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硅基多层无机驻极体薄膜中平均电荷重心和密度的确定
被引量：
1
1
作者
张晓青
夏钟福
+1 位作者
张冶文
柳襄怀
《应用科学学报》
CAS
CSCD
2001年第4期291-294,共4页
报道通过表面电位测量和 C- V分析来确定硅基多层无机驻极体薄膜中平均电荷重心及电荷密度的方法 .它包括两个非破坏性的测量 :首先 ,通过补偿法测量驻极体薄膜自由面的表面电位 ,然后在样品表面蒸镀金属电极 ,形成 MIS结构 ,进行电容电...
报道通过表面电位测量和 C- V分析来确定硅基多层无机驻极体薄膜中平均电荷重心及电荷密度的方法 .它包括两个非破坏性的测量 :首先 ,通过补偿法测量驻极体薄膜自由面的表面电位 ,然后在样品表面蒸镀金属电极 ,形成 MIS结构 ,进行电容电压 (C- V)测试 ,由此得到驻极体薄膜和硅界面的电位 .电荷重心和电荷密度可通过计算得出 .同时利用这一方法确定了硅基 Si3 N4/ Si O2 双层驻极体薄膜中的平均电荷重心 ,发现电荷重心强烈地依赖于电晕充电以后的老化温度 ,经过 40 0°C下老化 2 0 m in,常温正电晕充电驻极体的电荷重心已从近自由面迁移至Si3 N4和 Si O2 界面附近 .
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关键词
驻极体
薄膜
平均电荷重心
电荷密度
表面电位
声电传感器
硅基多层薄膜
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职称材料
题名
硅基多层无机驻极体薄膜中平均电荷重心和密度的确定
被引量：
1
1
作者
张晓青
夏钟福
张冶文
柳襄怀
机构
同济大学物理系波耳固体物理研究所
中国科学院上海冶金研究所
出处
《应用科学学报》
CAS
CSCD
2001年第4期291-294,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 5 96 82 0 0 3)
中科院离子束开放实验室课题资助项目 (硼离子注入对薄膜驻极体性能的改善 )
文摘
报道通过表面电位测量和 C- V分析来确定硅基多层无机驻极体薄膜中平均电荷重心及电荷密度的方法 .它包括两个非破坏性的测量 :首先 ,通过补偿法测量驻极体薄膜自由面的表面电位 ,然后在样品表面蒸镀金属电极 ,形成 MIS结构 ,进行电容电压 (C- V)测试 ,由此得到驻极体薄膜和硅界面的电位 .电荷重心和电荷密度可通过计算得出 .同时利用这一方法确定了硅基 Si3 N4/ Si O2 双层驻极体薄膜中的平均电荷重心 ,发现电荷重心强烈地依赖于电晕充电以后的老化温度 ,经过 40 0°C下老化 2 0 m in,常温正电晕充电驻极体的电荷重心已从近自由面迁移至Si3 N4和 Si O2 界面附近 .
关键词
驻极体
薄膜
平均电荷重心
电荷密度
表面电位
声电传感器
硅基多层薄膜
Keywords
electret
film
mean charge depth
charge density
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅基多层无机驻极体薄膜中平均电荷重心和密度的确定
张晓青
夏钟福
张冶文
柳襄怀
《应用科学学报》
CAS
CSCD
2001
1
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