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飞秒脉冲激光冲击强化中等离子体压力时空演化规律
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作者 倪辉 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期116-124,共9页
为研究飞秒脉冲激光冲击强化中等离子体压力时空演化规律,利用考虑电子态密度(DOS)效应的模型计算了电子热容和电声耦合系数随电子温度的演化规律,并与采用QEOS(quotidian equation of state)模型计算结果进行了对比;提出DOS飞秒脉冲激... 为研究飞秒脉冲激光冲击强化中等离子体压力时空演化规律,利用考虑电子态密度(DOS)效应的模型计算了电子热容和电声耦合系数随电子温度的演化规律,并与采用QEOS(quotidian equation of state)模型计算结果进行了对比;提出DOS飞秒脉冲激光冲击强化模型,计算得到电子温度、晶格温度、等离子体羽位置时间演化规律和等离子体压力时空演化规律,并与QEOS飞秒脉冲激光冲击强化模型结果进行了对比。结果表明:DOS飞秒脉冲激光冲击强化模型计算得到的等离子体羽位置随时间的演化规律与实验结果吻合程度更好;增加激光能量或功率密度、考虑电子DOS效应会增加电子、晶格温度和等离子体压力。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光冲击强化 双温度方程 态密度 等离子体压力 电子热容 电声耦合系数 等离子体羽位置 电子温度 晶格温度
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全光纤高能量飞秒脉冲激光放大系统 被引量:4
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作者 王锋 李敏 +4 位作者 杨康文 贺明洋 夏宇 袁帅 曾和平 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2021年第3期293-298,共6页
研究了一种全光纤飞秒脉冲放大系统。其采用非线性放大环形镜结构的谐振腔输出宽光谱种子光,通过光纤啁啾脉冲放大技术抑制功率放大过程中的非线性累积;主放大部分结合双包层光纤与大模场光子晶体光纤熔接技术,输出中心波长1030nm,平均... 研究了一种全光纤飞秒脉冲放大系统。其采用非线性放大环形镜结构的谐振腔输出宽光谱种子光,通过光纤啁啾脉冲放大技术抑制功率放大过程中的非线性累积;主放大部分结合双包层光纤与大模场光子晶体光纤熔接技术,输出中心波长1030nm,平均功率16.9W的高质量皮秒脉冲,经空间光栅对补偿色散后脉冲宽度324fs,单脉冲能量12.2μJ,峰值功率约26.4MW。该放大系统采用保偏光纤特种熔接技术实现全光纤化,相较于空间耦合放大具有光路结构简单,环境稳定性高等特点,有望推动高能量飞秒光纤激光工业化进程,提升其在复杂使用环境的适应性。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 光子晶体光纤 脉冲能量 双包层光纤 保偏光纤 峰值功率 放大系统 谐振腔
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全固态多波长飞秒脉冲激光系统(英文) 被引量:5
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作者 田丰 黄圣鸿 +2 位作者 白晋涛 王屹山 陈国夫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期1112-1115,共4页
利用棱镜对引进频谱空间啁啾来补偿飞秒脉冲激光二次谐波产生中的相位失配 ,提高了倍频效率 建立了一套全固态、多波长 ( 1 0 65nm ,5 32nm ,82 3.1nm ,40 2nm)飞秒脉冲激光系统 自制的Nd :YVO4激光器输出 5 32nm绿光激光 ,最高平均... 利用棱镜对引进频谱空间啁啾来补偿飞秒脉冲激光二次谐波产生中的相位失配 ,提高了倍频效率 建立了一套全固态、多波长 ( 1 0 65nm ,5 32nm ,82 3.1nm ,40 2nm)飞秒脉冲激光系统 自制的Nd :YVO4激光器输出 5 32nm绿光激光 ,最高平均功率可达 5 .6W 当用 2 .5W绿光激光泵浦时 ,从自制的钛宝石激光器及经BBO倍频可分别输出中心波长为 82 3.1nm和 40 2nm ,平均功率 30 0mW和73mW ,谱宽 32 .3nm和 5 .1nm ,脉宽 2 2fs和 33.3fs、重复率 1 0 8MHz的近红外和蓝光激光 整个系统具有结构紧凑、倍频效率高。 展开更多
