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超精密微动台离散回路成形控制器优化
被引量:
2
1
作者
杨进
朱煜
+2 位作者
尹文生
杨开明
张鸣
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期178-185,共8页
为降低对存在模型摄动的超精密微动台的控制器的保守性,并规避常用的'连续设计—离散化'方法引入的离散化逼近误差的影响,以最优化微动台的控制性能,研究一种系统化的回路成形离散控制器优化方法。利用w变换建立的z平面与w平面...
为降低对存在模型摄动的超精密微动台的控制器的保守性,并规避常用的'连续设计—离散化'方法引入的离散化逼近误差的影响,以最优化微动台的控制性能,研究一种系统化的回路成形离散控制器优化方法。利用w变换建立的z平面与w平面之间的映射关系,将z平面的离散控制器设计转化为w平面内的连续控制器设计问题,并利用连续回路成形方法进行控制器设计。在回路成形设计准则的基础上,引入结构奇异值(μ)分析作为无保守性的鲁棒性约束,以控制带宽及干扰抑制能力为目标,建立完整的离散控制器优化框架。通过遗传算法该控制器优化问题进行参数寻优,获得对微动台最优的离散控制器。分析显示该方法有效地规避了离散化逼近误差的影响,并且在实际试验中优化的控制器有效地提高了微动台的控制性能,验证了所提出方法的有效性。
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关键词
超精密微动台
离散控制器
回路成形
鲁棒控制
遗传算法
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职称材料
超精密微动台控制器带宽优化研究
被引量:
2
2
作者
杨进
尹文生
+2 位作者
朱煜
胡金春
段广洪
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第16期9-13,19,共6页
为提高超精密微动台的控制带宽,改善控制性能,针对微动台模型包含机械谐振以及时滞的特性研究一种优化回路成形(Optimized loop shaping,OLS)控制器设计方法。通过回路成形方法分析得出PID控制器相位超前量不足是造成带宽受限的主要因素...
为提高超精密微动台的控制带宽,改善控制性能,针对微动台模型包含机械谐振以及时滞的特性研究一种优化回路成形(Optimized loop shaping,OLS)控制器设计方法。通过回路成形方法分析得出PID控制器相位超前量不足是造成带宽受限的主要因素,并给出一种能实现高带宽的高阶控制器。利用回路成形(Loop shaping,LS)设计方法将控制器参数设计描述为优化问题,并利用遗传算法对其进行求解。将OLS控制器与试验整定的PID控制器进行试验对比,结果显示采用OLS控制器的系统的上升时间、调整时间、定位精度都有较大幅度地改善,最大超调量有所增加但仍在工程允许的范围内,表明所提出方法能够减小控制器设计对经验的依赖并有效提高地超精密微动台的控制性能。
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关键词
超精密微动台
控制带宽
控制器优化
遗传算法
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职称材料
超精密微动台扰动估计与前馈补偿
被引量:
2
3
作者
孙浩博
成荣
+2 位作者
杨开明
朱煜
鲁森
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2020年第16期5345-5351,共7页
在超精密运动控制系统中,对外部扰动的抑制效果是影响其轨迹跟踪精度的关键因素。文中研究对象是一种无接触式的六自由度超精密微动台,其通过重力平衡磁钢平衡自身重量,从而避免垂向电机因电流过大而引起线圈温升过高,但是重力平衡磁钢...
在超精密运动控制系统中,对外部扰动的抑制效果是影响其轨迹跟踪精度的关键因素。文中研究对象是一种无接触式的六自由度超精密微动台,其通过重力平衡磁钢平衡自身重量,从而避免垂向电机因电流过大而引起线圈温升过高,但是重力平衡磁钢会与微动台下方的永磁阵列相互作用而产生扰动力。对重力平衡磁钢产生的扰动力进行频谱分析,针对其低频特性,提出一种基于二维拟合的多自由度扰动力估计和前馈补偿方法。仿真和实验表明该方法可以在微动台精确模型未知的情况下,实现对扰动力的估计和补偿,减小六自由度的推力/转矩波动,进而提高超精密微动台的轨迹跟踪精度。
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关键词
超精密微动台
扰动估计
前馈补偿
轨迹跟踪精度
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职称材料
超精密微动台变磁阻电机建模
被引量:
1
4
作者
陈安林
张鸣
朱煜
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2015年第20期5327-5334,共8页
文中对超精密微动台变磁阻电机的磁场和推力进行了准确的建模,用于电机的实时控制。分别建立了永磁体和线圈产生的两种磁场单独作用并考虑漏磁的等效磁路模型,同时在动铁心处于不同位置时,通过三维有限元仿真得到每个气隙的漏磁系数来...
