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GaN HEMT微波功率管直流和射频加速寿命试验 被引量:4
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作者 杨洋 徐波 +4 位作者 贾东铭 蒋浩 姚实 陈堂胜 钱峰 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期217-220 252,252,共5页
分别选用南京电子器件研究所研制的1.25mm栅宽GaN HEMT和12mm栅宽GaN功率管,对小栅宽器件进行三温直流加速寿命试验,评估其直流工作可靠性,试验结果表明该器件在125℃沟道温度条件下工作的失效率为1.86×10-9/h;对大栅宽器件进行脉... 分别选用南京电子器件研究所研制的1.25mm栅宽GaN HEMT和12mm栅宽GaN功率管,对小栅宽器件进行三温直流加速寿命试验,评估其直流工作可靠性,试验结果表明该器件在125℃沟道温度条件下工作的失效率为1.86×10-9/h;对大栅宽器件进行脉冲射频加速寿命试验,评估其射频工作可靠性,试验结果表明该器件在125℃沟道温度条件下工作的失效率小于1.02×10-7/h。 展开更多
关键词 氮化镓 高电子迁移率晶体管 微波功率管 加速寿命试验
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硅微波功率管键合失效机理分析 被引量:1
2
作者 钱伟 严德圣 +4 位作者 丁晓明 周德红 刘雪 高群 蒋幼泉 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期377-380,共4页
硅微波功率管在生产过程中随机发生大量的键合失效。分析表明,这种硅功率管管芯的焊盘与有源区的连接处介质层容易在键合过程中因为受到金丝的振动冲击而毁坏,因此键合完成后镀金层与介质层无法完整粘合,从而造成微调金丝弧度时发生键... 硅微波功率管在生产过程中随机发生大量的键合失效。分析表明,这种硅功率管管芯的焊盘与有源区的连接处介质层容易在键合过程中因为受到金丝的振动冲击而毁坏,因此键合完成后镀金层与介质层无法完整粘合,从而造成微调金丝弧度时发生键合失效。通过加厚焊盘镀金层,避免了金丝对介质层的冲击,提高了硅功率管的键合质量及成品率。 展开更多
关键词 微波功率管 键合 失效分析
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S波段GaN微波功率管脉冲射频加速寿命试验 被引量:5
3
作者 任俊华 李用兵 +2 位作者 刘晓峰 余若祺 黄雒光 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期394-397,共4页
Ga N微波功率管在基站通信等领域具有重要应用,其可靠性对相关设备的性能有直接影响。利用红外热像分析技术测量器件的峰值结温,基于专用射频加速老化试验系统,在频率为2.85 GHz、输入功率为40.5 d Bm、脉冲宽度为3 ms、占空比为30%的... Ga N微波功率管在基站通信等领域具有重要应用,其可靠性对相关设备的性能有直接影响。利用红外热像分析技术测量器件的峰值结温,基于专用射频加速老化试验系统,在频率为2.85 GHz、输入功率为40.5 d Bm、脉冲宽度为3 ms、占空比为30%的脉冲射频工作条件下,对S波段Ga N微波功率管进行了壳温为150℃的加速寿命试验。应用Arrhenius模型对试验结果进行了分析和计算,推导出该器件在壳温为90℃的工作条件下其平均失效时间可达2.97×106h。结果表明,采用此试验方法可以用来评估第三代Ga N微波功率器件的可靠性水平。 展开更多
关键词 GaN微波功率管 可靠性 加速寿命试验 平均失效时间(MTTF) S波段
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微波功率管特征参数测试 被引量:2
4
作者 聂冰 陈庆孔 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2011年第5期74-76,共3页
由于大功率全固态电子设备在体积、性能和可靠性方面的优势,微波功率管将逐步取代行波管在雷达发射机中的核心地位。随着微波功率管的大量应用,正确的测试和评价功率管性能已经显得迫切。微波功率管的特性参数包括直流和射频两部分,直... 由于大功率全固态电子设备在体积、性能和可靠性方面的优势,微波功率管将逐步取代行波管在雷达发射机中的核心地位。随着微波功率管的大量应用,正确的测试和评价功率管性能已经显得迫切。微波功率管的特性参数包括直流和射频两部分,直流参数包括:反向击穿电压、反向漏电流和直流增益;射频参数包括:输出功率、增益、顶降、集电极效率、反射系数、1 dB过激励输出功率和抗适配等。文中对微波功率管的特征参数先从理论上阐述,然后结合DC和RF测试平台详细描述了各个特征参数的测试,得出测试结果,并对测试结果进行分析。 展开更多
关键词 微波功率管 特征参数 测试
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雷达微波功率管引脚失效仿真分析与优化
