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全口径环形抛光的光学元件面形误差影响因素及其控制
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作者 廖德锋 张明壮 +2 位作者 谢瑞清 赵世杰 许乔 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期333-343,共11页
全口径环形抛光是加工大口径平面光学元件的关键技术之一,其瓶颈问题是元件面形的高效高精度控制。通过研究元件面形的影响因素及其控制方法从而提升其确定性控制水平。围绕影响面形误差的运动速度、抛光盘表面形状误差和钝化状态等关... 全口径环形抛光是加工大口径平面光学元件的关键技术之一,其瓶颈问题是元件面形的高效高精度控制。通过研究元件面形的影响因素及其控制方法从而提升其确定性控制水平。围绕影响面形误差的运动速度、抛光盘表面形状误差和钝化状态等关键工艺因素,建立基于运动轨迹有效弧长的环形抛光运动学模型,揭示了抛光盘表面开槽槽型对面形误差的影响规律;提出了采用位移传感器以螺旋路径扫描抛光盘表面并通过插值算法生成其形状误差的方法,建立基于小工具的子口径修正方法,实现了抛光盘形状误差的在位定量修正;提出抛光盘表面钝化状态的监测方法,研究了抛光盘表面钝化状态对面形误差的影响规律。结果表明:抛光盘表面开槽采用环形槽时元件表面容易产生环带特征,采用径向槽、方形槽和螺旋槽时元件表面较为匀滑;通过在位定量检测和修正抛光盘形状误差,可显著提升元件的面形精度;随着抛光盘表面的逐渐钝化,元件面形逐渐恶化。在研制的5 m直径大口径环形抛光机床上加工800 mm×400 mm×100 mm平面元件的面形PV值优于λ/6(λ=632.8 nm),提升了元件的面形控制效率和精度。 展开更多
关键词 光学加工 全口径环抛光 面形误差 影响规律 控制方法
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正弦型中频面形误差对光学传递函数的影响
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作者 陈建军 王琳琳 +4 位作者 霍立民 匡翠方 毛磊 郑驰 尹禄 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期725-732,共8页
中频面形误差(MSFSE)会导致光学系统发生小角度散射,影响系统性能。为了在光学设计和光学加工中制定合理的中频面形误差公差,就中频面形误差对光学系统调制传递函数(MTF)的影响进行了量化研究。在衍射受限条件下,推导出正弦型中频面形... 中频面形误差(MSFSE)会导致光学系统发生小角度散射,影响系统性能。为了在光学设计和光学加工中制定合理的中频面形误差公差,就中频面形误差对光学系统调制传递函数(MTF)的影响进行了量化研究。在衍射受限条件下,推导出正弦型中频面形误差对光学系统MTF的影响的表达式并对其进行分析,然后通过光学设计软件仿真验证理论推导结果。假设光学系统光瞳上带有正弦型中频面形误差,对光瞳函数进行傅立叶变换,然后平方得到点扩散函数(PSF),再对PSF进行傅立叶变换得到光学系统的光学传递函数(OTF),对OTF取模,即可得到中频误差影响下的MTF表达式。将该式与衍射受限条件下无中频误差的光学系统MTF进行对比,得到中频误差对光学系统MTF的量化影响。理论计算结果表明:正弦型中频误差会使光学系统的MTF在不同空间频率处产生不同的损失,损失值随空间频率呈周期性变化;峰谷值(PV)分别为0.030μm、0.095μm、0.159μm和0.223μm的中频面形误差,导致的光学系统MTF的最大损失比例分别为0.89%、8.80%、23.48%和43.31%;随着中频误差PV的增加,MTF的损失值呈非线性快速增加。软件仿真结果与理论计算结果吻合。 展开更多
关键词 中频面形误差 光学传递函数 自由曲 光学加工 光学设计
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同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿 被引量:10
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作者 卢启鹏 高飒飒 彭忠琦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2644-2650,共7页