文中对超精密微动台变磁阻电机的磁场和推力进行了准确的建模,用于电机的实时控制。分别建立了永磁体和线圈产生的两种磁场单独作用并考虑漏磁的等效磁路模型,同时在动铁心处于不同位置时,通过三维有限元仿真得到每个气隙的漏磁系数来准确的反映漏磁在不同气隙处的三维分布。首先仿真得到动铁心位于x正向特定位置时的漏磁系数,对漏磁系数进行拟合,从而在动铁心位于x正向任意位置时对电机磁场进行建模。然后根据动铁心位于x正向和负向时具有的对称性,得到电机在全行程的磁场模型。最后根据电机的磁场模型和麦克斯韦力公式得到全行程的推力模型。推力模型和有限元仿真结果误差小于6.4%,并通过实验进行了验证。
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关键词
变磁阻电机
超精密微动台
三维漏磁系数
等效磁路
硅片
台
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职称材料
电磁式超精密微动工作台研究现状与方向
被引量:
6
5
作者
李恒
朱煜
+1 位作者
贾松涛
武晨光
《现代机械》
2007年第2期1-3,共3页
介绍了电磁式超精密微动工作台的驱动原理,对国内外电磁式微动台的研究现状和应用情况进行了综述,针对目前研究中存在的不足,讨论了电磁式超精密微动台研究的主要内容及方向。
关键词
电磁驱动
超精密微动台
研究现状
研究方向
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职称材料
题名
超精密微动台离散回路成形控制器优化
被引量:
2
1
作者
杨进
朱煜
尹文生
杨开明
张鸣
机构
清华大学精密仪器与机械学系
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期178-185,共8页
基金
国家重点基础研究发展计划资助项目(973计划
2009CB724205)
文摘
为降低对存在模型摄动的超精密微动台的控制器的保守性,并规避常用的'连续设计—离散化'方法引入的离散化逼近误差的影响,以最优化微动台的控制性能,研究一种系统化的回路成形离散控制器优化方法。利用w变换建立的z平面与w平面之间的映射关系,将z平面的离散控制器设计转化为w平面内的连续控制器设计问题,并利用连续回路成形方法进行控制器设计。在回路成形设计准则的基础上,引入结构奇异值(μ)分析作为无保守性的鲁棒性约束,以控制带宽及干扰抑制能力为目标,建立完整的离散控制器优化框架。通过遗传算法该控制器优化问题进行参数寻优,获得对微动台最优的离散控制器。分析显示该方法有效地规避了离散化逼近误差的影响,并且在实际试验中优化的控制器有效地提高了微动台的控制性能,验证了所提出方法的有效性。
关键词
超精密微动台
离散控制器
回路成形
鲁棒控制
遗传算法
Keywords
Ultra-precision stage Discrete controller Loop shaping Robust control Genetic algorithm
分类号
TP271 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
超精密微动台控制器带宽优化研究
被引量:
2
2
作者
杨进
尹文生
朱煜
胡金春
段广洪
机构
清华大学精密仪器与机械学系
清华大学摩擦学国家重点实验室
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第16期9-13,19,共6页
基金
国家重点基础研究发展计划资助项目(973计划
2009CB724205)
文摘
为提高超精密微动台的控制带宽,改善控制性能,针对微动台模型包含机械谐振以及时滞的特性研究一种优化回路成形(Optimized loop shaping,OLS)控制器设计方法。通过回路成形方法分析得出PID控制器相位超前量不足是造成带宽受限的主要因素,并给出一种能实现高带宽的高阶控制器。利用回路成形(Loop shaping,LS)设计方法将控制器参数设计描述为优化问题,并利用遗传算法对其进行求解。将OLS控制器与试验整定的PID控制器进行试验对比,结果显示采用OLS控制器的系统的上升时间、调整时间、定位精度都有较大幅度地改善,最大超调量有所增加但仍在工程允许的范围内,表明所提出方法能够减小控制器设计对经验的依赖并有效提高地超精密微动台的控制性能。
关键词
超精密微动台
控制带宽
控制器优化
遗传算法
Keywords
Ultra-precision positioning stage Control bandwidth Controller optimization Generic algorithm
分类号
TP271 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
超精密微动台扰动估计与前馈补偿
被引量:
2
3
作者
孙浩博
成荣
杨开明
朱煜
鲁森
机构
摩擦学国家重点实验室(清华大学)
出处
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2020年第16期5345-5351,共7页
基金
国家科技重大专项(2017ZX02102004)。
文摘
