加权多步波长移相算法研究

1

作者 于瀛洁 张本好 孙流星 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期746-750,共5页

波长移相干涉技术通过改变光源的波长实现移相,可以克服硬件移相引入的误差,同时原理上可以实现多组干涉信号的分离。主要应用于大尺寸干涉仪及需要分离多表面干涉信号的系统中。加权多步波长移相算法是其主要的算法,中心思想是通过时... 波长移相干涉技术通过改变光源的波长实现移相,可以克服硬件移相引入的误差,同时原理上可以实现多组干涉信号的分离。主要应用于大尺寸干涉仪及需要分离多表面干涉信号的系统中。加权多步波长移相算法是其主要的算法,中心思想是通过时域加入合适的窗函数,抑制寄生信号,提出包含轮廓或厚度信息的有用信号。文中介绍其设计思想,进行算法设计,并对一光学件进行了测试和比对。 展开更多

关键词 波长移相干涉 加权多步波长移相算法 轮廓测量 厚度变化测量

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波长移相干涉仪的算法研究(英文) 被引量：7

2

作者 于瀛洁 张本好 焦云芳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第6期560-566,共7页

叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围。以美国NewFocus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件。文中将波长移相干涉仪算法分... 叙述了波长移相干涉仪的基本原理,分析了其特点,对传统硬件移相干涉仪和波长移相干涉仪进行了比较,指出了它们的优缺点和应用范围。以美国NewFocus公司的可调谐半导体激光器为例,简述了实现波长调谐的硬件。文中将波长移相干涉仪算法分成三类:加权多步波长移相算法、基于傅里叶变换的波长移相算法和多波长算法,对这三类算法进行了较详细的叙述和分析,指出了各自的优缺点和应用范围。基于傅里叶变换的波长移相算法,提出了结合差分运算的适合于台阶测量的新算法,克服了已有算法中需要参考基准和参考面的缺点,提高了算法的实用性。 展开更多

关键词 相移干涉术 波长调谐 移相算法 波长移相干涉仪

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基于Lissajous图技术的波长移相标定方法 被引量：4

3

作者 郭仁慧 李建欣 +1 位作者 朱日宏 陈磊 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期200-204,共5页

波长移相干涉仪可应用于大口径光学元件的检测。研究了基于Lissajous图技术的波长移相标定方法,实现了干涉图间移相量的计算,解决了在不同干涉腔长下进行测试时移相量需控制成为一个特定值的问题。首先通过模拟仿真,验证了方法的正确性... 波长移相干涉仪可应用于大口径光学元件的检测。研究了基于Lissajous图技术的波长移相标定方法,实现了干涉图间移相量的计算,解决了在不同干涉腔长下进行测试时移相量需控制成为一个特定值的问题。首先通过模拟仿真,验证了方法的正确性;然后编写程序对已知移相量的实际干涉图进行计算。结果表明,在干涉图对比度较好以及对计算的两点选择恰当的情况下,计算出的相对误差在4%范围内。 展开更多

关键词 光学测量 波长移相 Lissajous图 移相量计算

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基于时域傅里叶变换的波长移相算法 被引量：4

4

作者 于瀛洁 张本好 焦云芳 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第4期310-313,共4页

基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理。这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测。介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法。叙述了新算法的实现过... 基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理。这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测。介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法。叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析,最后给出了实验结果。 展开更多

关键词 计量学 移相算法 波长移相干涉技术 离散傅里叶变换

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基于波长移相剪切干涉的准直波前重构技术 被引量：3

5

作者 单小琴 韩志刚 朱日宏 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2020年第1期67-73,共7页

