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Fabrication of Superhydrophobic Micro Post Array on Aluminum Substrates Using Mask Electrochemical Machining 被引量:4
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作者 Jing Sun Wei Cheng +7 位作者 Jin-Long Song Yao Lu Yan-Kui Sun Liu Huang Xin Liu Zhu-Ji Jin Claire J-Carmalt Ivan P-Parkin 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第4期110-116,共7页
Surfaces with controllable micro structures are significant in fundamental development of superhydrophobicity. However,preparation of superhydrophobic surfaces with array structures on metal substrates is not effectiv... Surfaces with controllable micro structures are significant in fundamental development of superhydrophobicity. However,preparation of superhydrophobic surfaces with array structures on metal substrates is not effective using existing methods. A new method was presented to fabricate super-hydrophobic post arrays on aluminum(Al) substrates using mask electrochemical machining and fluoridation. Electrochemical etching was first applied on Al plates with pre-prepared photoresist arrays to make the post array structures. Surface modification was subsequently applied to reduce the surface energy, followed by interaction with water to realize superhydrophobicity. Simulation and experimental verification were conducted to investigate how machining parameters affect the array structures. Analysis of the water contact angle was implemented to explore the relationship between wettability and micro structures.The results indicate that superhydrophobic surfaces with controllable post structures can be fabricated through this proposed method, producing surfaces with high water static contact angles. 展开更多
关键词 SUPERHYDROPHOBICITY Aluminum substrates Mask electrochemical machining micro post arrays
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An Experimental Study on Electro Chemical Machining of Microelectrode
2
作者 张辽远 刘尧 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2006年第3期206-210,共5页
关键词 微电极 化学加工 ecm 物理化学 纳米技术
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超声辅助/复合多能场加工技术研究综述
3
作者 朱永伟 陈美伶 +2 位作者 韩昇 胡辰 赵建社 《航空制造技术》 北大核心 2025年第1期38-53,共16页
