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氮原子离子束源的设计研制与应用
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作者 王培元 沈宏 +2 位作者 秦宗益 应萱同 王培南 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第1期47-49,共3页
本文介绍了一种采用直流辉光放电的氮原子离子束源的设计 ,对放电参数进行了分析 ,根据离子束流的质谱测量可知 ,氮离子束中N+ 与N+ 2 之比可高达 5∶1,大大优于其他的一些离子束源。
关键词 氮原子离子束源 设计 应用 直流辉光放电 质谱 氮化物 制备
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