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作者 胡子翔 王志海 +1 位作者 邓友银 李悰 《机械与电子》 2017年第1期23-26,31,共5页
针对微波功率管在温度循环试验中出现的引脚脱落故障,通过力学仿真进行故障复现和失效机理分析,确定了功率管底座与盒体材料的热膨胀系数不匹配,以及连接方式不合理是造成引脚失效的主要原因。在不改变器件材料的前提下,提出了将功率管... 针对微波功率管在温度循环试验中出现的引脚脱落故障,通过力学仿真进行故障复现和失效机理分析,确定了功率管底座与盒体材料的热膨胀系数不匹配,以及连接方式不合理是造成引脚失效的主要原因。在不改变器件材料的前提下,提出了将功率管与盒体的连接方式从焊接改为螺钉连接的优化设计方案。通过仿真和试验验证,证明了该优化方案能有效解决引脚失效问题。 展开更多
关键词 微波功率管 热膨胀系数 失效分析 力学仿真
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微波功率管测量的微波辐射分析与防护
6
作者 朱震宇 《电子质量》 2012年第10期71-74,共4页
该文介绍了微波辐射防护的理论知识和安全标准,以及微波功率管测量系统的配置和测量流程。对测量系统的微波电磁辐射进行了分析,列举了在微波功率管测试工作中采取的一些防护措施和测评结果,阐述了使用程控化测量系统对微波辐射防护的... 该文介绍了微波辐射防护的理论知识和安全标准,以及微波功率管测量系统的配置和测量流程。对测量系统的微波电磁辐射进行了分析,列举了在微波功率管测试工作中采取的一些防护措施和测评结果,阐述了使用程控化测量系统对微波辐射防护的益处。 展开更多
关键词 微波辐射 微波辐射防护 微波功率管
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改善微波功率管小电流特性的模拟分析
7
作者 林绪伦 朱恩均 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第5期36-39,共4页
对于新型N ̄+IP发射结结构的微波功率管,采用一维数值模拟,分区计算了它的渡越时间,结果表明其截止频率的小电流特性可以获得明显的改善。
关键词 微波功率管 渡越时间 模拟
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钴离子注入硅化钴的形成和微波功率管制备的特性
8
作者 张通和 吴瑜光 +1 位作者 钱卫东 刘安东 《中国科学(E辑)》 CSCD 北大核心 2002年第4期442-446,共5页
用大束流密度的钴金属离子注入硅能够直接合成性能良好的薄层硅化物.束流密度为0.25~1.25A/m2,注入量为5×1017cm-2.用透射电子显微镜(TEM)和电子衍射(XRD)分析了注入层结构.结果表明随束流密度的增加,硅化钴相生长,薄层硅化... 用大束流密度的钴金属离子注入硅能够直接合成性能良好的薄层硅化物.束流密度为0.25~1.25A/m2,注入量为5×1017cm-2.用透射电子显微镜(TEM)和电子衍射(XRD)分析了注入层结构.结果表明随束流密度的增加,硅化钴相生长,薄层硅化物的方块电阻Rs明显下降.当束流密度为0.75 A/m2时,Rs明显地下降,说明连续的硅化物已经形成.当束流密度为1.25A/m2时,该值达到最小值3.1Ω.XRD分析表明,注入层中形成了3种硅化钴Co2Si,CoSi和CoSi2.经过退火后,Rs进一步地下降,Rs最小可降至2.3Ω,说明硅化钴薄层质量得到了进一步的改善.大束流密度注入和退火后,硅化钴相进一步生长,Co2Si相消失.TEM对注入样品横截面观察表明,连续硅化物层厚度为 90~133 nm.最优的钴注入量和束流密度分别为 5×1017cm-2和 0.50μA/cm2.最佳退火温度和退火时间分别为900℃和10s.高温退火(120℃)仍然具有很低的薄层电阻,这充分说明硅化钴具有很好的热稳定性.用离子注入Co所形成的硅化钴制备了微波功率器件Ohm接触电极,当工作频率为 590~610 MHz,输出功率为 18~20 W时,同常规工艺相比,发射极接触电阻下降到0.13~0.2倍,结果器件的噪声明显地下降,器件质量有了明显的提高. 展开更多
关键词 钴离子注入 硅化钴 微波功率管 制备 快速退火 束流密度 薄层硅化物 薄层电阻
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Si微波功率晶体管加速寿命试验夹具的设计
9
作者 童亮 彭浩 +1 位作者 高金环 黄杰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第8期639-642,650,共5页
温度应力的加速寿命试验结果与所用夹具的耐温性及壳温的精确测量与控制直接相关。通过大量研究,发现一体式夹具在试验壳温提高到某一值时性能迅速劣化,因此设计符合高温下使用的分离式夹具是加速寿命试验顺利进行的必要条件。提供了两... 温度应力的加速寿命试验结果与所用夹具的耐温性及壳温的精确测量与控制直接相关。通过大量研究,发现一体式夹具在试验壳温提高到某一值时性能迅速劣化,因此设计符合高温下使用的分离式夹具是加速寿命试验顺利进行的必要条件。提供了两种加速寿命试验夹具的设计思路,并用于Si微波功率管加速寿命试验,通过步进应力试验和恒定应力试验,获取了该Si微波功率管加速寿命。分体夹具可耐受的试验温度在260℃以上,为加速寿命试验提供了温度应力的提升空间。 展开更多