为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光... 为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光束线中使用的压弯聚焦镜,利用有限元方法分析了影响面形精度的主要因素;最后,根据水平偏转压弯机构特点及误差分析结果,提出了重力平衡补偿方法。研究显示,镜子自重和冷却装置的重力对压弯镜面形的影响主要表现为柱面镜母线的弯曲,驱动杆重力对压弯镜面形的影响主要体现在子午斜率误差上。利用重力平衡方法对压弯镜面形误差进行补偿,结果显示,柱面镜母线产生的斜率误差均方根值由13.14μrad减小到0.15μrad,镜面在子午方向的斜率误差均方根值由8.21μrad减小到0.86μrad。由此表明,压弯镜面形误差分析及补偿方法行之有效,显著提高了水平偏转压弯镜的面形精度。 展开更多
关键词 同步辐射 压弯机构 水平偏转 面形误差 补偿
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光学面形误差对环围能量比的影响 被引量:7
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作者 吴冬良 戴一帆 +1 位作者 王贵林 陈善勇 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1328-1335,共8页
以发射光学系统为研究对象,假设面形误差为高斯平稳随机过程,建立了光学面形误差均方根梯度(GRMS)与远场靶面上环围能量比(EE)之间的数学关系模型,进行了仿真分析并对实际面形数据做了验证。研究表明,环围能量比随GRMS的增加呈指数衰减... 以发射光学系统为研究对象,假设面形误差为高斯平稳随机过程,建立了光学面形误差均方根梯度(GRMS)与远场靶面上环围能量比(EE)之间的数学关系模型,进行了仿真分析并对实际面形数据做了验证。研究表明,环围能量比随GRMS的增加呈指数衰减;同时面形误差低频和高频部分分别形成远场光强分布的中心核和边缘。在GRMS≤7nm/mm时,理论计算与仿真结果非常吻合。与实际分析结果的比较表明,该数学关系模型是正确的,能够用来分析GRMS对EE的影响。 展开更多
关键词 发射光学系统 面形误差 环围能量 位相误差 均方根梯度
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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 被引量:5
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作者 刘兆武 李文昊 +4 位作者 王敬开 姜珊 宋莹 潘明忠 巴音贺希格 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2134-2141,共8页
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累... 针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法。利用三路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构,得到两组工作台测量镜面形的原始数据,通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差,得到了精确的测量镜面形误差量。对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证,并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比,结果显示其差异在±10nm之间,且趋势有较好的一致性。得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差。 展开更多
关键词 激光干涉仪 纳米二维工作台 测量镜 面形误差 在线检测
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面形误差对亚波长金属光栅偏振器性能的影响 被引量:7
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作者 孟凡涛 褚金奎 +1 位作者 韩志涛 郭庆 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期951-955,共5页
