|
1
|
MEMS电热驱动器多场耦合模型及温度特性 |
谢海鹏
曹云
孔啸宇
朱恒伯
陈旺生
席占稳
|
《哈尔滨工业大学学报》
北大核心
|
2025 |
0 |
|
|
2
|
考虑边缘效应的静电驱动MEMS振子非线性振动定性研究 |
李佰洲
韩建鑫
黄仪
崔良玉
|
《振动与冲击》
北大核心
|
2025 |
0 |
|
|
3
|
面向智能装备的MEMS惯性集成微系统关键技术分析 |
蒋鹏
鞠莉娜
王子
徐彤
李亚平
陈远金
|
《微纳电子技术》
|
2025 |
0 |
|
|
4
|
微机电系统(MEMS)技术的研究与应用 |
高世桥
曲大成
|
《科技导报》
CAS
CSCD
|
2004 |
30
|
|
|
5
|
微机电系统(MEMS)技术及发展趋势 |
王亚珍
朱文坚
|
《机械设计与研究》
CSCD
|
2004 |
26
|
|
|
6
|
微机电系统(MEMS)磨损的分形分析 |
熊翔
周焱
朱建新
|
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
|
2008 |
5
|
|
|
7
|
微机电系统(MEMS)促进测量学发展 |
黄俊钦
|
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2001 |
6
|
|
|
8
|
立体微型器件的微制造技术及其在微机电系统(MEMS)的应用 |
李敬锋
|
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2002 |
8
|
|
|
9
|
碳纳米管在微机电系统(MEMS)中的应用研究 |
叶雄英
郭琳瑞
周兆英
|
《微细加工技术》
|
2004 |
2
|
|
|
10
|
微机电系统(MEMS)与纳机电系统(NEMS) |
周兆英
杨兴
熊继军
|
《测试技术学报》
|
2002 |
1
|
|
|
11
|
《微机电系统(MEMS)》专题文章导读 |
吴一辉
|
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
2005 |
2
|
|
|
12
|
聚合物前驱体转化法制备陶瓷微机电系统 |
陈伟伟
陈立新
宋家乐
景晨丽
王汝敏
|
《真空电子技术》
|
2007 |
1
|
|
|
13
|
微机电系统(MEMS)的研究进展 |
孙道恒
王明亮
郑剑铭
张玉德
|
《机电技术》
|
2003 |
1
|
|
|
14
|
微机电系统(MEMS)的干涉测量方法的研究进展 |
吕捷
王鸣
|
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
|
2003 |
0 |
|
|
15
|
SOC片上系统、MEMS微机电系统和Smart Dust智能微尘 |
綦希林
曲非非
|
《微计算机信息》
|
2003 |
7
|
|
|
16
|
微机电系统(MEMS)在施药中的应用 |
彭秋莲
李满华
|
《井冈山大学学报（自然科学版）》
|
2007 |
0 |
|
|
17
|
微机电系统MEMS仿真与建模研究 |
杨雪君
|
《陕西工业职业技术学院学报》
|
2011 |
0 |
|
|
18
|
第一项由我国主导制定的微机电系统(MEMS)国际标准IEC 62047-25:2016正式发布 |
|
《中国标准导报》
|
2016 |
1
|
|
|
19
|
专题策划活动启事——MEMS微机电系统专题 |
|
《电气应用》
北大核心
|
2007 |
0 |
|
|
20
|
GLOBAL FOUNDRIES宣布与SVTC合作，加速推动微机电系统（MEMS）晶圆量产 |
|
《电子与电脑》
|
2010 |
0 |
|