关键词 加速寿命试验 可靠性 试验夹具 Si微波功率管 步进应力试验
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砷化镓PHEMT功率管高温加速寿命试验研究
10
作者 贾东铭 杨洋 +1 位作者 林罡 金毓铨 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期371-376,共6页
通过解决温度提升、温度稳定控制、寄生振荡抑制等关键问题,使砷化镓PHEMT功率器件的高温加速寿命试验得以实施。经过2 832h试验,三个分组的样品均出现了失效。对样品的失效模式与机理进行了分析,并确定了失效原因。对试验数据进行分析... 通过解决温度提升、温度稳定控制、寄生振荡抑制等关键问题,使砷化镓PHEMT功率器件的高温加速寿命试验得以实施。经过2 832h试验,三个分组的样品均出现了失效。对样品的失效模式与机理进行了分析,并确定了失效原因。对试验数据进行分析得到了该器件的寿命分布与寿命加速特性,并对分析结论进行了验证。 展开更多
关键词 砷化镓 微波功率管 平均失效前时间
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微波功率晶体管的激励功率选取
11
作者 杜丽军 袁同山 汪邦金 《火控雷达技术》 2008年第2期69-72,共4页
对于C类工作的固态微波功率管,降低工作电压是提高其可靠性的有效手段。文中就某功率管在工作电压降低的情况下,给出激励功率合理选择所必须考虑的综合因素:输出功率、工作效率、脉内顶降、增益平坦度。并给出影响工作效率、脉内顶降的... 对于C类工作的固态微波功率管,降低工作电压是提高其可靠性的有效手段。文中就某功率管在工作电压降低的情况下,给出激励功率合理选择所必须考虑的综合因素:输出功率、工作效率、脉内顶降、增益平坦度。并给出影响工作效率、脉内顶降的物理分析和相应的实验数据。 展开更多
关键词 固态微波功率管 激励功率 工作效率
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P波段超大功率50V GaN HEMT 被引量:3
12
作者 陈韬 刘柱 +6 位作者 王琪 顾黎明 景少红 杨兴 李忠辉 彭大青 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期439-441,共3页
报道了0.5μm工艺千瓦级GaN HEMT器件在P波段应用。通过采用AlN插入层,大幅降低了器件在大功率工作时的漏电,同时大幅提高器件输出功率密度。同时通过对背势垒结构缓冲层的优化,提高了器件击穿电压,从而提高器件抗失配比(VSWR)至5∶1。G... 报道了0.5μm工艺千瓦级GaN HEMT器件在P波段应用。通过采用AlN插入层,大幅降低了器件在大功率工作时的漏电,同时大幅提高器件输出功率密度。同时通过对背势垒结构缓冲层的优化,提高了器件击穿电压,从而提高器件抗失配比(VSWR)至5∶1。GaN HEMT器件设计采用双场板结构,采用0.5μm栅长工艺制作。器件工作电压为50V,在P波段峰值输出功率1 500 W,漏极效率72%。 展开更多
关键词 氮化镓 微波功率管 场板
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C波段4W功率GaAs MESFET制作技术 被引量:1
13
作者 顾聪 刘佑宝 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2001年第1期37-41,共5页
文章主要介绍了已研制的 C波段 5.2~ 5.8GHz 4W GaAs MESFET功率管制作技术,包括将匹配网络等效电路元件参数换算成集总和分布式元件的方法,及匹配网络工艺制作技术,最后,获得的成品功率管的测量值与模拟计算结果吻合。
关键词 匹配网络 微波功率管 砷化镓 MESFET 场效应器件
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一种新型波导基C波段空间功率合成器的设计和实现 被引量:1
14
作者 武锦 欧阳思华 +2 位作者 李艳奎 阎跃鹏 刘新宇 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1686-1689,共4页
介绍了一种新型波导基空间功率合成器的结构设计.采用优化的Klopfenstein型鳍状天线阵,制作实现了C波段(3.2~4.9GHz)2×3层空间功率合成器.器件的外部结构尺寸为70.12mm×98.44mm×160mm,内部集成了6只内匹配的砷化镓微波... 介绍了一种新型波导基空间功率合成器的结构设计.采用优化的Klopfenstein型鳍状天线阵,制作实现了C波段(3.2~4.9GHz)2×3层空间功率合成器.器件的外部结构尺寸为70.12mm×98.44mm×160mm,内部集成了6只内匹配的砷化镓微波单片功率管.对该器件进行了功率合成特性的测试,实测性能指标为:在4.2GHz,该器件在连续波输入下线性增益为8.5dB,饱和输出功率为42.82dBm(19.1W),功率附加效率为25.3%,功率合成效率达到72.3%. 展开更多
关键词 波导基空间功率合成器 Klopfenstein鳍线阵 微波单片功率管