为了实现干涉仪出射准直波前的重构,提出了基于波长调谐移相的横向剪切干涉技术。干涉仪出射波前分别经楔板的前后表面反射,通过角锥棱镜返回后在干涉仪CCD上形成剪切干涉条纹。采用波长移相方法提取剪切干涉条纹的相位信息从而实现准... 为了实现干涉仪出射准直波前的重构,提出了基于波长调谐移相的横向剪切干涉技术。干涉仪出射波前分别经楔板的前后表面反射,通过角锥棱镜返回后在干涉仪CCD上形成剪切干涉条纹。采用波长移相方法提取剪切干涉条纹的相位信息从而实现准直波前重构。分析相对剪切比对波面重构精度的影响,推导相对剪切比和其影响因素间的关系公式,给出波长移相中光程差常数分量的估算方法。测量干涉仪的三组出射波前,波前的峰谷值分别为3.22λ、2.10λ、0.83λ。该方法简化了传统测量干涉仪准直波前的横向剪切干涉装置,提高了测量精度,特别适合于测量波长移相干涉仪的出射波前。 展开更多

关键词 干涉测量 横向剪切 波长移相 角锥

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基于波长移相干涉技术的多表面信息分离 被引量：3

6

作者 于瀛洁 常林 +4 位作者 闫恪涛 郑维伟 徐瞿磊 王陈 孙涛 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第3期189-197,共9页

利用波长移相干涉技术对平行平板的前后表面同时进行非接触测量在光学检测领域具有重要意义。阐述一种可实现平行平板前后表面干涉混叠信号解相的时域加权算法:加权36步采样算法。首先基于算法原理与约束条件进行了加权多步采样算法的... 利用波长移相干涉技术对平行平板的前后表面同时进行非接触测量在光学检测领域具有重要意义。阐述一种可实现平行平板前后表面干涉混叠信号解相的时域加权算法:加权36步采样算法。首先基于算法原理与约束条件进行了加权多步采样算法的基础分布参数的设计,进而得到前表面、后表面、厚度变化干涉信号的采样权值。利用该权值进行加权操作即可得到各表面初始相位分布。选用泽尼克多项式进行了多表面干涉解相的仿真,模拟的分离结果与真值的最大误差不超过0.06 nm。此外还分析了多种误差对测量结果的影响。论文对这一厚度为20 mm的平行平板开展了测量,验证了该算法在实际测量过程中的有效性。 展开更多

关键词 波长移相 加权多步采样算法 多表面信息分离 窗函数设计

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基于波长移相干涉的台阶测量技术 被引量：1

7

作者 于瀛洁 孙流星 《测试技术学报》 EI 2005年第2期157-161,共5页

　概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Cárre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等.文中分... 　概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Cárre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等.文中分析了这些算法在实际应用中需要考虑的技术问题,针对时频域算法特点,提出了基于时域傅立叶变换的差分算法.实验结果与分析证明这一算法的正确性和可行性. 展开更多

关键词 干涉技术 波长移相 台阶测量 时域处理算法 频域处理算法

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加权多步波长移相算法参数确定方法 被引量：1

8

作者 于瀛洁 孙流星 《宇航计测技术》 CSCD 2003年第6期1-8,共8页

波长移相干涉技术是通过光源波长的改变来实现干涉信号的移相 ,原理上可以分离寄生干涉信号 ,同时也存在非线性误差 ,因此在算法上要求能对多次谐波进行较好的抑制 ,加权多步移相算法可以实现这样的目的。在该类算法的实际应用中 ,需要... 波长移相干涉技术是通过光源波长的改变来实现干涉信号的移相 ,原理上可以分离寄生干涉信号 ,同时也存在非线性误差 ,因此在算法上要求能对多次谐波进行较好的抑制 ,加权多步移相算法可以实现这样的目的。在该类算法的实际应用中 ,需要对加权值、移相间隔和采样步数等进行确定。 展开更多

关键词 波长移相干涉技术 加权多步移相算法 采样步数 移相间隔 加权值 测量

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电调谐波长移相干涉术 被引量：5

9

作者 丁煜 陈磊 +2 位作者 王志华 朱文华 刘致远 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第5期99-105,共7页

