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全国特种气体第二十七次年会征文通知
1
《低温与特气》 2025年第1期F0003-F0003,共1页
昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十七次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的热... 昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十七次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的热点,难点问题,分析行业发展现状及未来前景,共谋行业发展大计。为了更好地进行技术交流、信息共享,本次大会拟编辑出版会议论文集,现在全国范围内征集会议论文。 展开更多
关键词 未来前景 行业发展现状 特种气体 征集会议论文 行业知名专家 信息共享 会议论文集 技术交流
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全国特种气体第二十六次年会征文通知
2
《低温与特气》 CAS 2024年第1期F0003-F0003,共1页
昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十六次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的... 昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十六次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的热点、难点问题,分析行业发展现状及未来前景,共谋行业发展大计。为了更好地进行技术交流、信息共享,本次大会拟编辑出版会议论文集,现在全国范围内征集会议论文。 展开更多
关键词 未来前景 行业发展现状 特种气体 行业知名专家 技术成果 征文通知 化工研究设计院 难点问题
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全国特种气体第二十七次年会征文通知
3
《低温与特气》 CAS 2024年第6期F0002-F0002,共1页
昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十七次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的... 昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十七次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的热点、难点问题,分析行业发展现状及未来前景,共谋行业发展大计。为了更好地进行技术交流、信息共享,本次大会拟编辑出版会议论文集,现在全国范围内征集会议论文。 展开更多
关键词 未来前景 行业发展现状 特种气体 征集会议论文 行业知名专家 信息共享 会议论文集 技术交流
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全国特种气体第二十七次年会征文通知
4
作者 《低温与特气》编辑部 《低温与特气》 CAS 2024年第5期I0002-I0002,共1页
昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十七次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的... 昊华气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、全国特种气体信息总站将组织召开全国特种气体第二十七次年会,届时我们将邀请行业知名专家学者、企业代表出席本次盛会,分享新的技术成果以及企业的成功经验,共同探讨行业发展中的热点、难点问题,分析行业发展现状及未来前景,共谋行业发展大计。为了更好地进行技术交流、信息共享,本次大会拟编辑出版会议论文集,现在全国范围内征集会议论文。 展开更多
关键词 未来前景 行业发展现状 特种气体 征集会议论文 行业知名专家 信息共享 会议论文集 技术交流
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特种气体系统双层不锈钢管道施工技术
5
作者 胡金鑫 《陕西建筑》 2024年第7期73-77,共5页
