(RRAM)have been considered to be promising for future information technology with applications for non-volatile memory,logic circuits and neuromorphic computing.Key performances of those resistive devices are approaching the realistic levels for production.In this paper,we review the progress of valence change type memories,including relevant work reported by our group.Both electrode engineering and in-situ transmission electron microscopy(TEM)high-resolution observation have been implemented to reveal the influence of migration of oxygen anions/vacancies on the resistive switching effect.The understanding of resistive memory mechanism is significantly important for device applications. 展开更多
关键词 resistive switching effect valence change memory electrode engineering in-situ TEM
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