为了实现一体化结构干涉仪的现场数字化检测,提出了一种电调谐波长移相干涉术,通过控制注入电流,调制半导体激光器(LD)的波长,从而实现时域移相干涉。通过优化传统的随机移相干涉模型,采用最小二乘求解线性回归模型迭代算法求解相位,抑... 为了实现一体化结构干涉仪的现场数字化检测,提出了一种电调谐波长移相干涉术,通过控制注入电流,调制半导体激光器(LD)的波长,从而实现时域移相干涉。通过优化传统的随机移相干涉模型,采用最小二乘求解线性回归模型迭代算法求解相位,抑制了电调谐的控制精度有限、LD非线性引起的不等间隔移相,以及环境震动引起的各采样点位相变化不同步的干扰。将该方法应用于现场检测的便携式斐索干涉仪上,利用其与Zygo GPI XP/D型干涉仪测量同一块光学平晶,测量结果的峰谷值偏差为9.91 nm,均方根值偏差为5.22 nm,能满足现场定量检测的精度要求。该方法还可以应用于其他类型的激光干涉仪中。 展开更多

关键词 干涉测量 半导体激光器 电流调制 波长移相 现场检测

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长干涉腔波长移相计算的自适应相位筛选法 被引量：5

10

作者 郭仁慧 李建欣 +2 位作者 朱日宏 陈磊 何勇 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期107-114,共8页

波长移相干涉仪可用于大口径光学元件的测试。其移相量需经过标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。在长腔长测试条件下,由于激光器的波长调谐驱动源的精度有限,采用定步长移相算法求解相位分布的精度不高。在分析干涉腔长和波面计... 波长移相干涉仪可用于大口径光学元件的测试。其移相量需经过标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。在长腔长测试条件下,由于激光器的波长调谐驱动源的精度有限,采用定步长移相算法求解相位分布的精度不高。在分析干涉腔长和波面计算误差的基础上,提出了一种自适应相位筛选计算方法。根据电压-相位标定曲线采集多组周期干涉图,对干涉图中的光强值进行均匀分布抽样后,对其进行随机移相计算,求取每帧干涉图精确的步进移相量,从中筛选出移相量为π/2的四帧干涉图,利用四步移相计算公式求得精确的相位分布。实验结果表明,在波长移相干涉仪中运用该方法,可以很好地解决长腔长测试条件下的相位计算问题,与未进行筛选的计算结果比较,其测试精度得到了显著提高。 展开更多

关键词 测量 波长移相干涉 自适应 相位筛选 长干涉腔

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基于两帧差分平均移相算法标定斐索型波长移相干涉仪 被引量：3

11

作者 文刚 苏东奇 +2 位作者 隋永新 杨怀江 孔繁林 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期210-216,共7页

波长移相干涉仪的移相值与干涉腔长度有关,需要对其标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。为了标定研制的斐索型波长移相干涉仪,提出一种利用干涉图直接计算定步长移相值的新算法两帧差分平均移相算法(TDA)。对该算法进行模拟仿真,... 波长移相干涉仪的移相值与干涉腔长度有关,需要对其标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。为了标定研制的斐索型波长移相干涉仪,提出一种利用干涉图直接计算定步长移相值的新算法两帧差分平均移相算法(TDA)。对该算法进行模拟仿真,验证了算法的可行性和计算精度,并进一步开展了实验研究。结果表明:运用TDA算法处理定步长移相干涉图可以获得与实际值接近的计算结果;利用TDA算法标定的波长移相干涉仪的测量面形均方根(RMS)重复性优于0.07nm(1.106λ/10000),达到了设计指标;用该干涉仪与Zygo干涉仪对相同元件进行比较测量,检测结果之差的RMS为0.742nm。 展开更多

关键词 测量 波长移相干涉仪标定 移相算法 可调谐半导体激光器

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基于数值模拟的高精度波长移相干涉仪随机误差分析 被引量：2