随着科技的飞速进步,难加工材料、异形面零部件得到广泛应用,传统切削技术难以(或不能)解决不断涌现的加工难题。超声、激光、放电及电解加工等特种加工方法可有效解决此类技术难题。单一加工技术各有优点,但均有其局限性,如切削加工高... 随着科技的飞速进步,难加工材料、异形面零部件得到广泛应用,传统切削技术难以(或不能)解决不断涌现的加工难题。超声、激光、放电及电解加工等特种加工方法可有效解决此类技术难题。单一加工技术各有优点,但均有其局限性,如切削加工高硬材料难度大,加工效率及精度差;超声加工只对硬脆性材料效果显著;放电成形及线切割加工总体效率较低且有表面变质层;常规参数电解加工精度不够高且存在环境保护问题。在实践中,将超声效应有效辅助/复合的多能场加工方法具有多技术复合优势。本文针对超声辅助切削、超声辅助激光、超声复合放电、超声复合电解及超声复合机械–电解–放电等多能场加工的机理、技术特点及应用现状进行系统分析与综述。超声辅助切削加工可显著减小切削力、切削热,改善排屑条件,减小(或避免)加工表面缺陷,有效提高加工精度与效率;超声辅助激光加工可有效解决产物排出及表面质量问题;超声复合放电加工可在保证加工精度的同时有效提高加工效率,同时超声的抛磨作用可改善放电加工表面质量;因超声效应可增强和改善电解极间作用效果,提高材料电解去除的非线性,超声复合电解加工在具有较好的加工速度及表面质量的同时,加工精度可得到明显提高;超声复合机械–电解–放电等多能场加工方法的参数相互作用可“存利去弊”,具有多技术复合优势。通过多能场各参数的优化协调,可对不同性能材料与加工要求的难加工零部件实现优化加工。本文对超声辅助/复合多能场加工特点、技术指标及实际应用进行了较系统的归纳与总结,分析其存在问题,探讨有效解决措施,对未来的相关研究工作进行分析与展望。 展开更多
关键词 超声加工 复合电加工 机械–电解–放电 辅助切削 多能场加工
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Electrochemical micromachining of micro-dimple arrays on cylindrical inner surfaces using a dry-film photoresist 被引量:15
4
作者 Qu Ningsong Chen Xiaolei +1 位作者 Li Hansong Zeng Yongbin 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第4期1030-1036,共7页
The application of surface textures has been employed to improve the tribological performance of various mechanical components. Various techniques have been used for the application of surface textures such as micro-d... The application of surface textures has been employed to improve the tribological performance of various mechanical components. Various techniques have been used for the application of surface textures such as micro-dimple arrays, but the fabrication of such arrays on cylindrical inner surfaces remains a challenge. In this study, a dry-film photoresist is used as a mask during through-mask electrochemical micromachining to successfully prepare micro-dimple arrays with dimples 94 lm in diameter and 22.7 lm deep on cylindrical inner surfaces, with a machining time of 9 s and an applied voltage of 8 V. The versatility of this method is demonstrated, as are its potential low cost and high efficiency. It is also shown that for a fixed dimple depth, a smaller dimple diameter can be obtained using a combination of lower current density and longer machining time in a passivating sodium nitrate electrolyte. 展开更多
关键词 Dry-film photoresist electrochemical machining electrochemical micromachining Inner surface micro-dimple arrays Texture
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Machining of circular micro holes by electrochemical micro-machining process 被引量:6
5
作者 Alok Kumar Das P. Saha AlokKumarDas·ParthaSaha 《Advances in Manufacturing》 SCIE CAS 2013年第4期314-319,共6页