本文通过近年来,我国在半导体、太阳能光伏电池、平板显示器、化合物半导体等生产过程均需要应用多种特种气体,如太阳能电池板使用的SIH4气体,在PECVD技术制备薄膜中应用,主要借助微波或射频等使SIH4和NH3气体电离,在局部形成等离子体,... 本文通过近年来,我国在半导体、太阳能光伏电池、平板显示器、化合物半导体等生产过程均需要应用多种特种气体,如太阳能电池板使用的SIH4气体,在PECVD技术制备薄膜中应用,主要借助微波或射频等使SIH4和NH3气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在电池板上沉积出所期望的薄膜。由于SIH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气引起剧烈的反应,开始燃烧,任何细微的泄漏都能可能造成人员生命的危害,所以对于一些危险性特种气体系统设计安全性的要求就特别高。为此在电子工厂较多的采用双层管道输送这类具有自燃性、剧毒性和强腐蚀性气体特种气体,通过双层不锈钢管道施工技术为类似工程提供借鉴。 展开更多
关键词 特种气体 双层不锈钢管道 泄漏 焊接 施工技术
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特种气体CVD沉积技术在合成石英制备中的应用与优化
6
作者 宋大吉 《中国科技期刊数据库 工业A》 2024年第6期0086-0089,共4页
这篇文章深入研究了化学气相沉积工艺在石英制造中的应用,并出了一个解决方案了可能的改进策略。经过精心调控多种化学元素的反应环境,我们最终成功地提升了石英的纯净度和结晶体的优良程度。实验数据揭示,在石英合成过程中,气体成分的... 这篇文章深入研究了化学气相沉积工艺在石英制造中的应用,并出了一个解决方案了可能的改进策略。经过精心调控多种化学元素的反应环境,我们最终成功地提升了石英的纯净度和结晶体的优良程度。实验数据揭示,在石英合成过程中,气体成分的比例及反应的温度和压力条件,对于提炼得到的石英材料的微观构造以及性能特点起到了关键性影响。此外,我们分析了化学气相沉积技术在能耗与投入产出比方面的表现情况,目的是评估这一技术在工业生产中的潜在应用价值。经过深度探究,我们最终裁定,特殊气体在化学气相沉积技术中的应用,不仅大幅提升石英的制造质量和效率,也拓展了石英制品的广泛应用范围。 展开更多
关键词 特种气体 化学气相沉积(CVD) 合成石英 微观结构 能耗分析
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电子制程特种气体管路检测关键技术研究
7
作者 李帅 张志麒 郭凯 《洁净与空调技术》 2024年第4期50-54,共5页
特种气体系统质量直接关系到电子工厂的生产安全和产品良率,聚焦特气系统投用前的测试验收技术,从相关标准、检测方法等方面进行分析,并基于已有项目实践经验,对电子制程特种气体管路五项测试中常见的检测数据偏离限值提供主要的原因分... 特种气体系统质量直接关系到电子工厂的生产安全和产品良率,聚焦特气系统投用前的测试验收技术,从相关标准、检测方法等方面进行分析,并基于已有项目实践经验,对电子制程特种气体管路五项测试中常见的检测数据偏离限值提供主要的原因分析,为类似案例出现异常时的排障工作提供参考思路。 展开更多
关键词 特种气体管路 五项测试 异常工况分析
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中国特种气体的现状及发展走向 被引量：8
8
作者 孙福楠 韩美 +4 位作者 王秋娥 梁玉 林刚 陈晓惠 田波 《低温与特气》 CAS 2005年第1期1-4,共4页
特种气体在石油化工、环境保护、医药卫生等领域发挥了巨大的作用。主要阐述了我国高纯石油化工气体、标准气体的发展现状,对存在的问题进行了分析,并预测了我国特种气体行业未来的发展趋势。
关键词 特种气体 现状 发展趋势
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烷类特种气体分析装置的研制及其应用 被引量：1
9
作者 蒋文全 崔熙钟 +1 位作者 林佳 任晓华 《分析试验室》 CAS CSCD 1997年第1期86-91,共6页
研制烷类特种气体分析专用的多维气相色谱仪，特制的热导检测器，具有手动－自动功能。设计了输气－配气装置和多维气相色谱流程。以微机控制，可按编辑程序清洗系统，检查本底，自动进样，显示或打印谱图和分析结果。可检测多种烷类特... 研制烷类特种气体分析专用的多维气相色谱仪，特制的热导检测器，具有手动－自动功能。设计了输气－配气装置和多维气相色谱流程。以微机控制，可按编辑程序清洗系统，检查本底，自动进样，显示或打印谱图和分析结果。可检测多种烷类特种气体组份及其中氧、氮、一氧化碳和甲烷等痕量杂质。烷类特种气体组分的检测范围：ＳｉＨ４、ＣＨ４为０％～２０％Ｂ２Ｈ６、ＰＨ３为０％～２％，最小检测浓度分别为（×１０－４％（Ｖ／Ｖ））：Ｏ２１．０，Ｎ２１．５，Ｂ２Ｈ６５０，ＰＨ３５，ＳｉＨ４５，ＣＨ４１．５。该仪器可作为在线分析仪。已在非晶硅太阳能电池试线中使用多年。 展开更多
关键词 烷类 特种气体 多维气相色谱 气体分析
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国外电子特种气体技术进展及国内合资气体公司概况 被引量：3