12

作者 文刚 苏东奇 +2 位作者 苏志德 隋永新 杨怀江 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期194-200,共7页

研制波长移相干涉仪时为了选出满足干涉仪设计指标的激光器和CCD相机,采用直接计算法和蒙特卡罗法对干涉仪系统中的主要随机误差进行建模仿真。介绍了菲佐型波长移相干涉仪的基本结构和测量原理,对振动、空气扰动和激光光源不稳定性等... 研制波长移相干涉仪时为了选出满足干涉仪设计指标的激光器和CCD相机,采用直接计算法和蒙特卡罗法对干涉仪系统中的主要随机误差进行建模仿真。介绍了菲佐型波长移相干涉仪的基本结构和测量原理,对振动、空气扰动和激光光源不稳定性等随机误差进行了理论分析,建立了相应的数学模型。结合误差模型进行数值仿真,获得了各随机误差大小与测量结果之间的数值对应关系,完成了激光器和CCD相机的选型和误差分配。搭建了波长移相干涉仪实验装置并对其重复性进行测量。实验结果表明,搭建的波长移相干涉仪的均方根(RMS)重复性优于0.07nm,基本达到设计指标。 展开更多

关键词 测量 重复性分析 数值模拟 蒙特卡罗法 波长移相干涉仪

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基于波长移相的多表面干涉测量原理与误差分析 被引量：1

13

作者 刘勇 刘旭 +3 位作者 任寰 姜宏振 杨一 马骅 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期222-226,共5页

为解决移相干涉仪(PSI)测量平板类光学元件面形过程中产生多表面干涉条纹混叠的问题,介绍了基于波长移相的多表面干涉条纹分析方法的基本原理。对三表面干涉测量进行仿真分析,通过对随时间变化的干涉图进行傅里叶变换,提取相应频谱级次... 为解决移相干涉仪(PSI)测量平板类光学元件面形过程中产生多表面干涉条纹混叠的问题,介绍了基于波长移相的多表面干涉条纹分析方法的基本原理。对三表面干涉测量进行仿真分析,通过对随时间变化的干涉图进行傅里叶变换,提取相应频谱级次的相位,可求得前后表面面形分布。比较了不同取样帧数及不同干涉光频谱变化范围下的误差最大值与方差的变化。与原始仿真面形比较,在理想情况下,该方法测得面形误差优于10-4λ。采用该方法对一实验元件的三表面干涉图进行分析计算,并与Zygo干涉仪测量值比较,结果表明,元件面形峰谷值(PV)与均方根值(RMS)相对误差均低于1%。 展开更多

关键词 测量 波长移相 多表面干涉

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基于波长移相调谐的多表面干涉研究 被引量：1

14

作者 马力 张国伟 +2 位作者 李勇 李升辉 熊涛 《光学与光电技术》 2014年第5期46-50,共5页

为了解决不同厚度下平行平晶的多表面干涉效应对光学元件面形检测的影响,提出了基于波长移相调谐原理的多表面干涉面形检测方法。根据波长移相调谐原理,推算出不同厚度下被测元件与测试腔长的比例关系,通过对多表面干涉图进行离散傅里... 为了解决不同厚度下平行平晶的多表面干涉效应对光学元件面形检测的影响,提出了基于波长移相调谐原理的多表面干涉面形检测方法。根据波长移相调谐原理,推算出不同厚度下被测元件与测试腔长的比例关系,通过对多表面干涉图进行离散傅里叶变换,进而提取出平行平晶前后表面面形的相位信息。实验结果表明:与ZYGO公司GPI干涉仪测量结果对比,厚度分别为10mm和40mm的两块平行平晶,测试结果偏差很小,验证了算法的有效性。 展开更多

关键词 波长移相 平行平晶 干涉 频率

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基于波长移相的光纤投影三维轮廓测量方法 被引量：2

15

作者 毛心洁 何勇 朱荣刚 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2015年第10期188-191,共4页

