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MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器 被引量：1
1
作者 毛超民 王政平 +1 位作者 王冰 任峰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期178-179,198,共3页
文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽... 文中介绍通过采用MEMS(micro electro mechanical systems)技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量,并且适合于批量制造。 展开更多
关键词 微机械加工技术 硅压阻 智能校准补偿技术 汽车压力传感器
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