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光的微电机系统在光通信网的应用
1
作者 张煦 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2002年第5期1-3,共3页
先简单表明未来的光通信网必然需要最合适的光器件。解释光的“微电机系统”有很好的发展前途。文中依次介绍光的微电机系统在光波长路由器、在光交叉连接和在光交换设备中的广泛应用。
关键词 微电机系统 光通信网 波长路由器 光交叉连接 光交换
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微电机系统(MEMS)的测试问题 被引量:5
2
作者 林俊 《国外电子测量技术》 2005年第8期3-3,共1页
微电机系统(MEMS)是在IC工艺技术基础上发展起来的一项重大科学技术,有着广阔的应用前景,但是它的测试问题从设计开始到批量生产,都面临着巨大的挑战。本文简单地论述了它们面临的测试问题。
关键词 微电机系统 单片系统 传感器系统 测试 科学技术 技术基础 IC工艺 批量生产
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微电机系统润滑薄膜制备及性能研究
3
作者 孙晓阳 向晴 +2 位作者 杨娟 王龙 孙初锋 《化工中间体》 2015年第8期21-22,共2页
润滑失效是影响微电机系统的寿命的主要因素之一,固体润滑薄膜与传统的润滑油脂相比。具可控性、润滑性良好,末端可设计型等优点,目前被广泛应用于航天航空等不同领域,特别是应用于具有不可更换性的关键部件。
关键词 微电机系统 固体润滑 表面引发聚合 摩擦学性能
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微电机系统用TiNi形状记忆合金薄膜特性
4
作者 蔡学章 《稀有金属快报》 CSCD 2002年第8期12-12,共1页
关键词 微电机系统 TiNi形态记忆合金薄膜 SMA
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利用微电机系统传感器实现光学互连
5
作者 颜严 《激光与光电子学进展》 CSCD 2002年第5期35-35,共1页
关键词 微电机系统 传感器 光学互连 原子力显微术
原文传递
基于微电机械系统的反射式可变光衰减器的研究与设计 被引量:3
6
作者 施向华 邱怡申 +1 位作者 李高明 徐惠真 《福建师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期46-48,共3页
利用双光纤准直器研制出一种基于微电机械系统(M icro E lectron ic M echan ica l System,M EM S)技术的连续可调光衰减器,利用双光纤准直器光纤头(P igta il)的楔角面对C-L ens准直透镜产生的色散进行了补偿,使得该衰减器工作在C-B an... 利用双光纤准直器研制出一种基于微电机械系统(M icro E lectron ic M echan ica l System,M EM S)技术的连续可调光衰减器,利用双光纤准直器光纤头(P igta il)的楔角面对C-L ens准直透镜产生的色散进行了补偿,使得该衰减器工作在C-B and及衰减范围内具有极低的波长相关损耗(W ave lengthD ependen t Loss,W DL)值.分析了影响该衰减器的其它光学性能的各个因素.对所试制样品进行测试结果表明:该衰减器具有良好的光学性能,插损(Insertion Loss,IL),回损(R eturn Loss,RL)等指标达到理想的结果,特别是W DL指标性能优于同类产品. 展开更多
关键词 微电机系统 双光纤准直器 波长相关损耗 可变光衰减器
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吊舱平台微电机转子系统的分岔特性分析 被引量:2
7
作者 江乐果 王一波 +2 位作者 焦彤 胡百振 孟祥福 《飞控与探测》 2019年第4期77-82,共6页
通过对光电吊舱稳定平台的微电机转子系统进行非线性动力学分析,得出了影响吊舱平台系统稳定输出的一些设计要素。着重考虑转子系统的转速变化对转子系统稳定性的影响,其响应会出现周期、拟周期及混沌振动状态。根据非线性分岔特性结果... 通过对光电吊舱稳定平台的微电机转子系统进行非线性动力学分析,得出了影响吊舱平台系统稳定输出的一些设计要素。着重考虑转子系统的转速变化对转子系统稳定性的影响,其响应会出现周期、拟周期及混沌振动状态。根据非线性分岔特性结果可知,在吊舱平台稳定性设计中需要考虑到转速及刚度特性对平台探测稳定性的影响。 展开更多
关键词 吊舱平台 微电机转子系统 非线性分析 分岔特性
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大力发展微机械加工技术和微电机械系统
8
作者 关定华 《测控技术》 CSCD 1998年第2期4-4,共1页
关键词 微机械加工 微电机系统 微电子学
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微电机械系统商业化的现状和未来展望
9
作者 宋晓舒 《光机电信息》 2003年第1期10-15,共6页
