-
题名基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟
被引量：7
- 1
-
-
作者
麻健勇
傅克祥
王植恒
卢向东
-
机构
四川大学物理科学和技术学院
-
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期42-44,共3页
-
文摘
将一种广泛用于求解系统优化问题的方法———正单纯形法 ,求解光栅的椭偏方程。首先 ,利用求解光栅的傅立叶模式理论对TE和TM波的复反射系数进行求解 ,然后计算出其相应的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,并在该值的基础上加入不同偏差的随机高斯噪声 ,将加入噪声后的值(Δm,Ψm)作为模拟测量值 ,最后使用优化算法进行反演。通过对几种常用面形光栅椭偏参数的数值模拟 ,一方面表明傅立叶模式理论计算光栅的椭偏参数不仅精度高 ,而且速度快 ;另一方面表明利用正单纯形法得到的光栅参数值很接近于正演时假设的参数值 。
-
关键词
光栅
椭偏参数
正单纯形法
数值模拟
正单纯形法
高斯噪声
反演
傅立叶模式理论
-
Keywords
Normal Simple Algorithm,Ellipsometric parameters,inversion,Fourier modal theory
-
分类号
TN253
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名椭偏法测光栅参数的可行性理论研究
被引量：9
- 2
-
-
作者
卢向东
傅克祥
王植恒
麻建勇
-
机构
四川大学物理科学与技术学院
-
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期29-31,共3页
-
文摘
提出一种新的光栅测试方法———利用椭偏仪测量光栅的基本参数 ,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程。首先假设一种光栅模型 ,计算出不同入射角的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,然后加入偏差量不同的高斯噪声 ,把加入噪声后的值 (Δm,Ψm)作为模拟测量值 ,采用正单纯形法进行求解。验证得知由这种方法求得的光栅参数接近假设的光栅参数值。反演结果表明 ,在扩大搜索范围时 ,仍可以在一定精度范围内得到准确解 。
-
关键词
光栅
椭偏测量术
正弦形光栅
正单纯形法
参数测量
-
Keywords
ellipsometry,sinusoidal gratings,normal simplex algorithm
-
分类号
TN25
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名透射光谱法测光栅参数的可行性
被引量：3
- 3
-
-
作者
张丽娟
傅克祥
麻健勇
谢金
李建龙
-
机构
四川大学物理系
-
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期165-168,共4页
-
文摘
利用透射光谱,结合正单纯形法来反演折射率调制光栅参数,首先利用光栅衍射傅里叶模式理论及RTCM算法得出在200nm^900nm波长范围内的透射光谱曲线,从上取5个点,作为理论计算值; 其次,在上述曲线上加入偏差不同的高斯噪声,以模拟透射光谱的测量曲线,再从每条曲线上各取5个对应点,获取模拟测量值;然后,假定光栅参数的初始值,代入评价函数,用正单纯形法不断进行迭代反演,得到光栅参数的计算模拟结果。此方法简单、快速、精确。
-
关键词
透射光谱
正单纯形法
折射率型光栅
高斯噪声
-
Keywords
transmission spectrum method
normal simplex a lgorithm
grating model with the modulation of refractive index
Gaussian noise
-
分类号
TN253
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名用透射光谱法测光栅参数的数值模拟
被引量：1
- 4
-
-
作者
张丽娟
傅克祥
李建龙
麻健勇
谢金
-
机构
四川大学物理科学与技术学院
-
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期42-44,共3页
-
文摘
本文基于光栅的严格理论,提出结合透射光谱和优化算法来测量光栅参数的新方法,首先,利用傅立叶模式理论和反射透射系数递推算法(RTCM) ,计算出在2 0 0 -90 0nm波段内的理论透射光谱图,通过在上面叠加不同偏差的高斯噪声来模拟光栅的实际测量曲线,接着在模拟曲线上任取若干个点作为实验测量值,最后利用优化算法进行反演搜索,找到待测光栅的结构参数。文中我们选择了三种类型的光栅对该法进行数值上的模拟,其结果是成功的。该法可能会给光栅参数的测量指明一条新的途径。
-
关键词
傅立叶模式理论
反射透射系数递推算法
透射光谱法
正单纯形法
高斯噪声
光栅参数
-
Keywords
the Fourier model method
reflection and transmission coefficient matrix method(RTCM)
transmission spectrum method
normal simplex algorithm
Gaussian noise
Gratings parameters
-
分类号
O434.19
[机械工程—光学工程]
-
-
题名对正负一级能量之比测量光栅参量方法的改进
被引量：2
- 5
-
-
作者
张丽娟
卢向东
欧伟英
-
机构
桂林电子科技大学电子工程系
-
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第11期1605-1608,共4页
-
文摘
提出利用同一波长的入射光在双面入射时两个能量之比的比值对光栅的参量进行测量,进一步提高准确度。首先从理论上比较正弦面形光栅在单一面入射及双面入射时各种衍射效率对光栅表面粗糙度的敏感程度;然后模拟测量出该正弦面型光栅在双面入射情况下的光栅参量;最后成功反演出体积相位全息光栅的三个参量,其测量结果为0.080μm,1.452μm,20.5μm准确度比单一入射面情况(0.080μm,1.451μm,20.1μm)时要高。同时该法继承了原来方法的无损伤、操作简便、可重复、易推广、成本低等优点。
-
关键词
衍射与光栅
光栅参量
正反入射
衍射效率之比
正单纯形法
-
Keywords
diffraction and grating
grating parameters
two-side incident
diffraction efficiency ratio
normal simple algorithm
-
分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
-
