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双焦干涉球面微观轮廓仪 被引量：8
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作者 卓永模 杨甬英 +1 位作者 徐敏 王元庆 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期254-259,共6页
本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪。仪器由三部分组成：双焦透镜偏振共路干涉系统；五维球面扫描工作台及其驱动系统；共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面（如光学透镜，球面反射镜及滚珠等）的无损精密检测。实测结果表明... 本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪。仪器由三部分组成：双焦透镜偏振共路干涉系统；五维球面扫描工作台及其驱动系统；共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面（如光学透镜，球面反射镜及滚珠等）的无损精密检测。实测结果表明该仪器的纵向分辨率可达０．１ｎｍ，横向分辨率小于２ｕｍ。 展开更多
关键词 双焦透镜 干涉仪 球面微观轮廓仪
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