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硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究 被引量：1
1
作者 邢维巍 彭振江 樊尚春 《计测技术》 2012年第S1期35-38,共4页
采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激... 采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激励/电容检测的基础上,提出了单端口静电激励/电容检测方案。 展开更多
关键词 静电激励/电容检测 硅微谐振式压力传感器 同频耦合干扰 频域分离法
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基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统 被引量：7
2
作者 蔡晨光 樊尚春 《测控技术》 CSCD 2004年第4期5-6,18,共3页
给出了基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统的组成及其采用的一种全新的频率特性的测试、分析方法。针对硅微谐振式传感器频率特性 (谐振频率和品质因数 )测量的特殊性 ,提出了以线性调频信号为激励信号、线性调频Z变换 (CZT)为... 给出了基于Polytec激光测振仪的微振动测试分析系统的组成及其采用的一种全新的频率特性的测试、分析方法。针对硅微谐振式传感器频率特性 (谐振频率和品质因数 )测量的特殊性 ,提出了以线性调频信号为激励信号、线性调频Z变换 (CZT)为频谱分析工具的系统频率特性的动态测试方法 ,使得该系统能够高效、精确地测量机械式谐振传感器的频率特性。 展开更多
关键词 硅微谐振式传感器 谐振频率 品质因数 线性调频信号 线性调频Z变换
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