硅片传输机器人手臂结构优化设计方法 被引量：23

1

作者 刘延杰 吴明月 +1 位作者 王刚 蔡鹤皋 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期1-9,共9页

提出一种以硅片传输机器人末端竖直方向上由手臂静变形引起的静偏移为约束、以刚性杆柔性关节系统固有频率为优化目标、以各手臂壁厚为优化参数的硅片传输机器人手臂结构优化设计方法。建立硅片传输机器人刚性杆柔性关节动力学模型,通... 提出一种以硅片传输机器人末端竖直方向上由手臂静变形引起的静偏移为约束、以刚性杆柔性关节系统固有频率为优化目标、以各手臂壁厚为优化参数的硅片传输机器人手臂结构优化设计方法。建立硅片传输机器人刚性杆柔性关节动力学模型,通过系统固有频率分析以及模态分析确定对轨迹精度影响较大的模态为一阶模态与二阶模态;通过分析结构参数对一阶与二阶固有频率影响的灵敏度以及权值选择小臂与末端手臂的质量作为优化参数;建立以手臂厚度为变量、以手臂结构尺寸为约束的手臂挠度模型与末端竖直方向静偏移模型,分析手臂厚度对末端竖直方向静偏移的影响规律并对末端手臂与小臂的厚度尺寸进行优化设计;对结构优化设计前后硅片传输机器人手臂的性能进行对比分析。结果表明:该方法在大幅度降低手臂质量的同时可显著提高硅片传输机器人手臂的一阶与二阶固有频率,大幅度降低了末端竖直方向上的静态偏移及内应力,大幅提高了系统竖直方向上的振动频率。 展开更多

关键词 硅片传输机器人 结构优化 动态特性:挠度 静态形变

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径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究 被引量：12

2

作者 丛明 张士军 +1 位作者 金洙吉 康仁科 《制造业自动化》 北大核心 2005年第2期35-37,共3页

结合径向直线运动型硅片传输机器人的设计,分别介绍了该机器人的升降旋转部件、径向伸缩 部件、末端翻转部件的机构以及工作原理,并且对径向伸缩部件的直线运动机构进行了运动学 分析。

关键词 硅片传输机器人 机构 运动学分析

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基于高精度预对准的硅片传输控制系统 被引量：4

3

作者 宋亦旭 杨泽红 +1 位作者 李世昌 赵雁南 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期116-120,共5页

高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。首先介绍了预对准单元的设计及实现:预对准机构包括旋转台、对心台和升降台,采用线阵CCD作为传感器进行硅片边缘检测,采用圆拟合方法进行硅片圆心和缺口的定位,对... 高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。首先介绍了预对准单元的设计及实现:预对准机构包括旋转台、对心台和升降台,采用线阵CCD作为传感器进行硅片边缘检测,采用圆拟合方法进行硅片圆心和缺口的定位,对预对准方法的有效性进行了试验验证。然后,给出了硅片传输系统的构成和控制流程,并对系统定位另一个关键部分计算硅片偏心的重定位环节进行了简要介绍。最后,给出了输片重复精度的试验结果。试验结果表明,在此预对准单元基础上实现的硅片传输系统可以有效提高输片精度。 展开更多

关键词 预对准 硅片传输 控制系统

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基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现 被引量：6

4

作者 丛明 张士军 +1 位作者 周玉敏 金立刚 《制造业自动化》 北大核心 2006年第5期48-52,共5页

在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国DeltaTauDataSystems公司的PMAC多轴... 在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国DeltaTauDataSystems公司的PMAC多轴运动控制器为例介绍了PMAC在硅片传输机器人控制器中的开发与应用,并以该公司的PMAC2-PC104型控制卡为核心,结合电气和气动回路,设计和建立了R-θ型(径向直线运动型)硅片传输机器人的开放式控制器,实现了硅片传输机器人的运动控制。 展开更多

关键词 硅片传输机器人 PMAC 机器人控制器

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硅片传输单元洁净系统的研制 被引量：3

5

作者 丛明 杜宇 沈宝宏 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第9期656-659,共4页

在集成电路制造的硅片传输过程中,硅片传输机器人等机械设备的运动会产生尘埃粒子污染硅片。为解决这一问题,设计并研制了硅片传输单元的洁净系统,分析了该洁净系统的设计方案和结构设计,计算了它的送回风管直径,并用计算流体力学的方法... 在集成电路制造的硅片传输过程中,硅片传输机器人等机械设备的运动会产生尘埃粒子污染硅片。为解决这一问题,设计并研制了硅片传输单元的洁净系统,分析了该洁净系统的设计方案和结构设计,计算了它的送回风管直径,并用计算流体力学的方法,对洁净系统内部的硅片传输机器人区域进行了流场的模拟分析。该洁净系统已达到设计要求。 展开更多

