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题名铌酸锂薄膜调制器的研究进展
被引量：9
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作者
刘海锋
郭宏杰
谭满清
李智勇
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机构
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
中国科学院大学材料科学与光电技术学院
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期1-13,共13页
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基金
国家重点研发计划(No.2019YFB2203802)
国家自然科学基金资助项目(No.61934007)。
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文摘
铌酸锂薄膜调制器具有体积小、带宽高、半波电压低的优点,在光纤通讯和光纤传感领域具有重要应用价值,是近年来的研究热点。本文梳理了铌酸锂薄膜调制器的波导结构、耦合结构、电极结构的研究进展,总结了LN薄膜波导的制备工艺,并深入分析了不同结构调制器的性能。基于SOI和LNOI结构,薄膜调制器实现了V_(π)L<2 V∙cm,双锥形耦合方案实现了耦合损耗<0.5 dB/facet,行波电极结构实现了调制带宽>100 GHz。铌酸锂薄膜调制器的性能在大多数方面优于目前商用铌酸锂调制器,随着波导工艺进一步提升,将成为铌酸锂调制器的热门方案。最后对铌酸锂薄膜调制器的发展趋势和应用前景进行了展望。
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关键词
铌酸锂薄膜
lnoi
电光调制器
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Keywords
lithium niobate thin-film
lnoi
electro-optic modulator
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分类号
TN29
[电子电信—物理电子学]
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题名集成铌酸锂光子器件技术的研究进展
被引量：4
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作者
张涛
何杰
胡少勤
许昕
张玉蕾
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机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
中国电子科技集团公司第四十四研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2020年第6期837-842,共6页
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文摘
铌酸锂单晶薄膜(LNOI)具有透光光谱宽,折射率高,二阶非线性高及压电响应大等优点,是一种重要的集成光子学基础材料。LNOI材料具有亚波长尺度的光约束和光电器件的高密度集成能力,能够实现具有更高性能、更低成本的全新器件及应用,给光通信和微波光子学带来革命性的变革。该文重点综述了LNOI的制备技术、LNOI电光调制器、LNOI声光调制器和LNOI电光频率梳的最新研究进展,简要讨论了铌酸锂光子器件在制作工艺和系统实现中面临的挑战。
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关键词
绝缘体上铌酸锂
集成光子器件
铌酸锂单晶薄膜(lnoi)电光调制器
铌酸锂单晶薄膜(lnoi)声光调制器
铌酸锂单晶薄膜(lnoi)光学频率梳
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Keywords
lithium niobate(LiNbO3)on insulator(lnoi)
integrated photonic device
lnoi electro-optic modulator
lnoiacousto-opticmodulator
lnoielectro-opticfrequencycomb
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分类号
TM282
[一般工业技术—材料科学与工程]
TN2
[电子电信—物理电子学]
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