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非晶氮化铁薄膜的生长机制——传统动力学生长标度方法的适用性
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作者 徐娓 王欣 +2 位作者 贾辉 郑伟涛 龙北红 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2102-2105,共4页
采用动力学标度方法研究了磁控溅射沉积的非晶氮化铁薄膜的动力学生长机制,结果表明,具有连续类柱状岛形貌的非晶氮化铁薄膜具有标度不变的自仿射分形特点,其粗糙度指数α=0.82±0.21,生长指数β=0.44±0.07,动力学标度指数1/z=... 采用动力学标度方法研究了磁控溅射沉积的非晶氮化铁薄膜的动力学生长机制,结果表明,具有连续类柱状岛形貌的非晶氮化铁薄膜具有标度不变的自仿射分形特点,其粗糙度指数α=0.82±0.21,生长指数β=0.44±0.07,动力学标度指数1/z=0.54±0.07.薄膜生长符合提出的热重新发射生长模型. 展开更多
关键词 非晶氮化铁薄膜 动力学标度方法 热重新发射模型
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