基于严格耦合波理论分析了光栅面形误差对亚波长金属光栅偏振器偏振性能的影响.通过对数值结果的分析发现,光栅圆角误差、光栅侧壁倾斜误差和光栅表面粗糙误差对光栅的TM透射效率影响不大,但它们使得光栅的消光比明显降低.因此,面形误... 基于严格耦合波理论分析了光栅面形误差对亚波长金属光栅偏振器偏振性能的影响.通过对数值结果的分析发现,光栅圆角误差、光栅侧壁倾斜误差和光栅表面粗糙误差对光栅的TM透射效率影响不大,但它们使得光栅的消光比明显降低.因此,面形误差使得光栅的偏振性能明显降低.理论分析表明,顶角为直角、侧壁垂直和表面光滑的理想矩形光栅结构的偏振性能最好. 展开更多
关键词 亚波长光栅 亚波长金属光栅偏振器 面形误差 严格耦合波理论 TM透射效率 消光比
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面向等残余面形误差的分层修形模具气囊抛光轨迹规划方法 被引量:6
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作者 陈国达 计时鸣 +1 位作者 金明生 张才 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期724-729,共6页
气囊抛光方法可成功应用于模具自由曲面,实现自动化抛光。提出一种面向等残余面形误差的分层修形模具气囊抛光轨迹规划新方法,该方法可用于等残余面形误差工件的整个面形修正过程或非等残余面形误差状态下气囊抛光工艺中的某一阶段。针... 气囊抛光方法可成功应用于模具自由曲面,实现自动化抛光。提出一种面向等残余面形误差的分层修形模具气囊抛光轨迹规划新方法,该方法可用于等残余面形误差工件的整个面形修正过程或非等残余面形误差状态下气囊抛光工艺中的某一阶段。针对光栅型抛光轨迹给出一种基于一次去除深度函数数值仿真的驻留点间距优选方法,并设计了对比性实验进行验证。实验结果表明,以X方向为进给方向的光栅型轨迹中,驻留点间距值选择去除模型中最大去除量1/2处对应Y值的两倍是合理的。 展开更多
关键词 机械制造工艺与设备 模具 气囊抛光 等残余面形误差 分层 轨迹规划
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考虑接触边界条件的经纬仪主镜面形误差分析 被引量:3
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作者 谢军 曹立华 +3 位作者 韩光宇 乔健 刘永明 刘震宇 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期132-136,共5页
为了精确分析经纬仪主镜的面形均方根,对主镜支撑连接球绞的仿真方法进行研究.建立了主镜支撑系统的有限元模型,对比了刚性连接、约束节点自由度和接触边界条件三种球绞的仿真方法.采用接触边界条件方法仿真得到的主镜面形均方根值为16.... 为了精确分析经纬仪主镜的面形均方根,对主镜支撑连接球绞的仿真方法进行研究.建立了主镜支撑系统的有限元模型,对比了刚性连接、约束节点自由度和接触边界条件三种球绞的仿真方法.采用接触边界条件方法仿真得到的主镜面形均方根值为16.37nm,应用干涉仪检测得到主镜在径向支撑状态下的面形均方根值为17.53nm,仿真结果与实验结果的偏差为6.62%.实验结果显示三种方法中,接触边界条件法能较准确地获得主镜面形均方根值,用此方法对主镜径向支撑结构进行了参数化分析,获得径向支撑位置、长度和宽度对主镜面形的影响规律,可以为主镜面形的精确分析及主镜支撑结构设计提供参考. 展开更多
关键词 工程力学 经纬仪 仿真 主镜 面形误差 接触 参数化
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30m望远镜三镜镜面面形误差的斜率均方根评价 被引量:14
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作者 王富国 安其昌 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期1171-1175,共5页
由于传统的均方根方法在评价大口径反射镜时难以精确表达光学表面的中空间频率误差,本文提出了基于斜率均方根(SlopeRms)的误差评价方法来评价光学表面面形。该方法先以Zernike多项式拟合光学表面面形,在此基础上求解不同空间间隔上的... 由于传统的均方根方法在评价大口径反射镜时难以精确表达光学表面的中空间频率误差,本文提出了基于斜率均方根(SlopeRms)的误差评价方法来评价光学表面面形。该方法先以Zernike多项式拟合光学表面面形,在此基础上求解不同空间间隔上的斜率均方根。这种评价方法可以很好地区分小尺寸磨削工具造成的误差和大口径反射镜在多点支撑下造成的面形误差。文中建立了SlopeRms的数学模型,推导了SlopeRms的计算方法,并以此方法为基础对30m望远镜(TMT)三镜面形进行了评价。结果显示,采用斜率均方根的评价方法得到的光学表面面形值达到0.9μrad,优于传统的RMS评价方法(RMS=115nm),满足设计要求。结果显示,基于斜率均方根的误差评价方法能更加全面和客观地评价大口径反射镜面形,具有实际意义。 展开更多
