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空间光通信中的快速倾斜镜精跟踪实验系统 被引量:12
1
作者 岳冰 杨文淑 傅承毓 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期35-38,42,共5页
针对在空间光通信中影响ATP系统跟瞄精度的主要因素,提出了采用提高精跟踪控制系统 闭环带宽来保证系统跟瞄精度的方法。实验系统包括激光光源、四象限光电探测器、压电陶瓷驱动的快速倾斜镜和计算机等,实验结果表明,系统闭环带宽达到60... 针对在空间光通信中影响ATP系统跟瞄精度的主要因素,提出了采用提高精跟踪控制系统 闭环带宽来保证系统跟瞄精度的方法。实验系统包括激光光源、四象限光电探测器、压电陶瓷驱动的快速倾斜镜和计算机等,实验结果表明,系统闭环带宽达到600Hz以上,有效地抑制了平台扰动误差,使跟瞄精度达到5μrad。 展开更多
关键词 跟踪控制系统 快速倾斜 空间光通信 闭环带宽
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快速倾斜镜的模糊PID自适应控制器设计 被引量:7
2
作者 刘敏 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期227-229,232,共4页
介绍了一种快速倾斜镜系统。由于存在大气扰动、温度变化、环境干扰等非线性、不确定因素的影响,使用经典控制方法对这种变参数系统进行设计很难满足设计指标要求。在深入研究模糊理论的基础上,提出了模糊推理与经典PID相结合的自适应... 介绍了一种快速倾斜镜系统。由于存在大气扰动、温度变化、环境干扰等非线性、不确定因素的影响,使用经典控制方法对这种变参数系统进行设计很难满足设计指标要求。在深入研究模糊理论的基础上,提出了模糊推理与经典PID相结合的自适应控制器设计方案,控制参数可以在线调整,解决了参数时变和建模不确定性的问题。仿真结果证明,模糊PID自适应控制器能很好地解决大气扰动、温度变化等环境干扰问题,改善了快速倾斜镜动态响应过程。研究结果为倾斜镜的快速控制提供了一种新的思路。 展开更多
关键词 快速倾斜 建模 模糊PID控制 仿真技术
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快速倾斜镜的建模与模型参考自适应控制技术研究 被引量:4
3
作者 刘敏 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期108-112,共5页
通过实验建模方法建立快速倾斜镜四阶模型,采用routh降阶方法将快速倾斜镜四阶模型降为二阶模型,数学仿真验证了简化模型较好的反映了原系统主要性能。提出的建模方法对快速倾斜镜的准确建模是简便、有效的,为现代控制理论的研究提供了... 通过实验建模方法建立快速倾斜镜四阶模型,采用routh降阶方法将快速倾斜镜四阶模型降为二阶模型,数学仿真验证了简化模型较好的反映了原系统主要性能。提出的建模方法对快速倾斜镜的准确建模是简便、有效的,为现代控制理论的研究提供了数学基础。在建立二阶模型的基础上,设计了基于李亚普诺夫稳定理论的模型参考自适应控制器,并进行了全系统的计算机仿真。仿真结果表明,针对快速倾斜提出的基于李亚普诺夫稳定理论的模型参考自适应控制器能够减小系统稳态误差、提高系统响应速度。研究结果为倾斜镜的快速控制提供了一种新的思路。 展开更多
关键词 快速倾斜 建模 模型参考自适应控制 仿真技术
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空间光通信中快速倾斜镜的数字控制研究 被引量:4
4
作者 刘淑华 卢亚雄 +1 位作者 罗彤 胡渝 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期165-167,共3页
文章描述了空间光通信跟瞄系统中精跟踪的数字控制。对于一个给定的快速倾斜镜 ,基于零极点对消方法在Z域内设计了数字控制器 ,并对加入控制器后的系统进行了仿真。
关键词 空间光通信 快速倾斜 数字控制