在超精密运动控制系统中,对外部扰动的抑制效果是影响其轨迹跟踪精度的关键因素。文中研究对象是一种无接触式的六自由度超精密微动台,其通过重力平衡磁钢平衡自身重量,从而避免垂向电机因电流过大而引起线圈温升过高,但是重力平衡磁钢会与微动台下方的永磁阵列相互作用而产生扰动力。对重力平衡磁钢产生的扰动力进行频谱分析,针对其低频特性,提出一种基于二维拟合的多自由度扰动力估计和前馈补偿方法。仿真和实验表明该方法可以在微动台精确模型未知的情况下,实现对扰动力的估计和补偿,减小六自由度的推力/转矩波动,进而提高超精密微动台的轨迹跟踪精度。
关键词
超精密微动台
扰动估计
前馈补偿
轨迹跟踪精度
Keywords
ultra-precision fine stage
disturbance estimation
feedforward compensation
trajectory tracking accuracy
分类号
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
超精密微动台变磁阻电机建模
被引量:
1
4
作者
陈安林
张鸣
朱煜
机构
摩擦学国家重点实验室(清华大学机械工程系)
出处
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2015年第20期5327-5334,共8页
基金
国家自然科学基金项目(51175296)
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02208)~~
文摘
文中对超精密微动台变磁阻电机的磁场和推力进行了准确的建模,用于电机的实时控制。分别建立了永磁体和线圈产生的两种磁场单独作用并考虑漏磁的等效磁路模型,同时在动铁心处于不同位置时,通过三维有限元仿真得到每个气隙的漏磁系数来准确的反映漏磁在不同气隙处的三维分布。首先仿真得到动铁心位于x正向特定位置时的漏磁系数,对漏磁系数进行拟合,从而在动铁心位于x正向任意位置时对电机磁场进行建模。然后根据动铁心位于x正向和负向时具有的对称性,得到电机在全行程的磁场模型。最后根据电机的磁场模型和麦克斯韦力公式得到全行程的推力模型。推力模型和有限元仿真结果误差小于6.4%,并通过实验进行了验证。
关键词
变磁阻电机
超精密微动台
三维漏磁系数
等效磁路
硅片
台
Keywords
variable reluctance actuator (VRA)
ultra-precision microstage
three-dimensional leakage coefficient
magnetic circuit model
wafer stage
分类号
TM352 [电气工程—电机]
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职称材料
题名
电磁式超精密微动工作台研究现状与方向
被引量:
6
5
作者
李恒
朱煜
贾松涛
武晨光
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《现代机械》
2007年第2期1-3,共3页
基金
国家重点基础研究发展计划支持项目(2003cb716204)
文摘
介绍了电磁式超精密微动工作台的驱动原理,对国内外电磁式微动台的研究现状和应用情况进行了综述,针对目前研究中存在的不足,讨论了电磁式超精密微动台研究的主要内容及方向。
关键词
电磁驱动
超精密微动台
研究现状
研究方向
Keywords
magnetic drive
ultra- precision stage
current research condition
research direction
分类号
TH11 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超精密微动台离散回路成形控制器优化
杨进
朱煜
尹文生
杨开明
张鸣
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
超精密微动台控制器带宽优化研究
杨进
尹文生
朱煜
胡金春
段广洪
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
超精密微动台扰动估计与前馈补偿
孙浩博
成荣
杨开明
朱煜
鲁森
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2020
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
超精密微动台变磁阻电机建模
陈安林
张鸣
朱煜
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2015
1
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职称材料
5
电磁式超精密微动工作台研究现状与方向
李恒
朱煜
贾松涛
武晨光
《现代机械》
2007
6
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职称材料
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