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压电陶瓷微动台的复合控制
被引量：
19
1
作者
王俐
饶长辉
饶学军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期1265-1271,共7页
压电陶瓷微动台的迟滞非线性严重影响其动态定位精度,为了解决这一问题,采用一种改进的PI模型对微动台的迟滞非线性进行了建模。为了提高传统PID算法对压电陶瓷微动台的动态定位性能,将改进的PI模型与传统PID算法组合构成前馈复合控制算...
压电陶瓷微动台的迟滞非线性严重影响其动态定位精度,为了解决这一问题,采用一种改进的PI模型对微动台的迟滞非线性进行了建模。为了提高传统PID算法对压电陶瓷微动台的动态定位性能,将改进的PI模型与传统PID算法组合构成前馈复合控制算法,并进行了微动台的慢速与快速动态定位实验。结果表明,对同频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差为传统PID算法的40%左右,平均误差为传统算法的20%～30%左右;对多频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差和平均误差为传统PID算法的33%左右。数据表明前馈PID复合算法的动态定位性能明显优于传统PID算法。
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关键词
压电陶瓷
迟滞
特性
改进的pi迟滞模型
前馈控制
动态定位精度
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职称材料
题名
压电陶瓷微动台的复合控制
被引量：
19
1
作者
王俐
饶长辉
饶学军
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院自适应光学重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期1265-1271,共7页
基金
国家自然科学基金重点项目(No.11178004)
文摘
压电陶瓷微动台的迟滞非线性严重影响其动态定位精度,为了解决这一问题,采用一种改进的PI模型对微动台的迟滞非线性进行了建模。为了提高传统PID算法对压电陶瓷微动台的动态定位性能,将改进的PI模型与传统PID算法组合构成前馈复合控制算法,并进行了微动台的慢速与快速动态定位实验。结果表明,对同频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差为传统PID算法的40%左右,平均误差为传统算法的20%～30%左右;对多频曲线定位时,前馈PID复合算法的最大误差和平均误差为传统PID算法的33%左右。数据表明前馈PID复合算法的动态定位性能明显优于传统PID算法。
关键词
压电陶瓷
迟滞
特性
改进的pi迟滞模型
前馈控制
动态定位精度
Keywords
pi
ezoelectric ceramic hysteresis charaeteristie modified
pi
hysteresis model[eed-forwardcontroll~ dynamic positioning precision
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电陶瓷微动台的复合控制
王俐
饶长辉
饶学军
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
19
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