关键词 全固态多波长飞秒脉冲激光系统 频谱空间啁啾 相位匹配 多波长激光 倍频效率
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飞秒脉冲激光产生及捕获微气泡的实验研究 被引量:3
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作者 薛林雁 杨昆 +3 位作者 曹彪 闫惟娜 刘雨航 刘爽 《河北大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第4期359-365,共7页
采用高速光学摄像及高频超声成像技术对飞秒脉冲激光在介质水中发生光学诱导击穿的过程进行实验研究.结果表明,光学诱导击穿产生后,在高能激光自聚焦的焦点处产生一系列微气泡,最后只有一个微气泡可以被激光束稳定地捕获,并且这个微气... 采用高速光学摄像及高频超声成像技术对飞秒脉冲激光在介质水中发生光学诱导击穿的过程进行实验研究.结果表明,光学诱导击穿产生后,在高能激光自聚焦的焦点处产生一系列微气泡,最后只有一个微气泡可以被激光束稳定地捕获,并且这个微气泡可以在超声作用下进行非接触式三维操控.进一步分析了沿激光束产生和捕获的微气泡的时空特性以及激光束捕获微气泡的力学特性.实验结果为应用微气泡进行分子水平的靶向性治疗提供了全新的技术手段. 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 光学诱导击穿 微气泡 高速光学摄像 高频超声成像
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飞秒脉冲激光对蓝宝石辐照作用的研究 被引量:2
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作者 蒋成勇 周国清 +2 位作者 徐军 邓佩珍 干福熹 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期125-129,共5页
本文采用脉冲宽度为 12 0fs,波长为 80 0nm的飞秒激光对蓝宝石样品进行辐照 ,经过激光辐照后材料呈暗黑色 ,在辐照区域的边缘发现有微裂纹 ,个别区域以至于微裂纹扩展成宏观裂纹。通过相关数学模型计算出激光聚焦后能量密度、蓝宝石在... 本文采用脉冲宽度为 12 0fs,波长为 80 0nm的飞秒激光对蓝宝石样品进行辐照 ,经过激光辐照后材料呈暗黑色 ,在辐照区域的边缘发现有微裂纹 ,个别区域以至于微裂纹扩展成宏观裂纹。通过相关数学模型计算出激光聚焦后能量密度、蓝宝石在激光辐照瞬间的热影响范围 (HAZ)及材料所达到的最高温度。发现经飞秒激光辐射引起样品的附加吸收与波长呈指数衰减关系。材料在经过飞秒激光辐射照后出现了大量的红外吸收峰 ,并对其产生原因进行了分析。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 蓝宝石 辐照作用 吸收
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飞秒脉冲激光辐照FRAM诱发的毁伤效应及热演化 被引量:3
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作者 乔相信 成艺光 +1 位作者 唐恩凌 韩雅菲 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期815-825,共11页
空间高能粒子辐照航天器电子器件诱发的毁伤和热演化特征,直接关系到航天器的在轨安全运行和在轨任务的顺利实施。本文利用自行构建的飞秒脉冲激光辐照系统、激光诱发毁伤的数据采集系统、数据读写系统和红外热成像系统,开展了不同激光... 空间高能粒子辐照航天器电子器件诱发的毁伤和热演化特征,直接关系到航天器的在轨安全运行和在轨任务的顺利实施。本文利用自行构建的飞秒脉冲激光辐照系统、激光诱发毁伤的数据采集系统、数据读写系统和红外热成像系统,开展了不同激光输出重复频率、不同作用区域下辐照铁电存储器(FRAM)实验,获取激光辐照于铁电存储器被照面的稳态温度场和铁电存储器的暂态失效和永久失效出现时间,并观测了辐射效应对铁电存储器的毁伤效果,经MATLAB软件处理得到了激光辐照铁电存储器不同区域热演化过程的温度场分布。实验结果表明:在激光输出功率近似相同的飞秒脉冲激光辐照条件下,激光脉冲输出重复频率越低,诱发永久性毁伤出现时刻的时间越长,近似呈非线性增长;随着激光输出重复频率的增大,激光对铁电存储器的作用由激光电离存储器介质产生的高能带电粒子对铁电体自发极化的破坏为主,逐步转变为以热辐射与热应力诱发的毁伤;当激光在器件表面产生的最高温度接近存储器最高工作温度时,永久毁伤的出现时间将显著延长。并通过对回归参数的计算和假设检验,给出了回归参数的置信度1-α为95%的条件下激光辐照区域1与区域2的最高辐射温度与激光输出重复频率的拟合关系式。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 毁伤效应 铁电存储器(FRAM) 温度场分布