10
作者 梁国仑 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 1995年第11期1-12,共12页
综述国外电子特种气体的“超纯”、“超净”技术，一体化供气系统，超微生气体杂质和元素杂质的分析检测技术，电子材种气体市场以及ＩＳＯ９０００系列认证。
关键词 气体 提纯 超净技术 集成电路 电子特种气体
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特种气体贮运、应用、安全与特性——甲烷、氢、氮 被引量：3
11
作者 梁国仑 《低温与特气》 CAS 1997年第3期65-70,共6页
特种气体贮运、应用、安全与特性——甲烷、氢、氮梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）甲烷别名：沼气（甲烷）英文名称：Ｍｅｔｈａｎｅ；Ｍａｒｓｈｇａｓ；Ｍｅｔｈｙｌｈｙｄｒｉｄｅ分子式：ＣＨ４１物化性质甲烷... 特种气体贮运、应用、安全与特性——甲烷、氢、氮梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）甲烷别名：沼气（甲烷）英文名称：Ｍｅｔｈａｎｅ；Ｍａｒｓｈｇａｓ；Ｍｅｔｈｙｌｈｙｄｒｉｄｅ分子式：ＣＨ４１物化性质甲烷是一种无色、无臭、无味的可燃气体。... 展开更多
关键词 特种气体 甲烷 氢 氮 贮运
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国内外特种气体吹洗系统及其应用 被引量：1
12
作者 蒋仲先 王君 《低温与特气》 CAS 2002年第4期1-4,共4页
阐述了吹洗系统在特种气体贮存、输送、使用过程中的重要性 ,介绍了稀释和置换两种吹洗方法、操作步骤、优缺点对比及其国内外现状。
关键词 特种气体 吹洗系统 吹洗目的 贮存 输送 使用 稀释 置换
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大规模集成电路制造工艺对特种气体的要求 被引量：2
13
作者 闻瑞梅 《低温与特气》 CAS 1991年第4期1-8,共8页
叙述了大规模集成电路的发展,包括线宽、管芯面积与制造工艺对特种气体中尘埃数和粒径的要求、颗粒与成品率的关系,以及在不同级别洁净室中生产器件对成品率的影响。详细介绍了工艺气体中杂质对器件性能的影响。还介绍了大规模集成电路... 叙述了大规模集成电路的发展,包括线宽、管芯面积与制造工艺对特种气体中尘埃数和粒径的要求、颗粒与成品率的关系,以及在不同级别洁净室中生产器件对成品率的影响。详细介绍了工艺气体中杂质对器件性能的影响。还介绍了大规模集成电路材料及器件和化合物半导体材料及器件生产工艺中使用的各种气体。对国外用于MOCVD、LSI及亚微米集成电路制造用气体的污染控制也作了介绍。 展开更多
关键词 集成电路 大规模 制造 特种气体
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特种气体贮运、应用、安全与特性—磷烷和硼烷 被引量：1
14
作者 梁国仑 《低温与特气》 CAS 1993年第4期69-71,共3页
磷烷化学名:磷烷（phosphine） 别名:磷化氢（hydrogen phosphide、phosphorous hydride、phosphorated hydrogen） 分子式:PH<sub>3</sub> 1 物化性能磷烷是一种无色、可燃性气体,具有腐鱼气味。相对分子质量33.998。蒸汽... 磷烷化学名:磷烷（phosphine） 别名:磷化氢（hydrogen phosphide、phosphorous hydride、phosphorated hydrogen） 分子式:PH<sub>3</sub> 1 物化性能磷烷是一种无色、可燃性气体,具有腐鱼气味。相对分子质量33.998。蒸汽压4.02MPa（21.1℃）、6.30MPa（40.6℃）、6.998MPa（46.1℃）。在21.1℃和0.10MPa下,气体密度1.405kg/m<sup>3</sup>。在25℃和0. 展开更多
关键词 特种气体 磷烷 硼烷 贮藏 运输
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特种气体贮运、应用、安全与特性──氯、氯化氢、硫化氢、六氟化硫 被引量：1
15
作者 梁国仑 《低温与特气》 CAS 1997年第2期61-66,共6页
特种气体贮运、应用、安全与特性氯、氯化氢、硫化氢、六氟化硫梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）氯英文名称：Ｃｈｌｏｒｉｎｅ分子式：Ｃｌ２１物化性质氯是一种黄绿色、有毒、不可燃、具有氧化性的气体。分子量７... 特种气体贮运、应用、安全与特性氯、氯化氢、硫化氢、六氟化硫梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）氯英文名称：Ｃｈｌｏｒｉｎｅ分子式：Ｃｌ２１物化性质氯是一种黄绿色、有毒、不可燃、具有氧化性的气体。分子量７０．９０６。蒸汽压（ｋＰａ）：１９... 展开更多