Machining of micro holes with micro electro- chemical machining (micro ECM) process has been carried out with an indigenously developed set up. This paper describes relevant problems and solutions for the circular m... Machining of micro holes with micro electro- chemical machining (micro ECM) process has been carried out with an indigenously developed set up. This paper describes relevant problems and solutions for the circular micro holes machining process on 304 stainless steel sheets with 60 μm thickness using high speed steel cylindrical tool of diameter 500 ~tm and using dilute I-I2SO4 as elec- trolyte. The taper angle variation of the machined hole is analyzed and reported for different experimental setting parameters. The minimum value of the taper angle of machined holes is achieved at the parameter setting of 0.4 mol/L H2504, 700 kHz, 600 ns and 21 V, for stainless steel sheets and HSS tool. 展开更多
关键词 micro machining - micro ecmmicro-hole ~ electrochemical dissolution ~Short pulse voltage ~ Pulse power supply
原文传递
微齿轮模具的兆声射流协同辅助掩膜电解加工定域性
6
作者 杜立群 程浩浩 +3 位作者 于明新 王丰来 张策 李董 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期146-156,共11页
在微齿轮模具的掩膜电解加工(TMEMM)中,金属的各向同性刻蚀属性导致了在加工过程中难以避免的侧蚀现象,从而显著降低了加工的定域性和精度。为解决这一问题,提出了一种兆声射流协同辅助掩膜电解加工(MJ-TMEMM)方法。建立了兆声射流协同... 在微齿轮模具的掩膜电解加工(TMEMM)中,金属的各向同性刻蚀属性导致了在加工过程中难以避免的侧蚀现象,从而显著降低了加工的定域性和精度。为解决这一问题,提出了一种兆声射流协同辅助掩膜电解加工(MJ-TMEMM)方法。建立了兆声射流协同辅助掩膜电解加工的仿真模型,对加工中的声-电-流多能场进行了仿真分析。仿真结果表明,兆声射流协同辅助方法显著提高了掩膜电解加工的定域性。基于仿真分析进行了兆声射流协同辅助掩膜电解加工微齿轮模具实验。实验结果表明,兆声射流协同辅助掩膜电解加工相较于传统掩膜电解加工,微齿轮模具的加工定域性提高了95%。最终,在仿真和实验研究的基础上,采用优选后的工艺参数制备了齿数16、模数0.15 mm且符合设计要求的微齿轮模具。与传统掩膜电解加工相比,采用兆声射流协同辅助掩膜电解加工方法制作的微齿轮模具齿顶圆刻蚀因子从1.19提高至2.6,齿根圆刻蚀因子从1.36提高至3.74。 展开更多
关键词 掩膜电解加工(TMEMM) 微齿轮模具 射流 兆声 定域性
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镀铬层表面微坑阵列PDMS掩膜电解加工研究
7
作者 刘金玲 张庆良 +1 位作者 张磊 曲宁松 《电加工与模具》 北大核心 2024年第4期33-39,共7页
以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为掩膜的微细电解加工能高效地加工出群微坑阵列,从而改善表面摩擦学性能,提高零件使用寿命,但因电场边缘效应,得到的微坑阵列尺寸均匀性较差。针对这一现象,采用厚层PDMS模板并利用高压静液进行掩膜电解加工,探... 以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为掩膜的微细电解加工能高效地加工出群微坑阵列,从而改善表面摩擦学性能,提高零件使用寿命,但因电场边缘效应,得到的微坑阵列尺寸均匀性较差。针对这一现象,采用厚层PDMS模板并利用高压静液进行掩膜电解加工,探究工艺参数对铬层表面的微坑阵列尺寸与加工精度的影响,并在耐磨的镀铬层表面进行加工以进一步验证铬层表面摩擦学性能,分析微坑尺寸对镀铬层表面摩擦性能的影响。结果表明,在占空比100%、直流电压30 V、加工时间30 s时,可加工出平均直径和深度分别为106.23μm和15.33μm的微坑阵列,在此基础上探究加工的减磨效果,发现不同直径的微坑阵列均在5μm的深度时达到最佳减磨效果。 展开更多
关键词 掩膜电解加工 镀铬层 微坑阵列