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飞秒脉冲激光单粒子效应评估技术的研究现状及发展趋势
7
作者 安恒 李得天 +6 位作者 杨生胜 王鷁 曹洲 文轩 王俊 张晨光 银鸿 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2021年第11期1-11,共11页
总结分析国内外关于飞秒脉冲激光双光子吸收诱发单粒子效应研究的现状和技术发展趋势,分析了双光子吸收、自由载流子吸收和折射等非线性光学现象对双光子吸收诱发产生的载流子密度分布的影响;基于载流子密度分布模型,探讨基于Z扫描确定... 总结分析国内外关于飞秒脉冲激光双光子吸收诱发单粒子效应研究的现状和技术发展趋势,分析了双光子吸收、自由载流子吸收和折射等非线性光学现象对双光子吸收诱发产生的载流子密度分布的影响;基于载流子密度分布模型,探讨基于Z扫描确定器件敏感深度的方法。通过总结飞秒脉冲激光在单粒子效应机理深度研究、空间任务器件筛选、电子设备抗辐射评估等方面的应用需求及前景,为进一步拓展飞秒脉冲激光单粒子效应实验技术在航天装备及卫星电子设备抗辐射性能评估方面提供建议和意见。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 双光子吸收 非线性光学 单粒子效应 辐射评估
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飞秒脉冲激光的倍频实验研究
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作者 张树葵 文国庆 +2 位作者 周丕漳 王清月 彭翰生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1996年第3期448-450,共3页
用互类匹配BBO晶体对近红外波段钛宝石飞秒脉冲激光做倍频实验,取得近30%的转换效率,对飞秒脉冲激光倍频的有关问题进行了分析讨论.
关键词 飞秒脉冲激光 激光倍频
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飞秒脉冲激光作用下金属薄膜的热弹性研究
9
作者 王德飞 齐文宗 李瑞锋 《光学与光电技术》 2009年第1期36-40,共5页
利用双曲-双温两步热传导和热电子崩力模型,考虑到晶格温度与应变速率的耦合效应,得到了用于描述飞秒激光作用下金属薄膜热力效应的超快热弹性模型。以飞秒脉冲激光辐照金属铜薄膜为例,运用具有人工粘性和自适应步长的有限差分算法,对... 利用双曲-双温两步热传导和热电子崩力模型,考虑到晶格温度与应变速率的耦合效应,得到了用于描述飞秒激光作用下金属薄膜热力效应的超快热弹性模型。以飞秒脉冲激光辐照金属铜薄膜为例,运用具有人工粘性和自适应步长的有限差分算法,对不同能量密度和脉冲宽度条件下薄膜体内温度场和应力场的变化规律进行了数值模拟,对比分析了电子晶格耦合系数对超快加热过程的影响。结果表明,飞秒脉冲激光辐照早期为明显的非平衡加热过程,电子温度迅速升高,而晶格温度的升高却相对较慢;激光辐照早期的热力耦合效应导致薄膜前表面附近的热应力表现为压应力,随着时间的推移,热应力由压应力转变为张应力,为激光加工和激光对抗提供了理论参考。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 金属薄膜 热应力 非平衡加热
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飞秒脉冲激光制备的AS2S3光纤光栅的特性
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作者 王淮生 葛东东 《上海电力学院学报》 CAS 2005年第3期283-285,290,共4页
利用在800 nm飞秒脉冲激光照射下光敏As2S3光纤具有的双光子吸收特性制备光纤光栅,光纤光栅的周期由飞秒激光脉冲与As2S3光纤的夹角调制.还分析了光栅结构及其Bragg反射特性.