  2 0世纪 70年代MEMS/MST技术开始进入人们的生活。它给新产品带来的希望和梦幻及其应用使人们的生活发生了革命性变化。许多将这种技术的商业化视为发展目标的新公司纷纷成立。然而几年后事实证明 ,实现该技术的商业化是一个艰难的...   2 0世纪 70年代MEMS/MST技术开始进入人们的生活。它给新产品带来的希望和梦幻及其应用使人们的生活发生了革命性变化。许多将这种技术的商业化视为发展目标的新公司纷纷成立。然而几年后事实证明 ,实现该技术的商业化是一个艰难的过程。MEMS是一项可以实现的技术 ,同时也是一项破坏性技术 ,它注定要完全取代现有的人们所熟悉的经过严密论证的解决方案。一项新技术通常要具有明显的优越性 ,方可取代一项既定的技术。作为经验之谈 ,在可能采用新技术之前需要在一些重要的参数上 ,(如性能和成本上 )具有 5倍的优势。现在市场上已经出现了几种MEMS器件 ,并已发展到重要的商业化阶段。其他几种技术正处于商业成功的边缘。MEMS器件的特性、主要生产厂商及如何克服MEMS实现商业化障碍的问题将得到深入研究。本文将预测这种技术的未来发展趋势。 展开更多
关键词 微电机系统 商业化 现状 展望
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微电机械系统(MEMS)的发展
10
《光机电信息》 2001年第4期43-44,共2页
目前全球科研人员正致力于研究一些关键工艺技术,以便能产生下一代光学网络标准组件,即全光开关。在该领域,微电子机械系统具有很大的发展潜力,美国的一些公司已经开始了一些项目的研究,
关键词 微电机系统 全光开关 MEMS 光学网络 静电致动器
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微电机械系统/微光电机械系统的应用及前景
11
作者 于立亭 李锋 《光机电信息》 2003年第1期1-9,共9页
微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械、微光学、微声学、微流体技术、微反应技术等领域的微型化和集成化问题,其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上。近10年来,微技术已经形成了各种产品和日用品的数十亿美元资... 微技术正在解决除了微电子技术之外的微机械、微光学、微声学、微流体技术、微反应技术等领域的微型化和集成化问题,其进一步的重点将放在微米量级的相关器件和系统的研究上。近10年来,微技术已经形成了各种产品和日用品的数十亿美元资产的市场,预计未来若干年仍会高速增长。由于人们对医疗保健、信息、可移动性和可持续发展的渴望,刺激了对微技术产品的需求,一些高技术生产工艺和材料应运而生,而新器件和新系统的发展也使得一些用来模拟器件功能、生产工艺和综合优化过程的软件显得至关重要。此外,微器件的应用正在扩展至信息、自动化和医学技术领域,同时也为未来由微小型化在化学工程、生命科学、工业自动化和光通信等学科引起的变革奠定了全新的基础。 展开更多
关键词 微电机系统 微光电机系统 应用前景
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微电机械系统在光通信中的应用:现状和未来
12
作者 刘峰 《光机电信息》 2003年第10期1-8,共8页
随着波分复用 (WDM )网络的发展 ,光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加 ,人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力 ,而微电机械系统 (MEMS)则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候... 随着波分复用 (WDM )网络的发展 ,光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加 ,人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力 ,而微电机械系统 (MEMS)则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候选技术。其应用包括大尺寸光开关结构 (如光交叉连接器件、光插 /分多路传输器 )和传输网络用各种类型的有源和无源光学组件 (如可调谐激光器和滤波器、色散补偿装置、放大增益匀衡器、偏振控制器及其他器件 )。本文讨论了光通信用MEMS技术的开发现状、希望、面临的挑战及未来发展前景。重点讨论了基于MEMS的光交叉连接器。 展开更多
关键词 微电机系统 光通信 波分复用 光纤通信 MEMS 光交叉连接器 无源光学组件
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微电机械系统使光通讯用可调谐激光器成为可能
13
作者 刘洪楷 《光机电信息》 2004年第3期8-9,共2页
关键词 微电机系统 可调谐激光器 光纤通讯 悬臂式微电子机械系统
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微光电机械系统在光通信中的应用 被引量:3
14
作者 李文宇 马君显 杨淑雯 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 2002年第3期43-48,共6页
介绍微光电机械系统(MOEMS)技术在国内外的发展现状,通过多个应用实例和方案,展示了其在光通信领域的广阔应用前景.