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GH4169镍基高温合金射流电解加工微坑阵列试验研究
8
作者 张亚楠 牛屾 +3 位作者 明平美 王思儒 丁达付 秦歌 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第18期54-59,共6页
表面微坑阵列在机械密封、摩擦磨损、表面润滑、传热散热等方面有巨大作用。为了能在GH4169镍基高温合金上射流电解加工微坑阵列,通过测试合金在不同溶液中的极化曲线,优选了射流电解加工合金的电解液,并在此基础上设计试验,探究了加工... 表面微坑阵列在机械密封、摩擦磨损、表面润滑、传热散热等方面有巨大作用。为了能在GH4169镍基高温合金上射流电解加工微坑阵列,通过测试合金在不同溶液中的极化曲线,优选了射流电解加工合金的电解液,并在此基础上设计试验,探究了加工电压、射流速度对射流电解加工微坑的影响规律,并通过优选工艺参数加工出微坑阵列。最后,以质量分数10%的NaNO_(3)溶液为电解液,以加工电压25 V、射流速度10 m/s加工出平均深径比为0.376、深径比标准偏差为0.004372的加工精度高、一致性好的微坑阵列结构。 展开更多
关键词 射流电解加工 微坑阵列 GH4169镍基高温合金 深径比 电解液
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深小孔电解加工阴极侧壁绝缘层制备及试验
9
作者 钟紫鹏 苏国康 +2 位作者 李俊飞 王瑞祥 张永俊 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2024年第12期102-109,共8页
航空发动机零部件中存在大量深小孔,不仅孔径小、深径比大,而且要求孔表面没有再铸层,这些特点给孔的加工带来了很多困难。电解加工是一种有效的加工方法,针对大深径比小孔电解加工所用的阴极侧壁绝缘层制备困难,且使用过程中容易损坏... 航空发动机零部件中存在大量深小孔,不仅孔径小、深径比大,而且要求孔表面没有再铸层,这些特点给孔的加工带来了很多困难。电解加工是一种有效的加工方法,针对大深径比小孔电解加工所用的阴极侧壁绝缘层制备困难,且使用过程中容易损坏的问题,尝试了多种材料、多种方式的绝缘层制备方法,并对其在加工过程中的性能稳定性进行了试验研究,最终提出了一种基于弹性石英毛细管的新型多层复合绝缘层制备方法,并借助该方法制作管阴极,在不锈钢材料上成功加工出直径1.1 mm、深径比达181的深小孔。 展开更多
关键词 大深径比小孔 电解加工 侧壁绝缘 弹性石英毛细管 不锈钢
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基于多孔喷嘴技术的阵列微织构仿真与实验 被引量:2
10
作者 陈朝大 巫少方 +3 位作者 单亮 李康兴 邹宝健 吴思洋 《制造技术与机床》 北大核心 2024年第4期26-32,共7页
射流电解加工单孔喷嘴系统存在显著不足,不能适用于大规模表面微织构制造,因此提出多孔条形喷嘴加工工艺。利用不受加工结构限制的3D打印技术制作多孔喷嘴模型,搭建射流电解加工实验装置。利用Comsol软件进行流场与电场仿真,以喷嘴到工... 射流电解加工单孔喷嘴系统存在显著不足,不能适用于大规模表面微织构制造,因此提出多孔条形喷嘴加工工艺。利用不受加工结构限制的3D打印技术制作多孔喷嘴模型,搭建射流电解加工实验装置。利用Comsol软件进行流场与电场仿真,以喷嘴到工件表面流速大小和电流密度等为评价依据,对喷嘴腔体内部流道进行优化。研究表明,条形喷嘴结构能够形成形态稳定的射流,对工件实现高效加工。当加工电压为475 V、占空比为70%时,材料去除率达到峰值。 展开更多
关键词 射流电解加工 大规模微制造 多孔条形喷嘴 仿真与实验
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微细电化学加工技术 被引量:42
11
作者 朱荻 王明环 +1 位作者 明平美 张朝阳 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2005年第2期151-155,共5页
开展了微细电化学加工技术的试验研究工作,内容包括微细电铸和微细电解加工.讨论了微细电化学加工的工艺特点和主要技术步骤.针对若干典型微结构,提出了相应的微细电化学加工方法和技术方案,采取了纳秒脉宽脉冲电流、电化学微铣削等手段... 开展了微细电化学加工技术的试验研究工作,内容包括微细电铸和微细电解加工.讨论了微细电化学加工的工艺特点和主要技术步骤.针对若干典型微结构,提出了相应的微细电化学加工方法和技术方案,采取了纳秒脉宽脉冲电流、电化学微铣削等手段,结合若干实例进行了加工试验,例如:微缝电解加工、微轴电解加工、微针尖电解加工及微齿轮模具模芯电铸成型等,获得了很好的试验结果.提出的加工方法在金属零件微制造方面有着重要的应用前景. 展开更多
关键词 加工技术 微细电化学加工 电解加工 加工方法 研究工作 主要技术 工艺特点 技术方案 脉冲电流 加工试验 电铸成型 齿轮模具 金属零件 试验结果 微结构 微制造 铣削
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脉冲电解加工技术在精微加工领域中的新发展 被引量:15
12
作者 王建业 张永俊 +1 位作者 余艳青 黄立勋 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期114-119,共6页