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一种快速倾斜镜系统的设计与应用 被引量:3
5
作者 贾巍 范承玉 王海涛 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期9-14,共6页
激光在大气中传输时,由于大气湍流的存在,会导致光束漂移和能量集中度下降。校正倾斜像差,可以提高激光在大气中传输的质量,而快速倾斜镜正是倾斜像差校正的关键部件。设计了一个基于柔性轴结构的二维压电陶瓷型快速倾斜镜,采用高压运... 激光在大气中传输时,由于大气湍流的存在,会导致光束漂移和能量集中度下降。校正倾斜像差,可以提高激光在大气中传输的质量,而快速倾斜镜正是倾斜像差校正的关键部件。设计了一个基于柔性轴结构的二维压电陶瓷型快速倾斜镜,采用高压运算放大器PA96制作其驱动电源,并选用TMS320F2812型DSP芯片作为倾斜镜控制系统的核心处理器,经实验测试表明,该快速倾斜镜的偏转范围达到1.8mrad,谐振频率为432Hz,角分辨力约为0.5μrad。最后将此系统应用于激光大气传输倾斜像差校正实验中,实验结果表明,该系统能够有效提高光斑能量集中度并降低光斑漂移,可以应用于激光大气传输中对倾斜像差的校正。 展开更多
关键词 激光大气传输 快速倾斜 驱动电源 DSP芯片 驱动控制系统
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应用于快速倾斜镜的压电陶瓷驱动电源 被引量:6
6
作者 贾巍 范承玉 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期235-240,共6页
压电陶瓷致动器具有体积小、推力大、高频响和分辨率高等特点,广泛应用于精密制造、光学仪器、振动控制等领域。为提高压电陶瓷型快速倾斜镜的控制精度和稳定性,根据压电陶瓷致动器对其驱动电源的要求,设计了一种基于高压运算放大器PA9... 压电陶瓷致动器具有体积小、推力大、高频响和分辨率高等特点,广泛应用于精密制造、光学仪器、振动控制等领域。为提高压电陶瓷型快速倾斜镜的控制精度和稳定性,根据压电陶瓷致动器对其驱动电源的要求,设计了一种基于高压运算放大器PA96的驱动电源。介绍了该电源电路的基本原理,并对放大器的外围电路进行了稳定性设计。最后通过实验测试表明,该电源线性度大于99%、静态纹波小于10 mV、动态性能稳定,能够达到自适应光学系统中快速倾斜镜的控制要求。 展开更多
关键词 自适应光学 快速倾斜 压电陶瓷 高压运算放大器 驱动电源
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信标光系统中快速倾斜镜精度补偿方法研究
7
作者 杜昌达 《电光系统》 2014年第1期24-26,共3页
为了提高光电跟踪系统精度校准信标光分系统设计试验中的信标光精度,提出了采用二级缩束等光学校准分系统和微透镜及CCD模块相配合使用的实时校准数据反馈装置,为控制系统以及最终数据处理实时地提供振幅补偿数据。实验证明,该装置... 为了提高光电跟踪系统精度校准信标光分系统设计试验中的信标光精度,提出了采用二级缩束等光学校准分系统和微透镜及CCD模块相配合使用的实时校准数据反馈装置,为控制系统以及最终数据处理实时地提供振幅补偿数据。实验证明,该装置也可以通过增添或删减部分组件的方法,在多种使用快速倾斜镜的光学系统中作为实时校准监控装置使用。 展开更多
关键词 跟踪控制系统 快速倾斜 振幅补偿
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压电式快速控制反射镜的迟滞特性及线性化 被引量:8
8
作者 袁刚 张小波 +1 位作者 王代华 陈敏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1650-1656,共7页
