期刊文献+
共找到7篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
射频微机电系统技术现状 被引量:10
1
作者 金铃 《微波学报》 CSCD 北大核心 2005年第6期58-65,共8页
较全面地介绍了 RF MEMS 器件、由 RF 器件构成的组件及应用系统,并给出了一些新的典型示例。通过比较 RF MEMS 器件与传统微波器件在性能、尺寸等各方面的差别,可以了解 RF MEMS 技术在相控阵雷达上运用的优势。
关键词 微机系统技术 射频微机系统 微机电系统器件
在线阅读 下载PDF
普渡大学研制出可自我校准的微机电系统
2
《电子机械工程》 2019年第1期41-41,共1页
据《大众科学》杂志网站报道,美国普渡大学的研究人员找到了一种方法,可以让微机电系统进行自我校准,这一研究成果有望打开研发各类超高精度的传感器和设备的大门,可在医学、工程以及国防领域发挥作用。微机电系统的尺寸不到十亿分之一... 据《大众科学》杂志网站报道,美国普渡大学的研究人员找到了一种方法,可以让微机电系统进行自我校准,这一研究成果有望打开研发各类超高精度的传感器和设备的大门,可在医学、工程以及国防领域发挥作用。微机电系统的尺寸不到十亿分之一米,在如此微小的尺度上制造这种设备难免会存在误差,要保证生产出的微机电系统完全一致是不太可能的。既然没有可靠的方法来制造2个一模一样的微机电系统,就必须采用一些校准手段来尽量避免或者减小它们在计量时彼此之间的误差。 展开更多
关键词 微机系统 微机电系统器件 普渡大学
在线阅读 下载PDF
MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究 被引量:16
3
作者 陈俊光 谷专元 +3 位作者 何春华 黄钦文 来萍 恩云飞 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第3期1-5,13,共6页
针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,通过大量的历史资料调研和失效信息收集等方法,针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,对冲击、振动、湿度、温变、辐照和静电放电(ESD)等不同环境应力条件下的MEMS惯性器件典型失效模式及失效机... 针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,通过大量的历史资料调研和失效信息收集等方法,针对微机电系统(MEMS)器件的可靠性问题,对冲击、振动、湿度、温变、辐照和静电放电(ESD)等不同环境应力条件下的MEMS惯性器件典型失效模式及失效机理进行了深入分析和总结,研究结果有利于指导未来MEMS惯性器件的失效分析和可靠性设计。 展开更多
关键词 微机系统(MEMS)惯性器件 可靠性 失效模式 失效机理
在线阅读 下载PDF
C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
4
作者 吴高米 马晋毅 +5 位作者 李尚志 司美菊 唐小龙 蒋世义 江洪敏 张祖伟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期285-289,共5页
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体... 针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。 展开更多
关键词 微机系统(MEMS)器件 C波段射频滤波器 横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率 高集成
在线阅读 下载PDF
基于微惯性测量单元的矿用定向钻孔轨迹绘制 被引量:6
5
作者 姚星 李海英 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第8期112-115,共4页
随钻测量(MWD)技术是千米钻机精确钻进的重要技术,通过随钻测量可以绘制出钻头钻进的轨迹。针对加速度计和磁力计组合在姿态参数测量过程中,磁场传感器容易受到钻杆铁物质与地下未知环境的磁场干扰的问题,通过研究基于惯性导航系统的加... 随钻测量(MWD)技术是千米钻机精确钻进的重要技术,通过随钻测量可以绘制出钻头钻进的轨迹。针对加速度计和磁力计组合在姿态参数测量过程中,磁场传感器容易受到钻杆铁物质与地下未知环境的磁场干扰的问题,通过研究基于惯性导航系统的加速度计和陀螺仪组合姿态测量方法,采用微机电系统(MEMS)模块MPU6050进行姿态角测量,并通过STM32读取参数。通过误差分析,研究了提升精度的方法,使绘制的轨迹更接近真实轨迹。该方法成本低,效果较好,满足工程上精度的要求。 展开更多
关键词 定向钻机 轨迹绘制 惯性导航系统 微机电系统器件
在线阅读 下载PDF
Experimental study on high-power LEDs integrated with micro heat pipe 被引量:3
6
作者 李聪明 周传鹏 +3 位作者 罗怡 Mohammad Hamidnia 王晓东 由博 《Optoelectronics Letters》 EI 2016年第1期31-34,共4页
Micro heat pipe(MHP) is applied to implement the efficient heat transfer of light emitting diode(LED) device.The fabrication of MHP is based on micro-electro-mechanical-system(MEMS) technique,15 micro grooves were etc... Micro heat pipe(MHP) is applied to implement the efficient heat transfer of light emitting diode(LED) device.The fabrication of MHP is based on micro-electro-mechanical-system(MEMS) technique,15 micro grooves were etched on one side of silicon(Si) substrate,which was then packaged with aluminum heat sink to form an MHP.On the other side of Si substrate,three LED chips were fixed by die bonding.Then experiments were performed to study the thermal performance of this LED device.The results show that the LED device with higher filling ratio is better when the input power is 1.0 W; with the increase of input power,the optimum filling ratio changes from 30% to 48%,and the time reaching stable state is reduced; when the input power is equal to 2.5 W,only the LED device with filling ratio of 48% can work normally.So integrating MHP into high-power LED device can implement the effective control of junction temperature. 展开更多
关键词 Capillary flow FILLING Heat pipes Heat transfer MEMS
原文传递
Theoretical study of piezotronic heterojunction 被引量:1
7
作者 FENG XiaoLong ZHANG Yan WANG ZhongLin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2013年第11期2615-2621,共7页
Due to the coupling of piezoelectric and semiconducting dual properties,much attention has been focused on the piezoelectric semiconductor materials,such as ZnO,ZnS,CdS and GaN.With the usage of these piezoelectric se... Due to the coupling of piezoelectric and semiconducting dual properties,much attention has been focused on the piezoelectric semiconductor materials,such as ZnO,ZnS,CdS and GaN.With the usage of these piezoelectric semiconductor materials,novel nanodevices have been demonstrated,from which a new field called piezotronics was formulated.The core of piezotronics is to study the mechanism of the piezoelectric effect on tuning the charge transport behavior across various junctions or interfaces,with potential applications in sensors,microelectromechanical systems,and force/pressure triggered electric devices.Here following the theoretical frame work of piezotronic effect,analytical solutions of piezoelectric heterojunction are presented to investigate the electrical transport behavior at a p-n junction.Numerical simulation is given for guiding future experimental measurements. 展开更多
关键词 Piezoelectric Heterojunction piezoelectric semiconductor piezotronics
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部