关键词 飞秒脉冲激光 光纤光栅 Bragg反射
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飞秒脉冲激光绝对距离干涉测量理论分析
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作者 武腾飞 梁志国 +1 位作者 严家骅 张大鹏 《计测技术》 2012年第4期4-8,共5页
采用飞秒激光多脉冲序列传输的干涉理论模型和Edlén大气折射率公式,研究了距离、大气温度、压强、湿度等参数对绝对距离测量精度的影响。理论分析表明,在忽略大气吸收的情况下,随着待测距离的增加,飞秒测距干涉互相关图形不断展宽... 采用飞秒激光多脉冲序列传输的干涉理论模型和Edlén大气折射率公式,研究了距离、大气温度、压强、湿度等参数对绝对距离测量精度的影响。理论分析表明,在忽略大气吸收的情况下,随着待测距离的增加,飞秒测距干涉互相关图形不断展宽并伴有幅度降低的现象。在待测距离一定的条件下,大气温度变化对测距精度的影响最大,压强次之,湿度对精度的影响最小。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 绝对距离 互相关图形
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Ni原子双飞秒脉冲激光诱导击穿光谱的信号增强研究 被引量:3
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作者 伏再喜 张先燚 +4 位作者 李庆 吕良宏 郑贤峰 季学韩 崔执凤 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1061-1066,共6页
在大气环境下来用波长为800 nm,脉宽为30 fs的飞秒激光研究了Ni的双脉冲激光诱导击穿光谱,与单飞秒脉冲激光诱导击穿光谱相比,双飞秒脉冲在最优的双脉冲相对延时下,其信号强度增强接近10倍,实验研究了双脉冲相对延时在0~1300 ps范围内... 在大气环境下来用波长为800 nm,脉宽为30 fs的飞秒激光研究了Ni的双脉冲激光诱导击穿光谱,与单飞秒脉冲激光诱导击穿光谱相比,双飞秒脉冲在最优的双脉冲相对延时下,其信号强度增强接近10倍,实验研究了双脉冲相对延时在0~1300 ps范围内不同延时对激光诱导击穿光谱信号强度增强因子的影响.整个相对延时区域可以分为三个阶段:在0~50 ps区域内信号增强因子是一个持续增大的过程,在50 ps左右,达到一个最大值;在50~300 ps区域内,信号增强因子呈现出一个先下降后上升的过程;在300~1300 ps,信号增强因子基本保持不变. 展开更多
关键词 激光诱导击穿光谱 飞秒脉冲激光 脉冲 信号增强因子 NI
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飞秒脉冲激光辐照下硅表面光致荧光特性(英文) 被引量:2
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作者 朱敏 李晓红 +3 位作者 谢长鑫 常利阳 杨永佳 邱荣 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期151-156,共6页
采用钛宝石飞秒脉冲激光对单晶硅在空气中进行辐照,研究了硅表面在不同扫描速度和能量密度下的光致荧光特性。光致荧光谱(PL)测量表明,在样品没有退火处理的情况下,激光扫描区域观察到橙色荧光峰(603nm)和红色荧光带(680nm附近)。扫描... 采用钛宝石飞秒脉冲激光对单晶硅在空气中进行辐照,研究了硅表面在不同扫描速度和能量密度下的光致荧光特性。光致荧光谱(PL)测量表明,在样品没有退火处理的情况下,激光扫描区域观察到橙色荧光峰(603nm)和红色荧光带(680nm附近)。扫描电子显微镜(SEM)测量显示,在飞秒脉冲激光辐照硅样品的过程中硅表面沉积了大量的纳米颗粒。利用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)检测到了低值氧化物SiOx(x<2)的存在,并且结合能谱仪(EDS)检测结果发现氧元素在光致发光中起着重要作用。研究表明:603nm处橙色荧光峰来自微构造硅表面低值氧化物SiOx,680nm附近红色荧光带来自量子限制效应。同时样品表面硅纳米颗粒的尺寸和氧元素的浓度分别决定了红色荧光带和橙色荧光的强度,通过调节飞秒激光脉冲的扫描速度和能量密度,可以有效地控制样品的荧光强度。 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 单晶硅 微构造 光致荧光特性
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掺镱飞秒脉冲激光激发DAST晶体产生THz谱的可行性研究
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作者 罗从文 赵振宇 +3 位作者 闫爱民 胡志娟 石旺舟 陈之战 《华东师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期88-93,共6页