关键词 微光电机系统 微电机系统 光通信 光交换
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微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取
15
作者 杨俊杰 甘骏人 姚林声 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2002年第1期87-91,共5页
为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型。通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数。仿真结果与实测数据比较表明,模拟结果与实测数据基本一致。
关键词 微电机 微磨擦 人工神经网络 微电机仿真系统
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基于MEMS技术FDM 3D打印机自适应调平系统 被引量:5
16
作者 张毅 王莎 +2 位作者 李盼盼 王兴迪 周亚男 《工程塑料应用》 CAS CSCD 北大核心 2017年第8期70-74,共5页
针对熔融沉积成型(FDM)3D打印机在使用过程中出现的打印模型粘接不牢、翘曲变形和抽丝等问题,基于微电机系统(MEMS)技术设计了一种4点式自适应调平系统。该系统利用MEMS双轴倾角传感器测量打印平台的倾角以确定位于最高点的调节点,运用... 针对熔融沉积成型(FDM)3D打印机在使用过程中出现的打印模型粘接不牢、翘曲变形和抽丝等问题,基于微电机系统(MEMS)技术设计了一种4点式自适应调平系统。该系统利用MEMS双轴倾角传感器测量打印平台的倾角以确定位于最高点的调节点,运用调平算法计算其它3个调节点的举升高度调节量,使用机电式调平机构采用逐高式调平方法实现打印平台的水平调节。研究表明,该系统具有原理简单,调平时间短,可靠性高等特点,能够满足3D打印机调平的性能指标要求,还可推广应用于其它各类调平系统。 展开更多
关键词 微电机系统技术 熔融沉积 3D打印机 调平系统
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微流体器件在微量液体操作系统中的应用 被引量:1
17
作者 王珺 闫献勇 +1 位作者 吴岚军 郭少朋 《微纳电子技术》 CAS 2004年第10期44-46,共3页
概述了应用于微量液体操作的微流体器件、微流体器件的主要材料和制造。并分别说明各微流体器件(集流腔、微泵、微吸液器等)的主要结构和在微量液体操作中的功用。
关键词 微电机系统 微流体器件 微泵
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PCR芯片和生化微分析系统 被引量:1
18
作者 庄贵生 赵建龙 《微纳电子技术》 CAS 2004年第12期16-21,共6页
介绍了PCR微芯片的最新研究进展,给出了不同结构的PCR芯片设计原理以及特点,介绍由PCR芯片为主要单元的集成微全分析系统的相关研究,同时简要介绍了对PCR的仿真模拟等。
关键词 微电机系统 PCR芯片 微流控 仿真模拟
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射频系统中MEMS谐振器和滤波器 被引量:16
19
作者 李应良 潘武 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第1期47-54,共8页
介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件。对这些器件的结构原理、制造方法以及... 介绍了目前国内外射频系统中所涉及的静电梳状谐振器、自由梁谐振器、薄膜声体波谐振器、腔结构谐振器、平行谐振器结构HF带通滤波器、折叠梁MF滤波器、分布传输线可调滤波器等MEMS谐振、滤波器件。对这些器件的结构原理、制造方法以及性能指标作了分析。把这些器件的性能指标和目前射频系统中谐振器、滤波器的性能要求进行比较,分析了这些器件的应用前景。最后,对基于MEMS技术的射频谐振器、滤波器发展作出展望。 展开更多
关键词 射频系统 MEMS 谐振器 滤波器 微电机系统
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CORBA技术在分布式微系统CAD设计中的运用 被引量:1
20
作者 汪成亮 肖沙里 +1 位作者 郑旭锋 李旭辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第2期194-198,共5页
MEMS CAD( CAD used in Micro-Electro-Mechanical System )的发展还处在一个初级阶段 ,是否能站在一个高起点上主要取决于对该领域相似问题的认识程度和对新技术的掌握程度。通过吸取传统CAD软件系统设计的经验 ,针对其中出现的几点重... MEMS CAD( CAD used in Micro-Electro-Mechanical System )的发展还处在一个初级阶段 ,是否能站在一个高起点上主要取决于对该领域相似问题的认识程度和对新技术的掌握程度。通过吸取传统CAD软件系统设计的经验 ,针对其中出现的几点重要性能 :语言无关性、平台无关性、模块的独立性、网络运用的稳定性 ,提出了构建于 CORBA( Common Object Request Broker Architecture)规范之上的分布式 MEMS 展开更多
关键词 微电机系统 计算机辅助设计 CORBA MEMS CAD
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