针对压电式快速控制反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)的迟滞问题,分析了压电式FSM的工作原理和迟滞特性,建立了基于Bouc-Wen算子的压电式FSM的数学模型及其参数辨识方法。通过Bouc-Wen算子模拟压电式FSM输出镜面偏转角度中的迟滞分量,... 针对压电式快速控制反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)的迟滞问题,分析了压电式FSM的工作原理和迟滞特性,建立了基于Bouc-Wen算子的压电式FSM的数学模型及其参数辨识方法。通过Bouc-Wen算子模拟压电式FSM输出镜面偏转角度中的迟滞分量,并根据在两个相位相同的输入驱动电压信号下压电式FSM的输出镜面偏转角度曲线辨识Bouc-Wen算子的全部参数。在此基础上,提出了压电式FSM的前馈线性化方法。为了验证提出的数学模型和线性化方法的原理,建立了压电式FSM及其线性化控制器的快速原型系统和Bouc-Wen算子参数辨识实验装置。实验结果表明:本文提出的参数辨识方法能够准确辨识压电式FSM的Bouc-Wen算子参数,提出的前馈线性化方法能够将压电式FSM的输出镜面偏转角度与输入控制电压的线性度提高到2.3%,迟滞误差减小到±0.5%,满足实际应用对精确控制压电式FSM的要求。 展开更多
关键词 快速控制反射 压电陶瓷叠堆执行器 倾斜 迟滞 线性化
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大角度压电式快速控制反射镜 被引量:7
9
作者 袁刚 王代华 李世栋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2258-2264,共7页
针对现有的基于压电陶瓷叠堆执行器的快速控制反射镜偏转角度较小的问题,提出了一种大角度定轴偏转压电式快速控制反射镜。采用基于柔性铰链的桥式位移放大机构将压电陶瓷叠堆执行器的输出位移放大,并将其作用到反射镜面上实现大角度定... 针对现有的基于压电陶瓷叠堆执行器的快速控制反射镜偏转角度较小的问题,提出了一种大角度定轴偏转压电式快速控制反射镜。采用基于柔性铰链的桥式位移放大机构将压电陶瓷叠堆执行器的输出位移放大,并将其作用到反射镜面上实现大角度定轴偏转。在此基础上,建立了压电式快速控制反射镜的结构和偏转角度输出方程,并通过理论推导和仿真对其工作时的最大偏转角度、最大应力和自然频率特性进行了分析。最后,通过实验测试对建立的压电式快速控制反射镜的工作原理和特性分析结果进行了验证。结果表明,建立的偏转角度输出方程能够根据压电陶瓷叠堆执行器的输出位移准确估计压电式快速控制反射镜的机械偏转角度,从而大大提高设计的效率;建立的压电式快速控制反射镜可以实现大于3°的镜面机械偏转,其固有频率为180Hz,能够满足高速稳像系统的偏转角度大、响应速度快的要求。 展开更多
关键词 快速控制反射 压电陶瓷叠堆执行器 倾斜 自适应光学 图像稳定
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离轴共焦非稳腔激光远场分布的腔镜倾斜容限研究
10
作者 王宁 李晓霞 朱化凤 《科学技术与工程》 北大核心 2012年第9期2045-2047,2052,共4页
以波函数坐标变换理论和快速傅里叶算法为基础,在考虑腔镜倾斜情况下对离轴共焦非稳腔的光场计算进行了修正。利用修正后的计算方法模拟了腔镜M1倾斜不同角度及不同方向倾斜时远场光强分布,并分析了远场模式的变化。理论分析表明,离轴... 以波函数坐标变换理论和快速傅里叶算法为基础,在考虑腔镜倾斜情况下对离轴共焦非稳腔的光场计算进行了修正。利用修正后的计算方法模拟了腔镜M1倾斜不同角度及不同方向倾斜时远场光强分布,并分析了远场模式的变化。理论分析表明,离轴共焦非稳腔的腔镜倾斜失调容限在顺时针和逆时针方向上是不同的。腔镜M1逆时针倾斜的失调容限大于顺时针倾斜的失调容限,这与共轴共焦非稳腔是有显著区别的。 展开更多
关键词 离轴非稳腔 倾斜 远场 快速傅里叶算法
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激光大气传输倾斜校正系统 被引量:13
11
作者 谭逢富 陈修涛 +3 位作者 姚佰栋 陆茜 侯再红 吴毅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第3期429-432,共4页