关键词 光学检测 30m望远镜 面形误差 斜率均方根 均方根
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利用调整技术补偿离轴抛物面反射镜面形误差 被引量:3
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作者 陈钦芳 李英才 +2 位作者 马臻 李旭阳 郭永祥 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1578-1581,共4页
为了提高光学系统的成像质量,对离轴抛物面反射镜的面形准确度要求越来越高,这大大增加了反射镜的加工难度.本文基于波像差理论,分析了在离轴抛物面反射镜中调整量引入的波像差,提出通过适当调整离轴抛物面反射镜的位置补偿反射镜的面... 为了提高光学系统的成像质量,对离轴抛物面反射镜的面形准确度要求越来越高,这大大增加了反射镜的加工难度.本文基于波像差理论,分析了在离轴抛物面反射镜中调整量引入的波像差,提出通过适当调整离轴抛物面反射镜的位置补偿反射镜的面形误差,可以降低离轴反射镜的加工难度、缩短其加工周期、减少加工成本.并借助于ZEMAX软件对一块面形准确度低于λ/40RMS(λ=632.8nm)离轴抛物面反射镜进行仿真实验,根据理论计算的调整量调整反射镜的位置,得到了补偿后的离轴抛物面反射镜的面形误差小于λ/60RMS,仿真结果表明在离轴抛物面反射镜中引入适当的调整量可以有效地补偿反射镜的面形误差. 展开更多
关键词 非球加工 面形误差 波像差 调整技术 离轴抛物
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离轴反射式系统面形误差高精度还原装调技术 被引量:5
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作者 王春雨 黄阳 +4 位作者 王聪 牛锦川 赵英龙 张生杰 王蓉 《航天返回与遥感》 CSCD 2020年第2期58-66,共9页
应用于航天遥感领域的离轴反射式系统,由于装调中光学元件面形误差与位置失调引入的误差经常混合在一起,直接影响计算机辅助装调仿真分析的准确性,从而降低光学系统的装调品质和效率。为解决此难题,文章编制面形数据转换处理算法,对光... 应用于航天遥感领域的离轴反射式系统,由于装调中光学元件面形误差与位置失调引入的误差经常混合在一起,直接影响计算机辅助装调仿真分析的准确性,从而降低光学系统的装调品质和效率。为解决此难题,文章编制面形数据转换处理算法,对光学元件实测面形数据进行转化处理,结合光学设计软件Code V,准确计算、还原并剥离出面形误差对系统像质的影响,实现离轴反射式系统的快速高精度装调。经验证分析,该算法与传统的Zernike多项式反演拟合算法相比准确度更高,还原精度优于90%,且可实现非圆域(如:椭圆形、矩形、有遮拦等任意形状)光学元件实测面形在光学仿真软件中的高精度还原,为离轴反射式系统高精度快速装调提供更准确的计算。 展开更多
关键词 离轴反射式系统 面形误差 失调 计算机辅助装调 高精度还原 航天遥感
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基于机床体误差模型的加工面形误差预测 被引量:3
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作者 陈国达 梁迎春 +1 位作者 孙雅洲 张鹏 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2014年第4期242-248,共7页
零件面形精度满足要求是超精密装备实现其关键功能的重要保证.影响工件加工面形精度的因素很多,机床体误差是其中最关键的因素.通过构建机床误差元与加工面形误差之间的直接关系来进行面形误差预测研究.提出了一种基于机床体误差模型的... 零件面形精度满足要求是超精密装备实现其关键功能的重要保证.影响工件加工面形精度的因素很多,机床体误差是其中最关键的因素.通过构建机床误差元与加工面形误差之间的直接关系来进行面形误差预测研究.提出了一种基于机床体误差模型的频域多尺度面形误差预测方法,该方法可结合机床体误差模型、工艺参数、加工轨迹等进行频域多尺度面形误差预测,可为加工路径规划、机床设计等提供理论参考,从而提高加工精度.进行了低频PV面形误差预测的实例研究,采用的机床为一台五轴联动超精密机床,加工表面为凹形截圆锥台锥面.通过实验与理论分别获得PV面形误差,其相对误差为17.3%,证明基于机床体误差模型的低频PV面形误差预测是可行的. 展开更多