关键词 硅片传输单元 洁净系统 结构设计

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硅片传输机器人的发展及研究现状 被引量：13

6

作者 丛明 于旭 徐晓飞 《机器人技术与应用》 2007年第4期18-23,共6页

本文综述了硅片传输机器人的发展历史,探讨了硅片传输机器人的典型结构,分析了硅片传输机器人的研究现状,并介绍了硅片传输机器人的典型产品。

关键词 集成电路 硅片传输机器人 研究现状 典型结构

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基于六维机械手的硅片传输系统 被引量：1

7

作者 李伟 陈威 +1 位作者 王伟 柳滨 《电子工业专用设备》 2011年第10期15-18,共4页

详细介绍了如何选择满足CMP抛光机硅片传输系统要求的六维机械手,并基于所选择的六维机械手配合换枪盘、末端执行器构建了硅片干进湿出式传输系统,最终利用示教盒示教出一条无碰撞、姿态合理的运动路径。

关键词 IC CMP 硅片传输系统 六维机械手

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基于有限状态机的集群式硅片传输控制系统设计 被引量：1

8

作者 王海升 穆海华 尹文生 《制造业自动化》 北大核心 2013年第2期4-7,共4页

集群式IC装备硅片传输控制系统是高度复杂的离散事件动态系统,复杂逻辑调度是控制系统设计的核心问题。硅片传输设备的个体行为逻辑和协作行为逻辑都具有严格的时序性,有限状态机模型能够有效描述这一控制特征。利用有限状态机建立了硅... 集群式IC装备硅片传输控制系统是高度复杂的离散事件动态系统,复杂逻辑调度是控制系统设计的核心问题。硅片传输设备的个体行为逻辑和协作行为逻辑都具有严格的时序性,有限状态机模型能够有效描述这一控制特征。利用有限状态机建立了硅片传输设备的个体行为分层模型,作为控制系统的基础;同时建立了具有强时序性的逻辑调度任务状态模型;从设备协作的角度讨论了有限状态机之间的同步问题和基于状态机协同的异常处理模式。自上而下的状态机体系成为控制软件系统的主体,使得装备的所有行为都在该体系的约束和引导下进行。应用实例表明,有限状态机在装备行为建模方面有广泛的应用潜力。 展开更多

关键词 逻辑调度 有限状态机 硅片传输 集群式

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一种用于电子装备的硅片传输机械手 被引量：1

9

作者 张世强 杨志 《电子工业专用设备》 2012年第9期21-23,53,共4页

机械手替代人工完成硅片传输可以大幅提高生产效率,传输精度和降低碎片率,机械手的使用是现代电子装备自动化的重要标志。介绍了适用于硅片传输的具有x、y、z、θ向运动功能的机械手及技术指标,重点从总体效率要求及负载对电机的受力进... 机械手替代人工完成硅片传输可以大幅提高生产效率,传输精度和降低碎片率,机械手的使用是现代电子装备自动化的重要标志。介绍了适用于硅片传输的具有x、y、z、θ向运动功能的机械手及技术指标,重点从总体效率要求及负载对电机的受力进行详细计算,并对x、y向底座的设计做了详细描述;该机械手已应用于生产线的设备上,满足设计要求。 展开更多

关键词 机械手 电子装备 硅片传输 直线电机

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硅片传输机器人手臂结构优化设计方法分析 被引量：1

10

作者 郭吉冬 《科技创新与应用》 2016年第22期84-84,共1页

对硅片传输机器人手臂结构优化变量进行分析,明确主要的优化参数,制定硅片传输机器人整体规划方案。分析硅片传输机器人动态特性。提出硅片传输机器人末端手臂静偏移约束,利用刚性杆规定优化目标,使关节系统更加的灵活。在优化参数基础... 对硅片传输机器人手臂结构优化变量进行分析,明确主要的优化参数,制定硅片传输机器人整体规划方案。分析硅片传输机器人动态特性。提出硅片传输机器人末端手臂静偏移约束,利用刚性杆规定优化目标,使关节系统更加的灵活。在优化参数基础上积极调整手臂结构建立硅片传输机器人动力模型,通过调整频率分析柔性关节对精准度的影响。 展开更多

关键词 硅片传输机器人 手臂结构 优化设计

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基于最优S型曲线轨迹的硅片传输机器人末端振动抑制方法 被引量：12

11

作者 吴明月 刘延杰 蔡鹤皋 《机器人》 EI CSCD 北大核心 2014年第4期446-454,共9页

针对硅片传输机器人末端低频振动问题,提出了一种基于最优S曲线轨迹的硅片传输机器人低频振动的抑制方法.该方法通过推导在参数化S型曲线输入条件下非线性时变系统的动态响应近似方程得到系统低频振动的振幅方程,并通过优化振幅方程中的... 针对硅片传输机器人末端低频振动问题,提出了一种基于最优S曲线轨迹的硅片传输机器人低频振动的抑制方法.该方法通过推导在参数化S型曲线输入条件下非线性时变系统的动态响应近似方程得到系统低频振动的振幅方程,并通过优化振幅方程中的S型曲线参数使得低阶振动振幅达到最小值,从而实现低频振动的抑制.首先对硅片传输机器人进行运动学、末端位置误差以及刚柔耦合动力学建模并进行动态特性分析.随后推导了在参数化S曲线输入条件下系统末端的时域动态响应方程近似解析解与振幅方程近似解析解,并根据硅片传输机器人自身的动态特性给出了最优S曲线参数计算方法.最后分别通过数值仿真分析与实验对该方法进行验证.实验结果表明,应用该方法后硅片传输机器人末端x方向的低频振动的振幅降低了53.9%,y方向的低频振动的振幅降低了45%. 展开更多