在目标跟踪系统中,由于大气湍流的影响导致光波振幅和相位的起伏。为了能够精确地跟踪目标,首先必须消除大气湍流造成的光斑抖动。文中主要介绍了一种基于压电陶瓷(PZT)的激光大气传输倾斜校正系统,系统由两部分组成:探测系统和校正系... 在目标跟踪系统中,由于大气湍流的影响导致光波振幅和相位的起伏。为了能够精确地跟踪目标,首先必须消除大气湍流造成的光斑抖动。文中主要介绍了一种基于压电陶瓷(PZT)的激光大气传输倾斜校正系统,系统由两部分组成:探测系统和校正系统。探测系统使用可以直接探测光斑重心位置的位敏传感器(PSD);校正系统使用压电陶瓷驱动的高速倾斜镜。分析了系统的校正性能,实验结果表明:该系统具有良好的鲁棒性和实时性,跟踪精度可达到0.6μrad,对大气湍流引起的信标光斑抖动有很好的抑制作用,能够满足激光大气传输倾斜校正的精度要求。 展开更多
关键词 倾斜校正 位置敏感探测器 快速倾斜 压电陶瓷
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具有延迟特性的FSM系统中PI-PI控制器 被引量:4
12
作者 唐涛 杨涛 +2 位作者 黄永梅 付承毓 郭海帆 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1-5,共5页
在利用CCD闭环的快速倾斜镜(FSM)控制系统中,延迟是控制性能最大的限制,严重制约了闭环性能和控制带宽。本文在PID控制器的基础上串联一个积分器,利用PI-PI控制器提高CCD闭环的FSM控制系统的性能。建立了一套详细的控制模型,给出了控制... 在利用CCD闭环的快速倾斜镜(FSM)控制系统中,延迟是控制性能最大的限制,严重制约了闭环性能和控制带宽。本文在PID控制器的基础上串联一个积分器,利用PI-PI控制器提高CCD闭环的FSM控制系统的性能。建立了一套详细的控制模型,给出了控制器参数整定的公式。理论和实验表明,采用PI-PI控制器的误差抑制带宽要窄一点,高频段抑制能力同积分控制器相当,但是对低频的误差抑制能力要强的多。 展开更多
关键词 CCD 时间延迟 PI-PI控制器 控制带宽 误差抑制 快速倾斜
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压电驱动FSM的动态性能分析 被引量:6
13
作者 周辉 杨明冬 +1 位作者 贾建军 王建宇 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第18期5168-5171,共4页
快速倾斜镜(FSM)常用作光束控制的执行装置,很多场合都要求其具有优秀的动态性能。利用有限元分析法和动态模型方法对某FSM的动态性能进行了分析。对设计制造的FSM实物实施了动态性能测试,分析和验证了频率特性曲线中所表现的非线性和... 快速倾斜镜(FSM)常用作光束控制的执行装置,很多场合都要求其具有优秀的动态性能。利用有限元分析法和动态模型方法对某FSM的动态性能进行了分析。对设计制造的FSM实物实施了动态性能测试,分析和验证了频率特性曲线中所表现的非线性和机械谐振特性,发现加固层和结构摩擦作用下激发出的压电堆叠弯曲模态也是FSM动态性能的制约因素。 展开更多
关键词 快速倾斜 压电堆叠 频率特性 动态模型 有限元分析
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基于改进PI模型的压电陶瓷迟滞特性补偿控制 被引量:32
14
作者 于志亮 刘杨 +2 位作者 王岩 李松 谭久彬 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期129-135,共7页
压电陶瓷执行器的迟滞特性会降低星间激光通信精瞄系统的定位精度,对信标光的捕获以及链路的稳定性造成影响。针对这一问题,通过分析压电陶瓷执行器迟滞特性产生机理,提出一种基于PLAY迟滞算子的改进(Prandtl-Ishlinskii,PI)数学模型及... 压电陶瓷执行器的迟滞特性会降低星间激光通信精瞄系统的定位精度,对信标光的捕获以及链路的稳定性造成影响。针对这一问题,通过分析压电陶瓷执行器迟滞特性产生机理,提出一种基于PLAY迟滞算子的改进(Prandtl-Ishlinskii,PI)数学模型及其辨识方法,并利用该模型对压电陶瓷执行器迟滞特性进行前馈线性化逆补偿。并通过实验来验证数学模型和线性化的有效性,实验结果表明,通过对系统输入不同频率下等幅和减幅正弦控制信号来验证前馈逆补偿性能时,改进的模型最大拟合误差均在1%之内,通过前馈模型逆补偿的控制方法可使压电陶瓷驱动的线性度误差由5%减小到1%以内,并且改进PI模型在计算复杂度上由O(n)简化为O(1)。 展开更多