为了获得与掺镱飞秒脉冲激光匹配的高效太赫兹(THz)发射源,本文根据相位匹配原理,并结合DAST晶体多声子共振吸收,模拟了掺镱飞秒激光脉冲激发DAST晶体后获得的THz频谱.通过与CdTe、GaP等电光晶体比较后发现:当三种晶体厚度都为0.1mm时,D... 为了获得与掺镱飞秒脉冲激光匹配的高效太赫兹(THz)发射源,本文根据相位匹配原理,并结合DAST晶体多声子共振吸收,模拟了掺镱飞秒激光脉冲激发DAST晶体后获得的THz频谱.通过与CdTe、GaP等电光晶体比较后发现:当三种晶体厚度都为0.1mm时,DAST晶体可以获得12 THz带宽的发射频谱,超过CdTe的3.5 THz和GaP的6.4 THz;同时,其最大发射强度超过CdTe和GaP的10倍以上.因此,DAST晶体能够成为与掺镱飞秒激光匹配的高效THz发射源. 展开更多
关键词 太赫兹波 掺镱飞秒脉冲激光 相位匹配 有机光学晶体
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飞秒脉冲激光诱导超快自旋动力学研究进展
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作者 张伟 张晓强 +3 位作者 刘永山 姜芸青 许涌 赵巍胜 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2021年第12期963-971,共9页
当前,由于自旋电子学器件的工作频率越来越高,磁性材料中超快自旋动力学的研究已经成为凝聚态物理领域的一大研究热点。同时,飞秒脉冲激光泵浦磁性材料导致的超快自旋动力学现象蕴含丰富的物理内涵,涉及到电子、声子和自旋在非平衡态下... 当前,由于自旋电子学器件的工作频率越来越高,磁性材料中超快自旋动力学的研究已经成为凝聚态物理领域的一大研究热点。同时,飞秒脉冲激光泵浦磁性材料导致的超快自旋动力学现象蕴含丰富的物理内涵,涉及到电子、声子和自旋在非平衡态下的量子多体相互作用等基本问题,从而开辟了磁学研究的一个新方向——飞秒磁学。基于此,系统综述了飞秒脉冲激光诱导超快自旋动力学的发展历程、实验装置、理论和实验研究的重要进展以及磁光领域的重要应用——全光学磁矩翻转效应。通过系统综述相关研究结果,发现要想更准确、更深入地研究超快自旋动力学的微观机制,还需要建立超越唯象的研究模型,发展更直接的描述方法,从而寻找具有高热稳定性、高自旋极化率、低功耗和高速存储等优点的新材料,以期设计出具有超低能耗、超快响应的新型自旋电子学器件。 展开更多
关键词 磁性材料 自旋动力学 全光学磁矩翻转 磁阻尼 飞秒脉冲激光
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用法布里-珀罗干涉仪分析飞秒脉冲激光辐射 被引量:1
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作者 帕力哈提.米吉提 A.K.迪米特热夫 阿不都热苏力 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期35-37,共3页
根据固体激光飞秒脉冲的锁模技术,本文论证了利用法布里——珀罗干涉仪,测量具有辐射光谱带宽少于倍频程的激光混合频率精梳实验方法。
关键词 飞秒脉冲激光 法布里-珀罗干涉仪 频率精梳
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研究星形胶质细胞的新方法——飞秒脉冲激光刺激
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《光学与光电技术》 2009年第6期72-72,共1页
本刊讯 武汉光电国家实验室生物医学光子学研究团队提出了利用飞秒激光脉冲刺激星形胶质细胞的新型方法。研究人员将800nm近红外飞秒脉冲激光聚焦于星形胶质细胞的细胞膜上,成功地诱导了以被刺激细胞为中心向外依次发生的胞内钙升高,... 本刊讯 武汉光电国家实验室生物医学光子学研究团队提出了利用飞秒激光脉冲刺激星形胶质细胞的新型方法。研究人员将800nm近红外飞秒脉冲激光聚焦于星形胶质细胞的细胞膜上,成功地诱导了以被刺激细胞为中心向外依次发生的胞内钙升高,即钙波。通过对光刺激处细胞膜结构的观察,PI染料的内流和无钙外液的实验证实,飞秒激光脉冲在极短的作用时间(几个毫秒)内,于细胞膜上形成了即时的小孔,并很快得到修复。 展开更多
关键词 星形胶质细胞 激光脉冲 光刺激 细胞膜结构 生物医学光子学 冲激 国家实验室 激光聚焦
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飞秒激光脉冲作用熔石英的超快传热动力学研究
18
作者 余方锐 杜广庆 +3 位作者 Waqas AHMAD 陆宇 杨青 陈烽 《应用光学》 CAS 北大核心 2024年第3期529-536,共8页