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一种多胞微波GaAs MESFET制作技术及其沟道电流模型
15
作者 顾聪 高一凡 +1 位作者 刘佑宝 乔长华 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1999年第4期267-271,281,共6页
介绍了单管 5 W 大栅宽多胞微波砷化镓 M E S F E T 器件的优化设计、关键工艺技术的创新、器件特性测试等,特别是器件具有高反向击穿电压和耐大电流的特性,并结合器件结构特点和 I V 特性,建立了该器件的改进型沟道... 介绍了单管 5 W 大栅宽多胞微波砷化镓 M E S F E T 器件的优化设计、关键工艺技术的创新、器件特性测试等,特别是器件具有高反向击穿电压和耐大电流的特性,并结合器件结构特点和 I V 特性,建立了该器件的改进型沟道电流非线性模型,最后与实验测试数据比较,其拟合度优于常规模型的拟合度。 展开更多
关键词 MESFET 微波功率管 多胞结构 非线性模型 砷化镓
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基站应用高线性高效率50 V GaN HEMT
16
作者 陈韬 陈志勇 +5 位作者 蒋浩 魏星 杨兴 陈新宇 李忠辉 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CSCD 北大核心 2017年第3期155-158,共4页
报道了针对移动通信基站应用的GaN HEMT的研制。通过采用NiAu势垒,降低器件栅极漏电,从而提高器件击穿电压。同时通过优化V型栅,降低了峰值电场,提高器件击穿电压30%以上。GaN HEMT器件设计采用双场板结构,工艺采用0.5μm栅长,工作电压5... 报道了针对移动通信基站应用的GaN HEMT的研制。通过采用NiAu势垒,降低器件栅极漏电,从而提高器件击穿电压。同时通过优化V型栅,降低了峰值电场,提高器件击穿电压30%以上。GaN HEMT器件设计采用双场板结构,工艺采用0.5μm栅长,工作电压50V,在2.3~2.7GHz带内峰值输出功率280 W,功率附加效率>64%,线性度-30dBc@PAR=5dB,器件抗失配比(VSWR)至5∶1,器件性能可以满足未来基站多频段多载波应用需要。可靠性试验结果表明,研制的器件在150℃下平均工作寿命(MTTF)>4×10~6 h,满足系统应用需要。 展开更多
关键词 氮化镓 微波功率管 场板
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采用目标函数计算GaAsMESFET小信号等效电路的新方法 被引量:1
17
作者 顾聪 高一凡 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2000年第1期35-38,共4页
提出了一种计算GaAsMESFET器件小信号等效电路的简单方法。本征元件由传统解析参数变换技术计算,且作为非本征元件的函数。等效电路由集中元件构成,在整个测量频率范围内适用。非本征元件可以作为优化标准本征元件的方差,构成目标函数,... 提出了一种计算GaAsMESFET器件小信号等效电路的简单方法。本征元件由传统解析参数变换技术计算,且作为非本征元件的函数。等效电路由集中元件构成,在整个测量频率范围内适用。非本征元件可以作为优化标准本征元件的方差,构成目标函数,进行迭代计算。在0至10GHz频宽内选取10多个不同的偏置点,计算结果与测量的S参数相吻合。 展开更多
关键词 MESFET 微波功率管 目标函数 砷化镓 等效电路
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车载式全固态发射机结构与热设计 被引量:3
18
作者 李雪光 李新胜 《电子机械工程》 2013年第5期8-12,共5页
全固态发射机功耗大、产生的热量高,安装于方舱内时因空间狭小、设备密集导致各组件和机柜温度不均匀、冷却效果差。文中通过对功率放大单元总功耗的核算,采取功放模块和稳压电源模块的散热器上下并排安装、风道共用的由前至后、左右双... 全固态发射机功耗大、产生的热量高,安装于方舱内时因空间狭小、设备密集导致各组件和机柜温度不均匀、冷却效果差。文中通过对功率放大单元总功耗的核算,采取功放模块和稳压电源模块的散热器上下并排安装、风道共用的由前至后、左右双风机抽风的风冷散热方式,设计了末级高功放的微波功率管和开关电源的调整管等发热器件直接镶嵌在经过铣槽抛光的铝质散热器内的结构形式。经过对结果的核算,验证了该热设计的合理性,对于高密度固态发射机结构总体方案的设计和工程实践具有借鉴意义。 展开更多
关键词 微波功率管 末级高功放 热设计
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GaAs HBT Microwave Power Transistor with On-Chip Stabilization Network 被引量:1
19
作者 陈延湖 申华军 +4 位作者 王显泰 葛霁 李滨 刘新宇 吴德馨 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期2075-2079,共5页
