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激光莫尔传感器在精密定位中的应用 被引量：2
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作者 张金龙 《南京师范大学学报（工程技术版）》 CAS 2004年第1期35-37,共3页
应用激光莫尔信号传感器设计了一套精密定位装置 ,可实现高精度位置检测及精密自动定位 ;系统采用的激光补偿技术及差动光栅技术 ,极大地提高了位置检测信号的灵敏度与定位精度 .实验结果表明 ,精密定位装置可获得± 0 1μm的定位... 应用激光莫尔信号传感器设计了一套精密定位装置 ,可实现高精度位置检测及精密自动定位 ;系统采用的激光补偿技术及差动光栅技术 ,极大地提高了位置检测信号的灵敏度与定位精度 .实验结果表明 ,精密定位装置可获得± 0 1μm的定位精度 。 展开更多
关键词 激光莫尔传感器 精密定位 差动技术 工业控制计算机 激光补偿技术 差动光栅技术
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