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原子束计算全息片的设计与制作研究 被引量:4
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作者 石建平 陈旭南 +2 位作者 陈献忠 高洪涛 陈元培 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期598-600,共3页
在分析原子束计算全息片特点的基础上 ,提出采用罗曼Ⅲ型傅里叶变换计算全息图设计原子束计算全息片 ,给出设计步骤 ,然后提出采用电子束光刻编码矩孔图形 ,ICP各向异性刻蚀SiN薄膜的全息片制作方案 ,对全息片的制作工艺流程详细予以介... 在分析原子束计算全息片特点的基础上 ,提出采用罗曼Ⅲ型傅里叶变换计算全息图设计原子束计算全息片 ,给出设计步骤 ,然后提出采用电子束光刻编码矩孔图形 ,ICP各向异性刻蚀SiN薄膜的全息片制作方案 ,对全息片的制作工艺流程详细予以介绍 。 展开更多
关键词 原子束计算全息片 设计 制作 罗曼Ⅲ型傅里叶变换 全息 SiN薄膜 电子束光刻编码矩孔图形
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全息术与器件
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《中国光学》 EI CAS 2003年第5期54-56,共3页
O438.1 2003053608数字滤波法再现电子全息图=Spatial-filtering method fordigital reconstruction of electron hologram[刊,中]/刘诚(中科院上海光机所.上海(201800)),刘志刚…//光学学报.-2003,23(2).-150-154在分析电子全息图特性... O438.1 2003053608数字滤波法再现电子全息图=Spatial-filtering method fordigital reconstruction of electron hologram[刊,中]/刘诚(中科院上海光机所.上海(201800)),刘志刚…//光学学报.-2003,23(2).-150-154在分析电子全息图特性的基础上,提出频谱滤波法对电子全息图进行数字再现,以解决其再现象之间相互重叠的问题。此方法首先将数字化的电子全息图进行傅里叶变换得到全息图的空间频谱,然后对此频谱进行滤波处理并作反傅里叶变换得到一幅新的全息图,最后再用一般的数字再现法对新的全息图进行再现。用这种方法,可以很方便地得到不受干扰的再现实像。 展开更多
关键词 分数傅里叶变换 原子束计算全息片 真彩色反射全息 电子全息 计算全息 光聚物 数字再现 再现像 全息存储 计算机制全息
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柱面面形干涉测量 被引量:3
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作者 于瀛洁 许海峰 彭军政 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第5期460-463,共4页
介绍了一种柱面面形干涉测量方法。该方法选用计算全息片作为柱面波转换器,能够将平面干涉仪出射的平面波转换成理想柱面波前,依此为基础,建立了柱面干涉测量系统,能够实现柱面的干涉测量。为了获得柱面的真实面形误差,分析了调整... 介绍了一种柱面面形干涉测量方法。该方法选用计算全息片作为柱面波转换器,能够将平面干涉仪出射的平面波转换成理想柱面波前,依此为基础,建立了柱面干涉测量系统,能够实现柱面的干涉测量。为了获得柱面的真实面形误差,分析了调整误差引起的失调像差,并给出了失调像差的分离方法。最后,以玻璃圆柱体为被测样本,对单孔径面形的重复性进行验证,20次测量结果峰谷值(PV)标准差为20.2nm,为PV平均值的0.55%。 展开更多
关键词 计量学 柱面面形 干涉 柱面波转换器 计算全息片 调整误差
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基于计算全息的大口径离轴非球面子镜的折衍混合补偿检测方法 被引量:4
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作者 黄亚 王丰璞 +4 位作者 李新南 陈哲 李博 徐晨 曹亭 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期190-200,共11页
提出一种基于计算全息元件(CGH)的折衍混合补偿检测光路,通过CGH和消球差透镜组合实现离轴子镜的缩焦零位检测。该方法使得检测光路长度减少至CGH直接检测的1/4至1/8,同时提高了小焦比子镜的调节灵敏度,将大离轴量子镜的干涉图长宽畸变... 提出一种基于计算全息元件(CGH)的折衍混合补偿检测光路,通过CGH和消球差透镜组合实现离轴子镜的缩焦零位检测。该方法使得检测光路长度减少至CGH直接检测的1/4至1/8,同时提高了小焦比子镜的调节灵敏度,将大离轴量子镜的干涉图长宽畸变比率由12.5优化至1.25。保持光路各器件位置不动,通过更换相应的计算全息片,还可实现不同离轴量子镜的批量高效检测。应用该方法完成直径为330 mm的离轴试验镜的加工与检测,测试结果面形均方根(RMS)值为0.0290λ(λ为波长)。通过标准球面镜对消球差透镜进行标定,RMS值降至0.0267λ。 展开更多
关键词 测量 干涉测量 离轴非球面 计算全息片 30 m望远镜 折衍混合补偿
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大口径非球面反射镜零位补偿器误差标定方法 被引量:1
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作者 徐秋云 孔令臣 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第4期335-340,共6页
非球面反射镜通常使用零位补偿器配合干涉仪进行面形检测,因此零位补偿器的加工和装配精度直接决定了检测结果的可靠性。提出一种具备良好通用性的基于计算全息片(CGH)的补偿器误差标定方法。以一块Φ856 mm、f/1.54的双曲面反射镜作为... 非球面反射镜通常使用零位补偿器配合干涉仪进行面形检测,因此零位补偿器的加工和装配精度直接决定了检测结果的可靠性。提出一种具备良好通用性的基于计算全息片(CGH)的补偿器误差标定方法。以一块Φ856 mm、f/1.54的双曲面反射镜作为待测非球面镜,首先设计反射式CGH,运用光线追迹法得到CGH的相位函数,使其引入的球差与待测非球面主镜的法线像差相同,再由ZEMAX仿真计算验证该设计的正确性,并根据相位函数加工出主全息。在同一块玻璃基片上设计和加工对准全息带用于标定光路的调整。实验结果表明,所制作的CGH标定零位补偿器的精度达到λ/80。可见对于大口径、快焦比的凹非球面反射镜,所提方法仍然适用,因此可用于指导多数正轴非球面镜的零位补偿器标定。 展开更多
关键词 零位补偿器 干涉检测 计算全息片 相位函数 光线追迹
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