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主流的微电子器件封装技术与常见的可靠性评估方法
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作者 秦绍文 于耀 +1 位作者 王国宁 刘小丽 《品牌与标准化》 2025年第1期151-154,共4页
微电子器件作为现代电子技术的基石,其可靠性对整个电子行业至关重要。随着电子设备向更小型化、高性能化发展,微电子器件的可靠性问题日益凸显,微电子器件封装技术对于保证器件性能和延长使用寿命具有至关重要的作用。本文概述当前市... 微电子器件作为现代电子技术的基石,其可靠性对整个电子行业至关重要。随着电子设备向更小型化、高性能化发展,微电子器件的可靠性问题日益凸显,微电子器件封装技术对于保证器件性能和延长使用寿命具有至关重要的作用。本文概述当前市场上主流封装技术,简要介绍一些加速失效的影响因素,并提出一系列封装可靠性评估方法。 展开更多
关键词 微电子器件 封装 可靠性
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基于集成电路工艺实验教学仿真平台的“微电子器件工艺实验”课程探索研究 被引量:1
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作者 孙辉 《工业和信息化教育》 2024年第11期81-84,共4页
为解决“微电子器件工艺实验”课程传统教学投资巨大、不具备先进集成电路量产工艺制造设备的难题,引入集成电路工艺实验教学仿真平台,重构实验课程体系,设计并实践了集成电路制造关键工艺与关键器件制造两大类共17项实验。不同于传统... 为解决“微电子器件工艺实验”课程传统教学投资巨大、不具备先进集成电路量产工艺制造设备的难题,引入集成电路工艺实验教学仿真平台,重构实验课程体系,设计并实践了集成电路制造关键工艺与关键器件制造两大类共17项实验。不同于传统示意型仿真演示,该仿真平台基于真实工业级仿真器,器件特性和工艺特性都依据相应的物理模型进行数值计算,并且平台所设置的制造工艺设备与专业方向理论课程知识点高度匹配,培养学生掌握真实制造工艺的关键设备操作、参数设计及结果分析的能力,以适应当前集成电路制造领域对人才知识技能的要求。 展开更多
关键词 集成电路 集成电路工艺 微电子器件 器件工艺 教学仿真
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平行缝焊微电子器件的光学检漏 被引量:1
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作者 张泽丰 徐达 +2 位作者 谭亮 魏少伟 马紫成 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期285-291,共7页
光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测... 光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测结果的影响,分析了光学检漏的“充压”问题并给出解决方案,对比了光学检漏与氦质谱检漏的检测漏率。分析了光学检漏技术的优缺点,并通过实验验证了光学检漏的可行性及可靠性,为微电子器件的光学检漏应用提供参考。 展开更多
关键词 微电子器件 光学检漏 平行缝焊 密封 氦质谱检漏
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思政视域下高等院校“微电子器件”课程教学改革探索
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作者 王玉婵 张楷亮 +4 位作者 王芳 郑磊 魏俊青 郭红玲 谢杨杨 《现代商贸工业》 2024年第24期220-221,共2页
“微电子器件”是一门专业基础课程,其内容紧扣工程科学的实际问题。课程思政视域下,对“微电子器件”课程教学改革提出了更高的要求。文章以“微电子器件”课程为例,对其课程教学改革实施方案进行了探索,总结了部分思政元素,为相关专... “微电子器件”是一门专业基础课程,其内容紧扣工程科学的实际问题。课程思政视域下,对“微电子器件”课程教学改革提出了更高的要求。文章以“微电子器件”课程为例,对其课程教学改革实施方案进行了探索,总结了部分思政元素,为相关专业课程思政教学改革提供建设思路。 展开更多
关键词 微电子器件 课程思政 教学改革
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微电子器件与电路的制造工艺及集成电路应用技术探究
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作者 刘宝峰 《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》 2024年第6期0109-0112,共4页
微电子器件的制造工艺和集成电路应用技术在当今科技领域扮演着至关重要的角色。本文探讨微电子器件制造工艺的重要性,集成电路制造技术的最新进展,以及应用技术的探究。特别关注GAA晶体管的优势和特性,以及未来集成电路技术的发展趋势... 微电子器件的制造工艺和集成电路应用技术在当今科技领域扮演着至关重要的角色。本文探讨微电子器件制造工艺的重要性,集成电路制造技术的最新进展,以及应用技术的探究。特别关注GAA晶体管的优势和特性,以及未来集成电路技术的发展趋势。通过深入研究这些领域,我们可以更好地理解现代电子设备背后的技术原理和创新潜力。 展开更多