关键词 机床 误差 面形误差 多尺度 低空间频率 预测
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ZEMAX辅助分析斜方棱镜面形误差对出射光平行度的影响 被引量:3
13
作者 刘爱敏 高立民 +2 位作者 吴易明 马娜 李研 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期491-495,共5页
介绍一种根据出射光平行度要求计算斜方棱镜面形误差的方法。根据忽略局部光圈数的简化分析模型,获得面形误差对应光圈数与相关球面半径的关系,通过几何处理方法,求得一定面形误差对应的球面半径与平面倾角的关系,将斜方棱镜的工作面倾... 介绍一种根据出射光平行度要求计算斜方棱镜面形误差的方法。根据忽略局部光圈数的简化分析模型,获得面形误差对应光圈数与相关球面半径的关系,通过几何处理方法,求得一定面形误差对应的球面半径与平面倾角的关系,将斜方棱镜的工作面倾斜一定角度,运用折射定理,将具体面形误差转化为相应平面的倾斜角度,得到出射光相对于理想光轴的倾斜角度及其关系式,并在ZEMAX中建立斜方棱镜的两种模型。根据ZEMAX仿真结果,给出了各个工作面形误差分配方案,得出随着光束口径的增大,斜方棱镜反射工作面和折射工作面面形误差对出射光偏折角影响规律不同等结论。 展开更多
关键词 斜方棱镜面形误差 ZEMAX辅助分析 出射光平行度
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渐进多焦点镜片面形误差与光焦度关系的分析 被引量:2
14
作者 刘智颖 田宇 +2 位作者 李丹 薛常喜 李闯 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期9-14,共6页
渐进多焦点眼镜片能够同时满足视远与视近的需求,其应用日益广泛.本文介绍了渐进多焦点镜片的设计与评价方法,在此基础上通过对镜片面形方程及球面度方程求解偏微分,构建了渐进多焦点镜片光焦度分布与面形误差的关系模型.根据国家标准... 渐进多焦点眼镜片能够同时满足视远与视近的需求,其应用日益广泛.本文介绍了渐进多焦点镜片的设计与评价方法,在此基础上通过对镜片面形方程及球面度方程求解偏微分,构建了渐进多焦点镜片光焦度分布与面形误差的关系模型.根据国家标准规定的镜片有效区域实际屈光度与名义值差值小于0.1 D的要求,对加光度为2.0D(6.0D8.0D)的渐进面面形误差进行了实例分析.应用给定的面形误差结果进行实验加工的镜片,经分析后实验输出的光焦度变化符合所设定的国家标准要求的范围,进一步验证了面形误差与光焦度分布关系模型的正确性,为渐进多焦点镜片加工的面形控制精度提供理论依据. 展开更多
关键词 渐进多焦点眼镜片 光焦度分布 关系模型 面形误差 方程 度方程 加光度
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光学元件面形误差的光滑延展算法 被引量:3
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作者 李云 段沽坪 邢廷文 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第2期408-412,共5页
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,需要对原始面形误差数据进行有界光滑延展。推导并提出了一种基于高斯曲线的曲面延展算法,该算法利用了高斯函数的有界性、光滑性和参数连续性。将该曲面延展算法... 在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,需要对原始面形误差数据进行有界光滑延展。推导并提出了一种基于高斯曲线的曲面延展算法,该算法利用了高斯函数的有界性、光滑性和参数连续性。将该曲面延展算法应用于带有高频噪声的面形误差工件的驻留时间求解过程中,驻留时间算法在光学元件边缘处的残余误差得到了抑制,使得驻留时间算法在整个通光口径内的收敛率达到了97%(RMS)。这表明基于高斯曲线的曲面光滑延展算法能实现光学元件面形误差的光滑延展,并具有良好的抗噪声干扰能力,改善了驻留时间算法的求解精度。 展开更多
关键词 面形误差延展 驻留时间 离子束抛光 光学加工
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微透镜面形误差影响LD光束准直的研究 被引量:3
