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旋转非对称项面形误差绝对检测的仿真分析
被引量：
10
1
作者
杨鹏
伍凡
侯溪
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期93-97,102,共6页
为满足光学元件的高精度检测要求,绝对检测技术取代传统相对检测技术被越来越多的用于光学检测过程中。然而传统绝对检测法检测都有各自适用的范围且检测过程复杂对实验仪器的精度要求较高。在某些只需要获得旋转非对称面型误差的检测...
为满足光学元件的高精度检测要求,绝对检测技术取代传统相对检测技术被越来越多的用于光学检测过程中。然而传统绝对检测法检测都有各自适用的范围且检测过程复杂对实验仪器的精度要求较高。在某些只需要获得旋转非对称面型误差的检测领域旋转平均法成为一种简单易行的绝对检测手段。旋转平均法适用于平面、球面与非球面旋转非对称面型检测。本文对旋转平均法的原理进行了介绍,利用光学设计软件对旋转平均法的检测过程进行仿真。利用仿真检测对待测面形的旋转非对称项误差及kNθ旋转对称项进行量化分析,仿真分析出的结果与理论结果较好的吻合。仿真分析的实验结果表明:利用旋转平移法可有效提高非旋转对称面形检测的精度,实验仿真模型可有效对实际检测过程进行仿真。
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关键词
光学
检测
旋转非对称项绝对检测
仿真分析
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职称材料
应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正
被引量：
4
2
作者
韩冬松
何昕
+1 位作者
魏仲慧
李一芒
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1297-1303,共7页
针对利用高精度菲索型干涉仪和旋转平均法对光学元件进行面形绝对检测时对旋转精度的要求,提出了一种旋转误差校正模型来修正面形绝对检测中的旋转非对称项误差。首先基于经典N步旋转平均法理论,通过泽尼克多项式给出面形误差的数学表...
针对利用高精度菲索型干涉仪和旋转平均法对光学元件进行面形绝对检测时对旋转精度的要求,提出了一种旋转误差校正模型来修正面形绝对检测中的旋转非对称项误差。首先基于经典N步旋转平均法理论,通过泽尼克多项式给出面形误差的数学表达形式;然后根据旋转角度所引起的误差修正泽尼克系数进而修正旋转非对称项误差;最后用数值仿真及实验的方法验证了校正模型的正确性。在旋转角度误差为0.1°条件下的仿真结果显示:N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.13%,校正后面形误差RMS值为真实面形的6.79%;实验结果显示:N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.28%,校正后面形误差RMS值为真实面形的5.77%。这些结果证明所提出的校正模型准确可靠,提高了旋转平均法的检测精度。
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关键词
菲索干涉仪
旋转
平均法
旋转
非对称
项
面形误差
面形
绝对
检测
泽尼克多
项
式
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职称材料
基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究
被引量：
8
3
作者
宋伟红
伍凡
侯溪
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期105-110,共6页
绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测数据,采用基于最小二乘法的Zernike多项式拟合,剔除系统误差,获得被测面的旋转非对称面形误差。详细推导...
绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测数据,采用基于最小二乘法的Zernike多项式拟合,剔除系统误差,获得被测面的旋转非对称面形误差。详细推导了理论计算公式,分析了单次旋转角度对算法检测精度的影响,并和多次旋转法作了对比,其残差均方根(RMS)值约为1.5nm。该方法只需一次旋转两次检测,在保证检测精度的同时简化了检测过程。
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关键词
测量
绝对
检测
单次
旋转
旋转
非对称
光学
检测
原文传递
基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测
被引量：
8
4
作者
张艳微
苏东奇
+1 位作者
隋永新
杨怀江
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期216-221,共6页
旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术。旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转测量,称为N+1次旋转法。通过附加的一次旋转测量,采用泽尼克多项式拟合求解旋转平均法的丢失面形。推导了...
旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术。旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转测量,称为N+1次旋转法。通过附加的一次旋转测量,采用泽尼克多项式拟合求解旋转平均法的丢失面形。推导了理论计算公式,仿真分析了存在旋转角度和偏心误差时,补偿算法的有效性以及附加旋转角度对补偿面形计算精度的影响。验证实验的结果与仿真相符,表明在选择合适的附加角度之后,该算法可有效补偿丢失信息。与旋转平均法相比,只需增加一次旋转,就能得到更完整的面形,极大地提高了检测效率和精度,实验中补偿率达到61%,检测精度提高了约1倍。
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关键词
测量
误差补偿
旋转
平均法
旋转
非对称
面形
绝对
检测
原文传递
题名
旋转非对称项面形误差绝对检测的仿真分析
被引量：
10
1
作者
杨鹏
伍凡
侯溪
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院研究生院
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期93-97,102,共6页
文摘
为满足光学元件的高精度检测要求,绝对检测技术取代传统相对检测技术被越来越多的用于光学检测过程中。然而传统绝对检测法检测都有各自适用的范围且检测过程复杂对实验仪器的精度要求较高。在某些只需要获得旋转非对称面型误差的检测领域旋转平均法成为一种简单易行的绝对检测手段。旋转平均法适用于平面、球面与非球面旋转非对称面型检测。本文对旋转平均法的原理进行了介绍,利用光学设计软件对旋转平均法的检测过程进行仿真。利用仿真检测对待测面形的旋转非对称项误差及kNθ旋转对称项进行量化分析,仿真分析出的结果与理论结果较好的吻合。仿真分析的实验结果表明:利用旋转平移法可有效提高非旋转对称面形检测的精度,实验仿真模型可有效对实际检测过程进行仿真。
关键词
光学
检测
旋转非对称项绝对检测
仿真分析
Keywords
optical testing
absolute measurement of rotationally asymmetric surface error
simulation analysis
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正
被引量：
4
2
作者
韩冬松
何昕
魏仲慧
李一芒
机构
中国科学院长春光学精密机械及物理研究所
中国科学院大学
中国人民解放军防化研究院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1297-1303,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60902067)
吉林省重大科技攻关项目(No.112DGG001)
文摘
针对利用高精度菲索型干涉仪和旋转平均法对光学元件进行面形绝对检测时对旋转精度的要求,提出了一种旋转误差校正模型来修正面形绝对检测中的旋转非对称项误差。首先基于经典N步旋转平均法理论,通过泽尼克多项式给出面形误差的数学表达形式;然后根据旋转角度所引起的误差修正泽尼克系数进而修正旋转非对称项误差;最后用数值仿真及实验的方法验证了校正模型的正确性。在旋转角度误差为0.1°条件下的仿真结果显示:N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.13%,校正后面形误差RMS值为真实面形的6.79%;实验结果显示:N步旋转平均法所得面形误差RMS值为真实面形的10.28%,校正后面形误差RMS值为真实面形的5.77%。这些结果证明所提出的校正模型准确可靠,提高了旋转平均法的检测精度。
关键词
菲索干涉仪
旋转
平均法
旋转
非对称
项
面形误差
面形
绝对
检测
泽尼克多
项
式
Keywords
Fizeau interferometer
rotational averaging method
rotationally asymmetric surfacedeviation
absolute flatness detection
Zernike polynomial
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究
被引量：
8
3
作者
宋伟红
伍凡
侯溪
机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院研究生院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期105-110,共6页
基金
国家自然科学基金(60908042)资助课题
文摘
绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测数据,采用基于最小二乘法的Zernike多项式拟合,剔除系统误差,获得被测面的旋转非对称面形误差。详细推导了理论计算公式,分析了单次旋转角度对算法检测精度的影响,并和多次旋转法作了对比,其残差均方根(RMS)值约为1.5nm。该方法只需一次旋转两次检测,在保证检测精度的同时简化了检测过程。
关键词
测量
绝对
检测
单次
旋转
旋转
非对称
光学
检测
Keywords
measurement
absolute testing
single rotation
rotationally asymmetric
optical measurement
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测
被引量：
8
4
作者
张艳微
苏东奇
隋永新
杨怀江
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院大学
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期216-221,共6页
基金
国家科技重大专项(2009ZX02205)
文摘
旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术。旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转测量,称为N+1次旋转法。通过附加的一次旋转测量,采用泽尼克多项式拟合求解旋转平均法的丢失面形。推导了理论计算公式,仿真分析了存在旋转角度和偏心误差时,补偿算法的有效性以及附加旋转角度对补偿面形计算精度的影响。验证实验的结果与仿真相符,表明在选择合适的附加角度之后,该算法可有效补偿丢失信息。与旋转平均法相比,只需增加一次旋转,就能得到更完整的面形,极大地提高了检测效率和精度,实验中补偿率达到61%,检测精度提高了约1倍。
关键词
测量
误差补偿
旋转
平均法
旋转
非对称
面形
绝对
检测
Keywords
measurement
error compensation
rotation-averaging method
rotationally asymmetric surface
absolute testing
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
旋转非对称项面形误差绝对检测的仿真分析
杨鹏
伍凡
侯溪
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2011
10
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正
韩冬松
何昕
魏仲慧
李一芒
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于单次旋转的旋转非对称面形误差绝对检测技术研究
宋伟红
伍凡
侯溪
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
8
原文传递
4
基于旋转平均补偿算法的旋转非对称面形绝对检测
张艳微
苏东奇
隋永新
杨怀江
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
8
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