关键词 微电子器件 制造工艺 集成电路
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真空微电子器件发展现状及远景了望
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作者 罗恩泽 《真空电子技术》 北大核心 1993年第4期1-6,共6页
本文论述了真空微电子器件的发展远景,并回答了为什么真空微电子器件在未来必将取代固体器件,以及目前它在工艺上和理论上存在些什么困难。
关键词 真空微电子器件 真空电子器件 微电子器件
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静电放电和方波EMP对微电子器件的效应 被引量:15
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作者 原青云 武占成 +2 位作者 杨洁 张希军 薛田 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期47-50,共4页
为了得到微波低噪声晶体管电磁脉冲的最灵敏端对和最敏感参数以及相关规律和器件的损伤/失效机理和模式,首先采用静电放电人体模型(HBM),针对两类硅晶体三极管(3DG218、3358)进行了静电放电敏感性相关实验,得到该类晶体管的ESD敏感端对... 为了得到微波低噪声晶体管电磁脉冲的最灵敏端对和最敏感参数以及相关规律和器件的损伤/失效机理和模式,首先采用静电放电人体模型(HBM),针对两类硅晶体三极管(3DG218、3358)进行了静电放电敏感性相关实验,得到该类晶体管的ESD敏感端对是CB结;器件损伤时的灵敏参数是VBRCEO;又采用方波注入法对两晶体管进行实验比较了从CB结反向注入与从EB结反向注入的损伤电压值,发现该类器件的EMP最敏感端对是CB结而非以往人们认为的EB结。 展开更多
关键词 微电子器件 静电放电 方波注入 敏感端对 人体模型
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微电子器件抗辐射加固技术发展研究 被引量:18
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作者 王健安 谢家志 赖凡 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期225-228,236,共5页
对微电子器件抗辐射加固的发展态势进行了分析研究。目前,对微电子器件进行抗辐射加固的主要技术是抗辐射加固设计和抗辐射加固工艺;微电子技术的进步促进了抗辐射加固的新设计技术、新工艺技术、封装技术和试验手段不断发展,刺激了完... 对微电子器件抗辐射加固的发展态势进行了分析研究。目前,对微电子器件进行抗辐射加固的主要技术是抗辐射加固设计和抗辐射加固工艺;微电子技术的进步促进了抗辐射加固的新设计技术、新工艺技术、封装技术和试验手段不断发展,刺激了完整有效的设计、验证体系和制造能力的形成;领先国家的技术发展重点在于加强设计、工艺、制造领域的抗辐射加固能力,提升微电子器件的抗辐射加固指标、容错能力和高可靠性品质。研究结果对建立完整的抗辐射加固体系,加速抗辐射加固技术发展具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 微电子器件 抗辐射加固 SOI SIGE
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塑封微电子器件失效机理研究进展 被引量:16
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作者 李新 周毅 孙承松 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期98-101,共4页
塑封器件在现在的封装产业中具有无可比拟的优势,相关研究引起了人们广泛关注。简要介绍了塑封微电子器件的发展史,以及国内外塑封器件可靠性的研究现状。对塑封器件的主要失效机理研究进展进行深入探讨,如腐蚀、分层、开裂等,提出了几... 塑封器件在现在的封装产业中具有无可比拟的优势,相关研究引起了人们广泛关注。简要介绍了塑封微电子器件的发展史,以及国内外塑封器件可靠性的研究现状。对塑封器件的主要失效机理研究进展进行深入探讨,如腐蚀、分层、开裂等,提出了几种提高塑封器件可靠性的措施。论述了用于塑封器件质量评估的试验方法,并展望了塑封器件在军工领域的潜在应用前景。 展开更多
关键词 失效机理 塑封 微电子器件
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微电子器件静电损伤实验 被引量:4
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作者 杨士亮 张欣卉 +2 位作者 姬国庆 唐卫红 李汉军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第9期801-802,809,共3页