提出了一种光纤干涉投影测量三维形貌的新方法。采用具有良好正弦性的光纤激光干涉条纹作为载波条纹进行投影,并且激光光源波长可调谐,通过精确控制电流源电流以改变激光波长来达到干涉条纹相位移动的目的,进而通过移相算法可求解出相... 提出了一种光纤干涉投影测量三维形貌的新方法。采用具有良好正弦性的光纤激光干涉条纹作为载波条纹进行投影,并且激光光源波长可调谐,通过精确控制电流源电流以改变激光波长来达到干涉条纹相位移动的目的,进而通过移相算法可求解出相位值乃至被测物体的三维轮廓。实验中,相位提取采用重叠四步平均算法,其能够减小移相误差使得系统在50 mm口径范围下均方根值控制在30μm以内。 展开更多

关键词 测量 光纤投影 波长移相 三维面形测量

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基于光强自标定移相算法检测光学面形 被引量：8

16

作者 刘江 苗二龙 +2 位作者 曲艺 隋永新 杨怀江 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第8期2007-2013,共7页

考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据... 考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据最小二乘判据,推导出了波长移相干涉仪的光强自标定移相算法。最后,实施了仿真实验,通过计算机生成背景光强具有一定变化的12幅干涉图,利用所提出的算法进行了相位恢复。结果表明,提出的算法可以很好地免疫激光器的光强变化,实现高精度的相位恢复。对口径为100mm的平面镜的测量结果显示RMS为0.005λ,PV为0.073λ。与ZYGO干涉仪测量结果的比较显示,两次测量面形的偏差RMS为0.0014λ,PV为0.022λ。得到的结果证明了算法的可行性及在菲佐型波长移相干涉仪中的实用性。 展开更多

关键词 菲佐干涉仪 波长移相 移相算法 光强自标定 面形检测

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考虑移相参数匹配的任意腔长下多表面干涉测量 被引量：4

17

作者 常林 何婷婷 +2 位作者 闫恪涛 王陈 于瀛洁 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第9期181-191,共11页

传统的多表面波长调谐移相干涉法只能实现透明被测件处于固定位置下的测量,当移相值或者腔长改变时算法的有效性和求解精度没有被深入讨论和分析。为了在任意腔长下实现透明被测件各表面的同时测量,本文提出了一种可实现自适应移相匹配... 传统的多表面波长调谐移相干涉法只能实现透明被测件处于固定位置下的测量,当移相值或者腔长改变时算法的有效性和求解精度没有被深入讨论和分析。为了在任意腔长下实现透明被测件各表面的同时测量,本文提出了一种可实现自适应移相匹配的加权多步采样算法。首先,基于特征多项式,介绍了一种具有移相误差和耦合误差抑制能力的加权多步相位解调技术,可以同时对被测件的3个表面进行测量;进而,基于Zernike多项式,对移相参考系数和腔长系数的任意组合下的算法求解误差进行了迭代计算和分析,为最优参数的匹配提供参考。仿真结果表明所提出的算法求解残余误差小于3×10^(-4)λ_(0)。此外,引入ISO-25178系列三维高度参数对算法性能进行了验证。在实验中,利用Fizeau干涉仪分别对厚度为10和5 mm的透明平板在不同腔长下进行了测量。仿真和实验的结果表明,所提出的算法可以实现任意腔长和厚度下的多表面测量,其可靠性和实用性得到了验证。 展开更多