16
作者 刘银辉 周崇喜 杜春雷 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期5-7,共3页
采用求解几何光学点列图的办法,针对半导体激光器准直微透镜各种不同的面形误差,用实例分析计算了它们对LD光束准直的影响,从结果可看出中部出现微小偏差的微透镜对LD光束准直效果优于具有其他类型偏差的微透镜,并针对具体情况给微透镜... 采用求解几何光学点列图的办法,针对半导体激光器准直微透镜各种不同的面形误差,用实例分析计算了它们对LD光束准直的影响,从结果可看出中部出现微小偏差的微透镜对LD光束准直效果优于具有其他类型偏差的微透镜,并针对具体情况给微透镜阵列的制作提供参考。 展开更多
关键词 微透镜阵列 面形误差 光束准立 半导体激光器
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基于Matlab软件对曲面方程已知的曲面面形误差求解与分析 被引量:3
17
作者 谢晋 郭家隆 《机械设计与制造》 北大核心 2008年第1期81-83,共3页
利用Matlab软件结合Excel软件解决磨削工件曲面面形加工误差问题的一个过程。整个过程描述了测头半径误差补偿方法,坐标的旋转变换,平移坐标系对齐,最后对误差原因进行了必要的分析。因为理论曲面为二次曲面,所以利用截面近点补偿法,方... 利用Matlab软件结合Excel软件解决磨削工件曲面面形加工误差问题的一个过程。整个过程描述了测头半径误差补偿方法,坐标的旋转变换,平移坐标系对齐,最后对误差原因进行了必要的分析。因为理论曲面为二次曲面,所以利用截面近点补偿法,方便快捷地对误差进行了补偿。 展开更多
关键词 面形误差 MATLAB PV值 邻近点补偿 特征点平移法
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光学非球曲面中高频面形误差的控制与补偿技术研究 被引量:1
18
作者 李成贵 杨辉 +1 位作者 张建明 庞长涛 《航空制造技术》 北大核心 2012年第20期88-91,94,共5页
本文分析了非球曲面中、高频面形误差的产生原因及作用机理,对面形精度有直接影响的切削刀具、切削参数、加工路径、切削状态、测量方法、工作环境等因素,提出了优化选择的规则和控制策略;给出了减小误差的补偿原理和编程设计方法,并在... 本文分析了非球曲面中、高频面形误差的产生原因及作用机理,对面形精度有直接影响的切削刀具、切削参数、加工路径、切削状态、测量方法、工作环境等因素,提出了优化选择的规则和控制策略;给出了减小误差的补偿原理和编程设计方法,并在数控机床上进行了编程补偿试验,结果证明面形误差得到了有效控制。 展开更多
关键词 非球曲 面形误差 误差控制 补偿技术
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复曲面镜片铣磨后的面形误差理论分析 被引量:2
19
作者 王立杰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第4期385-388,共4页
复曲面镜片铣磨后 ,一个剖面的曲线为真圆 ,而另一个与之垂直的剖面内曲线为一复杂曲线 ,通过分析成形运动 ,导出了复杂曲线的方程 ,将理想圆与该曲线进行比较 ,得到了复曲面镜片面形误差的计算公式 ,并利用计算机计算出了面形误差 ,从... 复曲面镜片铣磨后 ,一个剖面的曲线为真圆 ,而另一个与之垂直的剖面内曲线为一复杂曲线 ,通过分析成形运动 ,导出了复杂曲线的方程 ,将理想圆与该曲线进行比较 ,得到了复曲面镜片面形误差的计算公式 ,并利用计算机计算出了面形误差 ,从而得出了当镜片回转半径等于 1 76.66mm,砂轮直径越大 ,砂轮所扳角度避免在 3 0°左右取值 ,能减小复曲面镜片面形误差 ,提高面形精度的结论。为合理选择机床参数提供了理论依据。 展开更多
关键词 复曲 镜片 眼镜 铣磨 面形误差 理论分析
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空间相机指向反射镜面形误差仿真分析 被引量:3
20
作者 国绍文 张广玉 +1 位作者 王武义 赵学增 《光学仪器》 2005年第6期29-32,共4页
分析了引起某空间相机指向反射镜面形误差的载荷,运用有限元分析软件对指向反射镜在几种典型载荷作用下产生的镜面变形进行了多场耦合仿真,计算结果表明该指向反射镜完全满足光学系统的性能要求,从而为相机设计提供了有力依据。
关键词 指向反射镜 空间相机 面形误差 有限元分析
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