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非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究 被引量：1
1
作者 陈千睿 魏萌萌 +6 位作者 卢耀文 杨传森 丁双 闫睿 杨振 康朋伟 陈又琦 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期79-83,共5页
非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制... 非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制的系统采用标准流量抽速测试方法,采用固定流导法流量计提供(10^(-5)~10^(-8))Pam^(3)/s的标准气体流量,可在测试罩内获得(10^(-2)~10^(-5))Pa的气体压力下实现抽速测试。实验结果表明,NEG泵激活后处于最佳抽气状态,当抽速下降之后可在超高真空条件下放置一段时间将抽速恢复至初始状态,但泵的整体抽气性能发生一定变化;当泵连续抽气时,抽速随着吸气量的增大而逐渐减小,随着泵抽气压力的增大而减小。 展开更多
关键词 非蒸散型吸气剂泵 抽速 激活 标准气体流量
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非蒸散型吸气剂泵在真空计量中的应用研究 被引量：15
2
作者 李得天 成永军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期234-236,共3页
本文简要阐述了非蒸散型吸气剂(NEG)泵的吸气机理,着重介绍了NEG泵在超高/极高真空标准、静态膨胀法真空标准等真空计量标准中的最新应用结果。结果表明:利用NEG泵在室温下获得了10-10Pa的XHV;利用NEG泵将超高/极高真空标准校准下限延... 本文简要阐述了非蒸散型吸气剂(NEG)泵的吸气机理,着重介绍了NEG泵在超高/极高真空标准、静态膨胀法真空标准等真空计量标准中的最新应用结果。结果表明:利用NEG泵在室温下获得了10-10Pa的XHV;利用NEG泵将超高/极高真空标准校准下限延伸到了10-10Pa量级;利用NEG泵将静态膨胀法真空标准的校准下限延伸到了10-7Pa量级。最后还对用NEG泵延伸固定流导法微流量标准测量下限的可行性进行了分析。 展开更多
关键词 非蒸散型吸气剂泵 真空计量标准 延伸校准下限
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极高真空校准室内残余气体的成分分析 被引量：39
3
作者 成永军 李得天 +4 位作者 张涤新 冯焱 卢耀文 赵澜 徐婕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第1期54-59,共6页
用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析。一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上。烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H2O、C... 用四极质谱计对316L不锈钢制作的极高真空(XHV)校准室在烘烤前、后的残余气体成分进行了分析。一个热阴极电离规(IE514)和一个四极质谱计(QMS200)连接在XHV校准室上。烘烤前,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有H2O、CO、H2、CH4和CO2。烘烤后,开、关热阴极电离规以及对其进行除气,放出的气体主要有CO、H2、CO2和CH4。整个烘烤过程完成后2h,XHV校准室内的压力在室温下通过分子泵串联抽气机组抽至8.97×10-9Pa,用四极质谱计分析到的残余气体成分主要为H2和CO。整个烘烤过程完成后4h,打开非蒸散型吸气剂泵(NEGP)对XHV校准室抽气,结果表明NEGP对H2具有较大的抽速,但对碳氢类化合物(如CH4)和惰性气体几乎没有抽速。用NEGP对XHV校准室连续抽气72h后,XHV校准室内的压力从8.34×10-9Pa下降到9.12×10-10Pa。不锈钢XHV校准室内的残余气体成分中大量的CO和CO2主要来自于四极质谱计。 展开更多
关键词 不锈钢 极高真空 残余气体 四极质谱计 非蒸散型吸气剂泵
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静态膨胀法真空标准校准下限延伸方法研究 被引量：8
4
作者 李得天 赵光平 +1 位作者 郭美如 徐婕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期314-317,共4页
影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法。NEGP对惰性气体无抽速,当以惰性气体作为校准气体时,NEGP既维持了校准室中的超高真空本底,又不改变... 影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法。NEGP对惰性气体无抽速,当以惰性气体作为校准气体时,NEGP既维持了校准室中的超高真空本底,又不改变校准室内惰性气体的气体量,从而保证气体静态膨胀时波义耳定律严格成立,使标准压力能够准确计算。这种方法将静态膨胀法真空标准校准能力的下限延伸到了10-7Pa量级。 展开更多
关键词 静态膨胀法真空标准 校准下限延伸 非蒸散型吸气剂泵 不确定度评定
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低压力下复杂结构真空容器容积比的测量方法研究
5
作者 吉康 成永军 +3 位作者 杨长青 习振华 张瑞芳 张琦 《真空与低温》 2016年第1期30-34,共5页
真空容器容积比的测量方法通常有称重法和静态膨胀法。目前,复杂结构真空容器容积比主要是在较高的压力下通过气体静态膨胀进行测量。但当膨胀压力低于10^(-2)Pa时,真空容器器壁的放气会对容积比的测量带来很大的影响。为了确保在膨胀... 真空容器容积比的测量方法通常有称重法和静态膨胀法。目前,复杂结构真空容器容积比主要是在较高的压力下通过气体静态膨胀进行测量。但当膨胀压力低于10^(-2)Pa时,真空容器器壁的放气会对容积比的测量带来很大的影响。为了确保在膨胀前后气体量不改变,即减小在低压力下真空容器的放气对测量的影响,提出了利用非蒸散性吸气泵选择性抽气的特性,结合静态膨胀法利用惰性气体氩气(Ar)、氦气(He)来测量真空容器的容积比。 展开更多
关键词 容积比测量 非蒸散型吸气剂泵 静态膨胀法
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一种真空封装X波段重频高功率微波系统
6
作者 敖宇 杨德文 +3 位作者 滕雁 陈昌华 张锋 黄磊 《强激光与粒子束》 2025年第4期10-16,共7页
传统上通常采用外接真空泵组来获取和维持高功率微波系统的真空状态,但这会显著增加系统的体积和重量,限制其实际应用场景。为了实现高功率微波系统的轻小型化,提升其实用性,针对X波段重频高功率微波系统,设计研制了一种真空封装装置。... 传统上通常采用外接真空泵组来获取和维持高功率微波系统的真空状态,但这会显著增加系统的体积和重量,限制其实际应用场景。为了实现高功率微波系统的轻小型化,提升其实用性,针对X波段重频高功率微波系统,设计研制了一种真空封装装置。在脉冲传输线-二极管界面以及微波天线喇叭口,采用了陶瓷-金属钎焊技术;在系统的其他接口处采用了刀口密封技术,实现了高功率微波产生、传输及发射腔体内部的真空封装。借鉴真空电子领域中的材料表面清洗、烘烤排气等真空获取手段,系统可以在非工作状态下维持10^(-7) Pa数量级的气压接近100 h。通过在二极管外筒和微波天线喇叭上安装非蒸散型吸气剂泵,可有效捕集系统加电工作时腔内释放的气体,实现动态真空维持。实验结果表明,该系统能够以10~30 Hz的重频稳定运行10000炮次以上。 展开更多
关键词 高功率微波 轻小型化 真空封装 陶瓷绝缘子 非蒸散型吸气剂泵
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