关键词 特种气体 贮运 应用 安全
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特种气体贮运、应用、安全与特性——硅烷、砷烷、二氯二氢硅 被引量：1
16
作者 梁国仑 《低温与特气》 CAS 1997年第1期61-65,共5页
特种气体贮运、应用、安全与特性——硅烷、砷烷、二氯二氢硅梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）硅烷别名甲硅烷；四氢化硅英文名称Ｓｉｌａｎｅ；Ｍｏｎｏｓｉｌａｎｅ；Ｓｉｌｉｃｏｎｔｅｔｒａｈｙｄｒｉｄｅ分子... 特种气体贮运、应用、安全与特性——硅烷、砷烷、二氯二氢硅梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）硅烷别名甲硅烷；四氢化硅英文名称Ｓｉｌａｎｅ；Ｍｏｎｏｓｉｌａｎｅ；Ｓｉｌｉｃｏｎｔｅｔｒａｈｙｄｒｉｄｅ分子式ＳｉＨ４１物化性质硅烷是一种无色... 展开更多
关键词 特种气体 硅烷 砷烷 二氯二氢硅 贮运
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特种气体贮运、应用、安全与特性 被引量：1
17
作者 梁国仑 《低温与特气》 CAS 1993年第3期72-75,共4页
贮存、运输和使用气瓶的单位应加强对运输、贮存和使用气瓶的安全管理,必须做到: 1.有专人负责气瓶安全管理工作; 2.根据有关规定,制定相应的安全管理制度; 3.定期对气瓶的运输(含装卸及驾驶)、贮存和使用人员进行安全技术教育。
关键词 特种气体 贮运 安全
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特种气体使用及贮存中的注意事项 被引量：1
18
作者 周朋云 《低温与特气》 CAS 2008年第5期40-44,共5页
介绍了特种气体使用和贮存中的注意事项。
关键词 特种气体 使用 贮存
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我国特种气体生产技术与国外的差距 被引量：1
19
作者 梁国仑 《低温与特气》 CAS 1990年第3期2-6,共5页
论述了工业用标准气,环保气,大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气,MOCVD的源材料—金属有机化合物,以及电子气配套器件国内科研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距,指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体... 论述了工业用标准气,环保气,大规模集成电路、光导纤维、非晶硅太阳电池制造用电子气,MOCVD的源材料—金属有机化合物,以及电子气配套器件国内科研、生产和制造的技术水平及其与国外的差距,指出配套器件技术水平与国外的差距比特种气体技术水平与国外的差距还要大,仅约相当于国外70年代中末期水平,而标准气约相当于国外80年代初中期水平,电子气则相当于国外80年代初期水平。特气生产技术关键是气体纯化技术及高纯或瞄蚀性气体包装技术等。为加速电子气国产化进程,提出了6项政策性措施。 展开更多
关键词 特种气体 生产技术 气体
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耐特种气体腐蚀涡旋干泵的研制
20
作者 金花子 吴杰 +1 位作者 南泉 熊天英 《低温与特气》 CAS 2014年第4期16-18,共3页
采用化学镀、氟涂料和真空离子镀(PVD)技术对涡旋干泵实施防护涂层,对转子和定子采用化学镀镍磷和氟涂料封闭技术制备防护涂层;对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备Cr/CrN多层复合防护镀层。通过腐蚀试验表明,防护涂层可以长时间抵抗高腐... 采用化学镀、氟涂料和真空离子镀(PVD)技术对涡旋干泵实施防护涂层,对转子和定子采用化学镀镍磷和氟涂料封闭技术制备防护涂层;对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备Cr/CrN多层复合防护镀层。通过腐蚀试验表明,防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀,能够有效地提高涡旋干泵的使用寿命。 展开更多
关键词 特种气体 真空泵 腐蚀 防护涂层
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