在不同的静电放电模型下,通过实验研究了几种典型的半导体器件的静电敏感端对的静电放电情况和灵敏参数,由于外部环境、材料、结构和加工工艺不同,器件的静电损伤模式不同,其最大未损伤阈值和最小损伤阈值也不尽相同。实验结果表明,对... 在不同的静电放电模型下,通过实验研究了几种典型的半导体器件的静电敏感端对的静电放电情况和灵敏参数,由于外部环境、材料、结构和加工工艺不同,器件的静电损伤模式不同,其最大未损伤阈值和最小损伤阈值也不尽相同。实验结果表明,对于高频低噪声npn型硅三极管来说,反向CB结的静电敏感度要高于反向EB结的静电敏感度;ESD电流注入硅器件不同端对时,灵敏参数一般包括反向击穿电压、直流电流放大系数和反向漏电流,而极间电容和噪声系数对静电不敏感。 展开更多
关键词 微电子器件 静电损伤 放电模型
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板壳状微电子器件的数字层析成像检测方法 被引量:3
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作者 傅健 王宏钧 +1 位作者 李斌 江柏红 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1580-1584,共5页
传统工业CT(industrial computed tomography,ICT)成像方法受扫描原理和探测器、射线源等硬件条件的限制,难以对芯片、印刷电路板等板、壳状微电子器件实施有效的数字层析成像检测.为此,讨论了一种基于锥束射线倾斜扫描和代数重建技术(A... 传统工业CT(industrial computed tomography,ICT)成像方法受扫描原理和探测器、射线源等硬件条件的限制,难以对芯片、印刷电路板等板、壳状微电子器件实施有效的数字层析成像检测.为此,讨论了一种基于锥束射线倾斜扫描和代数重建技术(Algebraic Reconstruction Technique,ART)的薄板层析成像(Computed Laminography,CL)方法,研究了其基于投影凸集理论的投影预处理方法及基于不同区域相似性的重建图像非局部平均降噪后处理方法,建立了基于非晶硅面阵探测器的实验系统,并完成了CPU芯片和印刷电路板的CL成像.实验结果证明了该方法的正确性. 展开更多
关键词 层析成像 薄板层析成像 代数重建技术 投影凸集 板壳状微电子器件
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微电子器件内连接技术与材料的发展展望 被引量:2
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作者 陈方 杜长华 +1 位作者 黄福祥 杜云飞 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期8-10,25,共4页
内引线连接是微电子器件制造过程中的重要环节之一。综述了微电子器件内引线连接技术的特点和方法,重点介绍了引线键合和倒装焊材料的研究进展,并指出了未来的发展方向。
关键词 微电子器件 内引线连接 引线键合材料 倒装焊材料
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显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用 被引量:2
13
作者 谢惠民 王怀喜 +2 位作者 马少鹏 刘清珺 岸本哲 《力学与实践》 CSCD 北大核心 2009年第3期1-8,共8页
电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显... 电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显微镜云纹方法及其在微电子器件全场变形场测量中的应用. 展开更多
关键词 显微云纹 微电子器件 变形分析
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ESD对微电子器件造成潜在性失效的研究综述 被引量:6
14
作者 祁树锋 杨洁 +2 位作者 刘红兵 巨楷如 刘尚合 《军械工程学院学报》 2006年第5期27-31,共5页
静电放电(ESD)潜在性失效问题是当前微电子工业面临的可靠性问题之一,并且越来越引起人们的重视.国内外学者在微电子器件ESD潜在性失效的检测及探讨失效机理方面的研究取得了较大的进展.研究表明:MOS电路等微电子器件,在ESD作用下确实... 静电放电(ESD)潜在性失效问题是当前微电子工业面临的可靠性问题之一,并且越来越引起人们的重视.国内外学者在微电子器件ESD潜在性失效的检测及探讨失效机理方面的研究取得了较大的进展.研究表明:MOS电路等微电子器件,在ESD作用下确实存在潜在性失效问题.因此,开展ESD潜在性失效研究具有重要意义. 展开更多
关键词 ESD 微电子器件 潜在性失效
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“微电子器件”课程的教学方法 被引量:6
15
作者 任敏 张波 +2 位作者 张庆中 刘继芝 陈勇 《电气电子教学学报》 2014年第1期54-56,共3页
本文针对我院专业基础课"微电子器件"的课堂教学,进行了教学方法的改进和创新。我们采用先定性再定量、抽象概念形象化及理论与工程实践相结合等灵活多样的教学形式,有效地提高了教学质量。其结果是有助于学生的专业素质、创... 本文针对我院专业基础课"微电子器件"的课堂教学,进行了教学方法的改进和创新。我们采用先定性再定量、抽象概念形象化及理论与工程实践相结合等灵活多样的教学形式,有效地提高了教学质量。其结果是有助于学生的专业素质、创新思维和动手能力的提高。 展开更多