关键词 Fizeau式干涉仪 多表面干涉测量 移相匹配 透明平行平板 波长移相

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基于多点平均频率校正的多表面波长调谐移相干涉测量

18

作者 常林 于瀛洁 《光电子．激光》 CSCD 北大核心 2024年第1期59-66,共8页

为实现多表面干涉测量中强度叠加干涉信号的分离和相位解调,提出了一种基于频率校正的多表面波长移相干涉测量算法,可实现透明被测件各表面面形的同时重建。波长移相干涉技术可以根据各干涉谐波光程差(optical path difference,OPD)的... 为实现多表面干涉测量中强度叠加干涉信号的分离和相位解调,提出了一种基于频率校正的多表面波长移相干涉测量算法,可实现透明被测件各表面面形的同时重建。波长移相干涉技术可以根据各干涉谐波光程差(optical path difference,OPD)的不同使各表面干涉谐波具有不同的移相值,该差异为各信号分离和相位解调提供了基础。在现有的多表面测量技术中,往往通过被测件的腔长和光学厚度等信息对谐波频率进行粗估,但估计精度较低,且无法应对移相误差。因此,本文通过多点平均和频率校正实现了各干涉谐波频率的精确提取,能够有效消除异常值和加性高斯噪声(additive Gaussian noise,AGN)对频率求解精度的影响,并且仅通过干涉图之间的加权操作便可同时对各谐波相位进行解调,对比分析和实验结果验证了所提出的算法的可靠性。 展开更多

关键词 波长移相 频率校正 相位解调 多表面测量 平行平板

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多表面干涉下的光学元件面形检测 被引量：12

19

作者 任寰 马力 +3 位作者 刘旭 何勇 郑万国 朱日宏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第5期1144-1150,共7页

为了消除平行平板类光学元件的多表面干涉效应对元件面形测量的影响,提出了基于波长移相调谐技术与傅里叶变换原理的多表面干涉条纹检测技术。首先,根据波长移相原理和被测元件的厚度,按照推算出的被测腔长与元件厚度间的比例关系正确... 为了消除平行平板类光学元件的多表面干涉效应对元件面形测量的影响,提出了基于波长移相调谐技术与傅里叶变换原理的多表面干涉条纹检测技术。首先,根据波长移相原理和被测元件的厚度,按照推算出的被测腔长与元件厚度间的比例关系正确摆放被测元件的测试位置。然后,通过波长移相技术采集一组干涉图。最后,对这组多表面干涉图进行离散傅里叶变换,提取带有被测元件前后表面面形的频率信息以及厚度变化的频率信息,通过重构算法得到准确的面形信息和厚度信息。实验结果表明:与传统的13步移相算法相比,得到的前表面PV值和RMS值分别相差0.003和0.001,而后表面PV值与RMS值分别相差0和0.001。这些结果基本满足平行平板类光学元件面形的高精度测量与洁净测量的要求。 展开更多

关键词 光学元件 面形检测 多表面干涉检测 波长移相 平行平板 傅里叶变换

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曲率半径的高精度测量及其不确定度 被引量：7

20

作者 田志辉 史振广 +2 位作者 刘伟奇 杨怀江 隋永新 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期2495-2501,共7页

为了高精度测量光学元件的曲率半径,提出了一种利用反射式计算全息元件结合波长移相干涉测长技术测量光学球面曲率半径的方法。测试中,将反射式计算全息元件作为基准来标定所用标准镜头参考面的曲率半径,利用波长移相干涉技术测量干涉... 为了高精度测量光学元件的曲率半径,提出了一种利用反射式计算全息元件结合波长移相干涉测长技术测量光学球面曲率半径的方法。测试中,将反射式计算全息元件作为基准来标定所用标准镜头参考面的曲率半径,利用波长移相干涉技术测量干涉腔腔长,通过计算分析得到被测元件的曲率半径。文中描述了该方法的系统构成及其工作原理。结合实例,运用理论分析与软件仿真模拟分析了方法的测量不确定度。最后,利用实验室现有的商用波长移相干涉仪进行了实验验证。对一口径为100mm的球面样品进行曲率半径的测量,得到的结果为157.108 3mm;利用接触式球径仪法对同一样品进行对比测量,结果显示相对误差小于0.02%。与其它目前已有的非接触式曲率半径测量方法相比,提出的方法具有误差源少、测量精度高、易于操作等优点。 展开更多

关键词 光学元件 曲率半径测量 不确定度分析 计算全息 波长移相

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