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硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究 被引量：1
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作者 邢维巍 彭振江 樊尚春 《计测技术》 2012年第S1期35-38,共4页
采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激... 采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度的主要因素。采用频域分离法可有效地克服同频耦合干扰带来的影响。在研究基于频域分离法的单端口静电激励/电容检测的基础上,提出了单端口静电激励/电容检测方案。 展开更多
关键词 静电激励/电容检测 硅微谐振式压力传感器 同频耦合干扰 频域分离法
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