关键词 微电子器件 课堂教学 教学方法
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静电放电电磁脉冲对微电子器件的双重作用 被引量:1
16
作者 祁树锋 张晓倩 +2 位作者 曾泰 刘红兵 杨洁 《河北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2011年第6期579-581,共3页
研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件造成的潜在性失效,采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356施加不同电压的ESD应力.结果表明:高电压的ESD注入对2SC3356器件造成的损伤主要是不可恢复的损伤,而低电压的ESD注入对2SC3356器... 研究了低电压的静电放电(ESD)对微电子器件造成的潜在性失效,采用人体模型(HBM)对微波低噪声晶体管2SC3356施加不同电压的ESD应力.结果表明:高电压的ESD注入对2SC3356器件造成的损伤主要是不可恢复的损伤,而低电压的ESD注入对2SC3356器件造成的损伤是可恢复的损伤;ESD的注入对器件有双重作用:一方面ESD在器件中可引入潜在性损伤,另一方面ESD对器件有加固作用,并且注入ESD电压越高,这些作用越明显. 展开更多
关键词 ESD 微电子器件 潜在性失效
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“微电子器件”课程三元教学法的研究 被引量:5
17
作者 刘继芝 廖昌俊 +2 位作者 任敏 张庆中 陈勇 《电气电子教学学报》 2016年第5期78-80,共3页
本文介绍在"微电子器件"的课堂教学中,将课堂讲授、实验测试和器件仿真三种教学方法有效地结合起来,形成"微电子器件"课程的三元教学新方法,使学生从被动学习变为主动的、创造性的学习,有效加深学生对器件物理机制... 本文介绍在"微电子器件"的课堂教学中,将课堂讲授、实验测试和器件仿真三种教学方法有效地结合起来,形成"微电子器件"课程的三元教学新方法,使学生从被动学习变为主动的、创造性的学习,有效加深学生对器件物理机制的理解,提高教学质量。本文对"微电子器件"课程教学有一定的指导作用。 展开更多
关键词 微电子器件 三元教学法 教学方法
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小班教学在“微电子器件”课程中的探索与实践 被引量:3
18
作者 刘继芝 廖昌俊 +1 位作者 任敏 钟智勇 《实验科学与技术》 2019年第3期87-90,共4页
针对微电子器件课程在教学中采用传统的大班教学形式存在课堂参与度低、自主学习不够深入、问题分析能力较差等问题,对该课程进行了"小班授课+小班研讨"的小班教学模式的教学实践,并就课程设置、研讨形式和考核方式进行了具... 针对微电子器件课程在教学中采用传统的大班教学形式存在课堂参与度低、自主学习不够深入、问题分析能力较差等问题,对该课程进行了"小班授课+小班研讨"的小班教学模式的教学实践,并就课程设置、研讨形式和考核方式进行了具体的研究和探讨。从教师的评教成绩可以看出,评教成绩由2016年时大班教学的91.76分上升到了2017年小班教学的95分。小班教学的改革是成功的,且学生的满意度大幅度提高。 展开更多
关键词 小班研讨 微电子器件课程 研讨形式 考核方式
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“微电子器件”课程探究式小班教学模式 被引量:4
19
作者 钟智勇 张怀武 +2 位作者 任敏 刘继芝 金立川 《电气电子教学学报》 2017年第2期17-18,23,共3页
当前,注重对学生的能力与思维培养的探究式小班(seminar)教学模式越来越受重视。本文介绍了我校"微电子器件"课程在探究式小班教学模式的实践中,构建启发式、案例式、讨论式的探究式教学形式的具体措施,最后还介绍了课程考核... 当前,注重对学生的能力与思维培养的探究式小班(seminar)教学模式越来越受重视。本文介绍了我校"微电子器件"课程在探究式小班教学模式的实践中,构建启发式、案例式、讨论式的探究式教学形式的具体措施,最后还介绍了课程考核方式的改革方法。 展开更多
关键词 探究式小班教学 微电子器件课程 教学方法
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真空微电子器件的进展与问题 被引量:3
20
作者 庄学曾 夏善红 刘光诒 《电子科学学刊》 CSCD 1997年第5期688-694,共7页
本文简要地叙述了真空微电子学的主要进展,在介绍场发射阵列FEA、场发射显示器FED、真空微电子微波毫米波器件等的发展过程中,重点叙述了有关器件对FEA的特殊要求、可能的解决办法和存在的问题,并介绍了发展真空微电子微波管的主要内容... 本文简要地叙述了真空微电子学的主要进展,在介绍场发射阵列FEA、场发射显示器FED、真空微电子微波毫米波器件等的发展过程中,重点叙述了有关器件对FEA的特殊要求、可能的解决办法和存在的问题,并介绍了发展真空微电子微波管的主要内容和意义;最后提到了有效地发展我国真空微电子器件需重视的一个问题. 展开更多
关键词 真空微电子 场发射阵列 真空微电子器件
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