关键词 硅片传输机器人 振动抑制 轨迹规划 S型曲线

原文传递

300mm硅片高精度真空传输系统设计

12

作者 李学威 何书龙 赵治国 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2017年第8期80-84,共5页

文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10^(-7)Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械... 文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输,真空度可达2×10^(-7)Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械手,大气机械手采用R-θ型机械手,其重复精度均为±0.1mm。设计了AWC纠偏检测系统,利用光电对射传感器,实现对硅片的实时检测及位置纠正。通过验证性试验数据分析,得到整个系统的整体精度、洁净度、真空度和真空变化值满足工作要求,验证了设计的合理性。 展开更多

关键词 硅片传输 真空腔室 机械手 纠偏检测系统

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面向IC制造的硅片机器人传输系统综述 被引量：21

13

作者 丛明 杜宇 +1 位作者 沈宝宏 金立刚 《机器人》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期261-266,共6页

介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持... 介绍了面向集成电路制造业的硅片机器人传输系统,综述了其主要组成部分——硅片机器人和预对准装置——的工作原理及国内外研究成果.就直接驱动技术、磁性流体密封技术、磁力传动技术、硅片机器人轨迹规划与控制技术、校准技术以及夹持技术,对硅片机器人传输系统的关键技术进行了探讨. 展开更多

关键词 集成电路 硅片机器人传输系统 硅片机器人 预对准装置

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基于OpenCV的硅片盒中硅片层级分布定位检测方法

14

作者 刘志峰 文俊武 +3 位作者 蔡力钢 陈国英 王倩蕾 杨聪彬 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第7期996-1002,共7页

为了解决硅片厚度在0.1 mm以下时,激光传感器扫描检测容易发生硅片漏扫的问题,提出一种基于OpenCV的硅片层级分布定位检测方法,利用图像预处理技术得到各层级硅片前边缘轮廓样本库,将测试图像的边缘轮廓与样本库中的图像依次做差值运算... 为了解决硅片厚度在0.1 mm以下时,激光传感器扫描检测容易发生硅片漏扫的问题,提出一种基于OpenCV的硅片层级分布定位检测方法,利用图像预处理技术得到各层级硅片前边缘轮廓样本库,将测试图像的边缘轮廓与样本库中的图像依次做差值运算,从而通过像素点总和是否达到规定阈值来判定该层是否存在硅片,从而达到硅片层级分布定位检测的目的.结果表明:该方法能够有效提高硅片盒中0.1 mm以下硅片层级分布定位检测的可靠性,且算法简单,实时性及兼容性较好. 展开更多

关键词 OPENCV 硅片传输 定位检测 视觉检测

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光刻设备中硅片预对准的算法模型分析 被引量：1

15

作者 张鹏远 杨林 《电子工业专用设备》 2011年第9期7-10,30,共5页

分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。

关键词 硅片传输 预对准 硅片 缺口

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一种容易实现的硅片分类机

16

作者 刘玲玲 《电子工业专用设备》 2013年第10期12-17,35,共7页

本着实现半导体硅片分类机全部自主知识产权的目的,这里介绍一种关键零部件国内设计、制造的200 mm(8英寸)以上的半导体硅片分类机。本分类机用紧凑的结构(包括单个机械手和两套硅片标识识别装置),采用了较好的图像处理软件和可靠的字... 本着实现半导体硅片分类机全部自主知识产权的目的,这里介绍一种关键零部件国内设计、制造的200 mm(8英寸)以上的半导体硅片分类机。本分类机用紧凑的结构(包括单个机械手和两套硅片标识识别装置),采用了较好的图像处理软件和可靠的字符标识识别软件,实现了制造成本低、识别成功率高、可靠性好、便于实现的结果。介绍了分类机的试验样机经过试验,已经证明了其主要功能的有效性。因此,此分类机具有产品化可能。 展开更多

关键词 机械手 硅片传输 硅片缺口对准 标识识别

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二手投影光刻机的翻新改造

17

作者 郑武 《电子工业专用设备》 2004年第3期85-87,共3页

主要介绍了二手投影光刻机的翻新改造与安装调试工作。

关键词 投影光刻机 翻新改造 主控计算机 操作系统 硅片传输系统 安装 调试

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《电子工业专用设备》第40卷(2011)目次总汇编

18

《电子工业专用设备》 2011年第12期61-66,共6页

关键词 电子工业专用设备 硅片传输系统 目次

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