关键词 快速倾斜 压电陶瓷执行器 迟滞特性 改进PI模型
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四束激光光轴高精度稳定控制技术 被引量:4
15
作者 李国会 杨媛 +6 位作者 何忠武 向汝建 吴晶 徐宏来 颜宏 卢飞 胡平 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期50-54,共5页
介绍了压电陶瓷快速倾斜镜以及相应的反馈和控制系统研制过程,并对快速倾斜镜进行了详细的性能测试,包括响应速度、动态范围以及闭环分辨率等重要参数。在此基础上,完成了4束激光相干合成时光轴稳定闭环控制实验。实验结果表明:系统闭... 介绍了压电陶瓷快速倾斜镜以及相应的反馈和控制系统研制过程,并对快速倾斜镜进行了详细的性能测试,包括响应速度、动态范围以及闭环分辨率等重要参数。在此基础上,完成了4束激光相干合成时光轴稳定闭环控制实验。实验结果表明:系统闭环控制时,4束激光光轴的均方根抖动均小于1.5μrad,与开环状态相比,光轴抖动量减小了80%。通过对开闭环控制结果的对比分析发现,远场光斑平均帧峰值提高了3.8倍。 展开更多
关键词 相干合成 快速倾斜 压电陶瓷 响应速度
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压电陶瓷执行器迟滞补偿及复合控制 被引量:17
16
作者 于志亮 王岩 +1 位作者 曹开锐 陈昊 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期2113-2120,共8页
快速倾斜镜是星间激光通信终端精瞄系统的核心部件,其驱动装置为压电陶瓷执行器,而压电陶瓷具有迟滞特性,其严重影响了快速倾斜镜的定位精度,进而对星间通信链路的稳定性造成不利影响。为解决这一问题,本文设计了一种改进Prandtl-Ishlin... 快速倾斜镜是星间激光通信终端精瞄系统的核心部件,其驱动装置为压电陶瓷执行器,而压电陶瓷具有迟滞特性,其严重影响了快速倾斜镜的定位精度,进而对星间通信链路的稳定性造成不利影响。为解决这一问题,本文设计了一种改进Prandtl-Ishlinskii(P-I)模型对压电陶瓷执行器进行建模。在此基础上,提出了压电陶瓷执行器前馈线性化方法,以对迟滞特性进行前馈逆补偿。接着,提出了一种结合改进的P-I模型与增量式PID算法的复合控制算法,并在DSP中实现了该复合控制算法。最后,在试验平台上对该算法进行了验证。结果显示:当分别对系统输入10Hz和100Hz减幅正弦、等幅正弦曲线时,模型误差在0.59%以内,在输入同频100Hz以下的减幅正弦曲线时,传统PID算法的最大误差为59.31μrad,而该复合算法的最大误差为14.22μrad。实验数据表明,本文复合控制方法的动态跟踪性能明显优于传统PID方法,改进Prandtl-Ishlinskii(P-I)模型可以精确描述压电陶瓷的迟滞特性。本文设计的复合控制方法满足实际应用对快速倾斜镜的要求。 展开更多
关键词 快速倾斜 激光通信 精瞄系统 压电陶瓷执行器 迟滞特性 改进PI迟滞模型 复合控制
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部分端面抽运板条激光器腔镜倾斜问题研究 被引量:6
17
作者 王宁 陆雨田 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1593-1598,共6页