飞秒激光具有超短脉冲宽度、超高峰值功率的特点,飞秒激光与物质作用表现出的非线性吸收和低热扩散特性,使其在高精密微纳器件加工中有着重要的应用前景。建立了针对飞秒激光脉冲与熔石英作用的瞬态光电离以及非平衡传热的超快动力学模... 飞秒激光具有超短脉冲宽度、超高峰值功率的特点,飞秒激光与物质作用表现出的非线性吸收和低热扩散特性,使其在高精密微纳器件加工中有着重要的应用前景。建立了针对飞秒激光脉冲与熔石英作用的瞬态光电离以及非平衡传热的超快动力学模型。通过数值求解该模型获得了飞秒激光单脉冲作用熔石英的载流子密度和非平衡电子与声子温度的时空演化;得到了在非平衡态条件下,电声耦合时间随激光能量密度、脉冲宽度的近线性调控规律。进一步研究得到了瞬态电子热导、热容、电声耦合系数的变化规律,并对上述模拟现象进行了分析和探讨。 展开更多
关键词 激光脉冲 瞬态光电离 超快传热 双温模型
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利用啁啾飞秒激光脉冲调控金薄膜中传输表面等离激元的群延迟色散
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作者 宋寒冰 郎鹏 +3 位作者 季博宇 徐洋 宋晓伟 林景全 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期248-257,共10页
准确评估与灵活调控表面等离激元(surface plasmon polaritons,SPP)的传输特性对基于等离激元效应设计的高速-小型化器件具有重要意义.本文从理论上推导了SPP在不同厚度金膜表面传播的群速度色散.当金膜厚度小于40 nm时,随着膜厚度的增... 准确评估与灵活调控表面等离激元(surface plasmon polaritons,SPP)的传输特性对基于等离激元效应设计的高速-小型化器件具有重要意义.本文从理论上推导了SPP在不同厚度金膜表面传播的群速度色散.当金膜厚度小于40 nm时,随着膜厚度的增大,SPP的群速度色散显著减小;金膜厚度为40-60 nm时,SPP的群速度色散下降趋势变缓,并在厚度大于60 nm后保持恒定.利用时域有限差分方法,数值模拟了不同传播距离下SPP的电场时间演化.通过比较不同传输距离下SPP近场强度与入射光色散量的关系确定SPP的群速度色散,并得到接近理论推导的结果,进而提出利用负啁啾脉冲激发SPP来补偿传输中产生的群延迟色散,实现不同传输距离SPP场振幅、脉宽的调控.此外,利用定制的SPP激发金属纳米天线,通过调控入射脉冲色散量与SPP在金膜中传播产生群延迟色散的传播特性相结合的手段,实现在纳米信号接收器中热点位置的fs时间灵活时空相干控制.这对于利用等离激元效应设计和控制微型片上集成系统具有重要意义. 展开更多
关键词 传输表面等离激元 激光脉冲 群速度色散 群延迟色散
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飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术及其应用 被引量:15
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作者 董贤子 陈卫强 +1 位作者 赵震声 段宣明 《科学通报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期1-13,共13页
激光加工技术作为重要的先进制造技术之一已广泛应用于众多的工业制造领域.利用激光直写技术进行材料加工时,其所能达到的加工分辨率一直受到经典光学理论衍射极限的限制,难于进行纳米尺度的加工.飞秒脉冲激光的出现不仅为研究光与物质... 激光加工技术作为重要的先进制造技术之一已广泛应用于众多的工业制造领域.利用激光直写技术进行材料加工时,其所能达到的加工分辨率一直受到经典光学理论衍射极限的限制,难于进行纳米尺度的加工.飞秒脉冲激光的出现不仅为研究光与物质相互作用的超快过程提供了手段,也为发展先进的微纳米加工技术提供了不可多得的光源.近年来,作为最新的激光加工技术之一的飞秒脉冲激光多光子微纳加工技术已成为国际上研究的热点.该技术利用多光子效应和激光与物质作用的阈值效应,成功地实现了纳米尺度的激光直写加工分辨率,可望在功能性微纳器件制备等纳米技术领域发挥重要作用,具有广阔的应用前景.在2001年日本科学家利用飞秒脉冲激光双光子聚合技术首次突破衍射极限获得120nm的加工分辨率后,最近我国科学家实现了15nm线宽的纳米尺度加工分辨率.在利用多光束并行加工技术进行快速、大批量微纳结构加工的同时,最新发展的多光束组合技术实现了多部件组合加工、一次成型,解决了微尺度零部件组装难题,为微纳尺度器件及微机电系统的开发提供了具有实用化前景的加工方法与途径.利用飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术的高精度、良好的空间分辨率和真三维加工能力的特点,各国科学家制备出了各种微尺度光子学器件及微机电系统,充分展示了该技术的应用前景.随着对飞秒脉冲激光与物质相互作用机理、加工技术及相关材料技术的深入研究,飞秒脉冲微纳加工技术必将获得快速发展,并在先进纳米制造领域获得新的突破. 展开更多
关键词 飞秒脉冲激光 双光子吸收 光学衍射极 限纳米加工分辨率 微光学器件 微机电系统
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