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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
被引量：
5
1
作者
刘兆武
李文昊
+4 位作者
王敬开
姜珊
宋莹
潘明忠
巴音贺希格
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期2134-2141,共8页
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累...
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法。利用三路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构,得到两组工作台测量镜面形的原始数据,通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差,得到了精确的测量镜面形误差量。对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证,并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比,结果显示其差异在±10nm之间,且趋势有较好的一致性。得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差。
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关键词
激光干涉仪
纳米二维工作台
测量镜
面形误差
在线检测
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职称材料
纳米测量机工作台导轨高精度误差分离原理
被引量：
1
2
作者
杨洪涛
费业泰
陈晓怀
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期2066-2069,共4页
为了高精度分离与修正纳米测量机工作台直线度运动和角运动误差引起的阿贝误差,介绍了一种利用速度瞬时中心进行分离的方法,推导了工作台在任意时刻的速度瞬时中心坐标计算公式,根据该公式计算出由于直线度引起的工作台上任意测量点的...
为了高精度分离与修正纳米测量机工作台直线度运动和角运动误差引起的阿贝误差,介绍了一种利用速度瞬时中心进行分离的方法,推导了工作台在任意时刻的速度瞬时中心坐标计算公式,根据该公式计算出由于直线度引起的工作台上任意测量点的坐标测量误差.从原理上设计了直线度误差分离与修正的实验方案,解决了传统阿贝误差分离与修正方法中以旋转中心为工作台中心点、阿贝臂长度计算不准确的问题.
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关键词
纳米二维工作台
速度瞬时中心
直线度误差
阿贝误差
坐标测量误差
在线阅读
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职称材料
题名
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
被引量：
5
1
作者
刘兆武
李文昊
王敬开
姜珊
宋莹
潘明忠
巴音贺希格
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
北京航空航天大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期2134-2141,共8页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.61227901)
文摘
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法。利用三路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构,得到两组工作台测量镜面形的原始数据,通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差,得到了精确的测量镜面形误差量。对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证,并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比,结果显示其差异在±10nm之间,且趋势有较好的一致性。得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差。
关键词
激光干涉仪
纳米二维工作台
测量镜
面形误差
在线检测
Keywords
laser interferometer
nano-2D stage
stage mirror
profile deviation
online detection
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
纳米测量机工作台导轨高精度误差分离原理
被引量：
1
2
作者
杨洪涛
费业泰
陈晓怀
机构
合肥工业大学仪器仪表学院
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期2066-2069,共4页
基金
国家自然科学基金重大国际合作研究项目(50420120134)
文摘
为了高精度分离与修正纳米测量机工作台直线度运动和角运动误差引起的阿贝误差,介绍了一种利用速度瞬时中心进行分离的方法,推导了工作台在任意时刻的速度瞬时中心坐标计算公式,根据该公式计算出由于直线度引起的工作台上任意测量点的坐标测量误差.从原理上设计了直线度误差分离与修正的实验方案,解决了传统阿贝误差分离与修正方法中以旋转中心为工作台中心点、阿贝臂长度计算不准确的问题.
关键词
纳米二维工作台
速度瞬时中心
直线度误差
阿贝误差
坐标测量误差
Keywords
nanometer two dimensions working table
velocity instant center, linearity error
Abbe error
coordinate measuring error
分类号
TH703.3 [机械工程—精密仪器及机械]
TH161.5 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
刘兆武
李文昊
王敬开
姜珊
宋莹
潘明忠
巴音贺希格
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
纳米测量机工作台导轨高精度误差分离原理
杨洪涛
费业泰
陈晓怀
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
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