部分端面抽运的板条激光器是一种新型固体激光器,配合混合腔可以实现在大功率下保持高光束质量的激光振荡输出。谐振腔的腔镜倾斜是影响激光器输出特性的重要因素,快速傅里叶方法是一种快捷有效的计算方法,利用此方法模拟了腔镜倾斜对... 部分端面抽运的板条激光器是一种新型固体激光器,配合混合腔可以实现在大功率下保持高光束质量的激光振荡输出。谐振腔的腔镜倾斜是影响激光器输出特性的重要因素,快速傅里叶方法是一种快捷有效的计算方法,利用此方法模拟了腔镜倾斜对近场相位分布和远场光强分布的影响,并分析了光束质量的变化。理论分析表明,腔镜的小角度倾斜对近场相位影响较大,但对远场光强空间分布影响不大;随着倾斜角度不断增大,远场发散角和光束腰宽度也增大,光束质量虽然存在恶化的趋势,但光束质量因子M2值仍然较小,离轴非稳腔仍能保持高光束质量的输出。 展开更多
关键词 激光技术 倾斜 快速傅里叶算法 离轴混合腔
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一种人造信标光的产生方法
18
作者 舒柏宏 刘泽金 +2 位作者 陆启生 陈金宝 赵伊君 《光学技术》 CAS CSCD 1999年第4期33-34,共2页
本文介绍了一种高频大幅度运动可控人造信标的产生方法与装置。利用经扩束与聚焦的Ar+激光照射到远处的玻璃微珠上,通过压电陶瓷驱动的快速倾斜镜的控制使激光束在玻璃微珠上快速扫描运动,以其后向反射光作为信标光。该方法可为光... 本文介绍了一种高频大幅度运动可控人造信标的产生方法与装置。利用经扩束与聚焦的Ar+激光照射到远处的玻璃微珠上,通过压电陶瓷驱动的快速倾斜镜的控制使激光束在玻璃微珠上快速扫描运动,以其后向反射光作为信标光。该方法可为光学跟踪设备提供可控的运动信标。 展开更多
关键词 快速倾斜 玻璃微珠 人造信标 激光
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基于dsPIC的精跟踪控制系统设计
19
作者 谭逢富 陈修涛 +1 位作者 姚佰栋 侯再红 《大气与环境光学学报》 CAS 2011年第3期235-239,共5页
对精跟踪的驱动、检测和控制方法进行了研究。设计了精跟踪控制系统的驱动、检测和控制电路,并针对驱动电路的动、静态性能进行了测试研究,对检测电路进行了标定实验,对模糊自整定PID控制方法进行了研究。采用模拟扰动源对系统性能进行... 对精跟踪的驱动、检测和控制方法进行了研究。设计了精跟踪控制系统的驱动、检测和控制电路,并针对驱动电路的动、静态性能进行了测试研究,对检测电路进行了标定实验,对模糊自整定PID控制方法进行了研究。采用模拟扰动源对系统性能进行了测试,结果表明该系统有良好的精跟踪能力。 展开更多
关键词 精跟踪系统 快速倾斜 压电陶瓷 位置敏感探测器
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巨磁致伸缩材料作动器及其谐振频率研究 被引量:3
20
作者 彭剑 张天丽 +1 位作者 蒋成保 徐惠彬 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期470-475,共6页
快速倾斜镜(FSM)是自适应光学系统中提高系统传输精度的关键器件。针对快速倾斜镜的应用背景,采用巨磁致伸缩材料作为驱动组元,研制适用于新型快速倾斜镜的巨磁致伸缩材料作动器,并对作动器的输出位移、输出力及振动模态进行了研究。采... 快速倾斜镜(FSM)是自适应光学系统中提高系统传输精度的关键器件。针对快速倾斜镜的应用背景,采用巨磁致伸缩材料作为驱动组元,研制适用于新型快速倾斜镜的巨磁致伸缩材料作动器,并对作动器的输出位移、输出力及振动模态进行了研究。采用超高温度梯度区熔定向凝固法制备了具有〈112〉轴向择优取向的TbDyFe巨磁致伸缩合金,其10MPa预压力时平行于外磁场方向的饱和磁致伸缩性能达到0.175%,线性段磁致伸缩性能超过0.12%。所研制的巨磁致伸缩材料作动器的准静态位移超过±40μm,输出力达到1000N以上,并且具有良好的动态响应。巨磁致伸缩材料作动器在1kg负载时的一阶共振频率达到97Hz。这为新型快速倾斜镜系统的研制建立了良好的基础。 展开更多
关键词 巨磁致伸缩作动器 性能测试 谐振频率分析 快速倾斜 自适应光学系统
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