An lnGaP/GaAs HBT microwave power transistor with on-chip parallel RC stabilization network is developed with a standard GaAs MMIC process. From the stability factor K, the device shows unconditional stability in a wi... An lnGaP/GaAs HBT microwave power transistor with on-chip parallel RC stabilization network is developed with a standard GaAs MMIC process. From the stability factor K, the device shows unconditional stability in a wide frequency range due to the RC network. The power characteristics of the device as measured by a loadpull system show that the large-signal performance of the power transistor is affected slightly by the RC network. Psat is 30dBm at 5.4GHz,and PldB is larger than 21.6dBm at llGHz. The stability of the device due to RC network is proved by a power combination circuit. This makes the power transistor very suitable for applications in microwavc high power ttBT amplifiers. 展开更多
关键词 HBT microwave power transistor STABILITY
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Polysilicon Emitter Double Mesa Microwave P ower SiGe HBT 被引量:3
20
作者 刘志农 熊小义 +8 位作者 黄文韬 李高庆 张伟 许军 刘志弘 林惠旺 许平 陈培毅 钱佩信 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期897-902,共6页
A new 125mm UHV/CVD SiGe/Si epitaxy equipment SGE500 capable of commercialization is constructed and device-level SiGe HBT material is grown.A polysilicon emitter (PolyE) double mesa microwave power SiGe HBT showing e... A new 125mm UHV/CVD SiGe/Si epitaxy equipment SGE500 capable of commercialization is constructed and device-level SiGe HBT material is grown.A polysilicon emitter (PolyE) double mesa microwave power SiGe HBT showing excellent low current DC characteristics with β=60@V CE/I C=9.0V/300μA,β=100@5V/50mA,BV CBO=22V,f t/f max=5.4GHz/7.7GHz@3V/10mA is demonstrated.The PolyE SiGe HBT needs only 6 lithographical steps and cancels the growth of the thick emitter epitaxy layer,both of which show great potential for volume production.A 60-finger class-A SiGe linear power amplifer (PA) w ith 22dBm of 1dB compress point output power (P 1dB),11dB of power gain (G p) and 26.1% of power added efficiency (PAE) @900MHz,3.5V/0.2A is demonstrated.Another 120-finger class-A SiGe PA with 33.3dBm (2.1W) of P out,10.3dB of G p and 33.9% of PAE @900MHz,11V/0.52A is also demonstrated. 展开更多
关键词 SIGE HBT microwave power amplifer
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