期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
白光干涉零光程差位置的五步测量法 被引量：2
1
作者 孙杰 刘铁根 +1 位作者 张以谟 江俊峰 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1319-1323,共5页
给出了采用5步法测量白光干涉中零光程差位置的理论推导。提出在测量中以双光束干涉条纹间距的1/4大小作为干涉光强空间采样间隔;以被测点附近5点测量数据作为一组基本数据来确定干涉条纹的局部调制度;采用重心法确定干涉条纹调制度的... 给出了采用5步法测量白光干涉中零光程差位置的理论推导。提出在测量中以双光束干涉条纹间距的1/4大小作为干涉光强空间采样间隔;以被测点附近5点测量数据作为一组基本数据来确定干涉条纹的局部调制度;采用重心法确定干涉条纹调制度的最大值位置,并以此作为零光程差位置。对不同干涉光强分布公式生成的模拟测量数据进行了理论分析;对光电测量系统中的机械精度与光电测量精度对测量结果的影响进行了定量计算。通过计算得到,本方法的最大零光程位置测量误差不超过1/4干涉光中心波长。 展开更多
关键词 白光干涉 零光程差位置 五步测量法 重心法 光电测量系统
原文传递
基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构 被引量：8
2
作者 李秋柱 刘毅 +2 位作者 牛康康 刘君 丑修建 《测试技术学报》 2009年第3期201-204,共4页
垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的... 垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的表面形貌,微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求,即光强峰值附近没有达到饱和,得出了清晰的三维形貌图,解算出的台阶高度和实际台阶高度一致,其横向分辨率为1.6μm,纵向分辨率为0.05μm. 展开更多
关键词 微器件 白光干涉 垂直扫描法 包络线 零光程差位置
在线阅读 下载PDF
重力对星载傅里叶光谱仪动镜系统的影响 被引量：1
3
作者 段娟 华建文 +1 位作者 王战虎 王海英 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2613-2619,共7页
分析了太空失重对星载傅里叶光谱仪动镜系统的影响。针对动镜系统受重力影响的两个关键因素,提出了解决措施,并设计了实验室验证方法。考虑空间和地面重力环境的不同,分析了动镜未被驱动时重力对初始定位的影响和动镜被驱动后重力对运... 分析了太空失重对星载傅里叶光谱仪动镜系统的影响。针对动镜系统受重力影响的两个关键因素,提出了解决措施,并设计了实验室验证方法。考虑空间和地面重力环境的不同,分析了动镜未被驱动时重力对初始定位的影响和动镜被驱动后重力对运动机构回复力矩的影响。设计了精密初始机械限位使动镜从固定起始点开始运动控制,并且采用闭环PID控制与在轨可调整期望运动规律相结合的控制方法来校正动镜机构等效扭转刚度的变化。最后,提出了将整个动镜机构倒置的方式进行地面验证,并设计了动镜正、负位移不对称性偏差以及匀速区速度波动的性能测量方法。实验结果表明,正置和倒置时动镜正、负位移的不对称性偏差可以控制在6μm以内,其匀速区的速度波动均方根值分别为1.4%和1.1%。实验显示提出的解决方法简单可靠,性能指标满足傅里叶光谱仪的要求,为动镜系统的空间应用提供了技术途径。 展开更多
关键词 傅里叶光谱仪 动镜系统 失重 零光程差位置 机械限位 闭环控制
在线阅读 下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部