介绍了高频、窄脉冲成形加工技术新的研究成果,考察了国外微细加工技术的新发展状况,结果表明:精密窄脉冲电解加工近年来向提高频率、缩短脉宽方向发展;大电流、高频、窄脉冲电流源加工精密复杂型腔、型面的新工艺及新电源已投入模具、... 介绍了高频、窄脉冲成形加工技术新的研究成果,考察了国外微细加工技术的新发展状况,结果表明:精密窄脉冲电解加工近年来向提高频率、缩短脉宽方向发展;大电流、高频、窄脉冲电流源加工精密复杂型腔、型面的新工艺及新电源已投入模具、叶片的试生产中,显示出良好的技术经济效果,成形精度可达0.05mm;近期国外又发展了数百兆赫、数百纳秒级微小电流加工数十微米级零件的微细加工技术,开拓了电解加工用于微细加工的新领域,显示了脉冲电解加工巨大的发展潜势。试验研究表明,随着频率的提高、脉宽的变窄,引起阳极集中蚀除能力进一步加强,加工间隙进一步缩小,最终导致加工精度相应提高。所研制的1000A、20kHz矩形波电流源的脉冲前沿上升时间达微秒级,快速短路保护时间仅为数十微秒级。 展开更多
关键词 电解加工 高频 窄脉冲电流 精密加工 微细加工
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基于电化学加工方法的铝基超疏水表面制备技术研究 被引量:7
13
作者 徐文骥 窦庆乐 +2 位作者 孙晶 宋金龙 庞桂兵 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第19期2354-2359,共6页
鉴于金属铝表面存在微米级的晶界和纳米级的位错,在外加电场和电解液的作用下,晶界位错处因具有更高的位能会使得阳极优先溶解,进而形成微纳米结构相结合的粗糙表面,提出一种新的铝基超疏水表面的电化学制备方法,实验研究了其加工质量... 鉴于金属铝表面存在微米级的晶界和纳米级的位错,在外加电场和电解液的作用下,晶界位错处因具有更高的位能会使得阳极优先溶解,进而形成微纳米结构相结合的粗糙表面,提出一种新的铝基超疏水表面的电化学制备方法,实验研究了其加工质量、加工效率和加工条件之间的关系,结果显示电化学加工方法能够在铝基底上制备出多阶层微/纳米结构,可用作超疏水表面基底。电化学加工比化学刻蚀法有更好的可控性,同时比光刻等方法更经济。所加工表面经过低表面能材料修饰后呈现超疏水的特性,与水滴的接触角达到167°,滚动角小于3°。 展开更多
关键词 电化学加工 超疏水表面 微/纳米结构 晶界 位错
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微螺旋电极在改善微细电解加工性能中的应用 被引量:24
14
作者 王明环 朱荻 徐惠宇 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2006年第3期348-351,共4页
改善电解加工的精度和稳定性是微细电解加工中一个重要的研究课题。本文详细分析了影响电解加工性能的因素,电解液采用混合电解液(NaC lO3+H2SO4),工具电极为带有螺旋槽的微螺旋电极。在微螺旋槽旋转所形成的“微螺杆泵”效应作用下,蚀... 改善电解加工的精度和稳定性是微细电解加工中一个重要的研究课题。本文详细分析了影响电解加工性能的因素,电解液采用混合电解液(NaC lO3+H2SO4),工具电极为带有螺旋槽的微螺旋电极。在微螺旋槽旋转所形成的“微螺杆泵”效应作用下,蚀除加工间隙内的产物,加工效率、加工精度和稳定性得到了极大的提高。 展开更多
关键词 微细电解加工 微螺杆泵 加工精度 加工电极
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振动进给对微尺度群缝电解加工过程的影响 被引量:5
15
作者 赵建社 李龙 +1 位作者 王峰 肖雄 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期44-48,78,共6页
为精确控制振动进给运动,研制了多参数可调的电解加工振动进给装置系统。通过对工具阴极振动进给方式对电解加工间隙内电解产物排出、电解液流场稳定性影响的分析,以剃须刀网罩上的微尺度阵列群缝的电解加工为研究对象开展了系列工艺试... 为精确控制振动进给运动,研制了多参数可调的电解加工振动进给装置系统。通过对工具阴极振动进给方式对电解加工间隙内电解产物排出、电解液流场稳定性影响的分析,以剃须刀网罩上的微尺度阵列群缝的电解加工为研究对象开展了系列工艺试验,研究了振动进给的运动参数对微尺度群缝的平均缝宽、侧壁锥度的影响,据此优选了工艺参数,并成功批量加工出了缝宽为0.26mm、侧壁锥度小于5%的微尺度阵列群缝。试验结果证明,振动进给能够有效提高微尺度群缝的电解加工精度和加工过程稳定性。 展开更多
关键词 电解加工 振动进给 群缝 微尺度 加工精度
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阳极振动辅助微细电解线切割技术 被引量:6
16
作者 于洽 曾永彬 +2 位作者 张海 朱荻 曲宁松 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第23期178-183,共6页
在微细电解线切割加工过程中,工具线电极与工件之间的加工间隙在微米量级,因此,电解加工产物的及时输运是微细电解线切割加工中极为关键的问题。提出在线电极进行轴向往复运动的同时叠加阳极低频微幅振动的方法,促进加工间隙内产物排出... 在微细电解线切割加工过程中,工具线电极与工件之间的加工间隙在微米量级,因此,电解加工产物的及时输运是微细电解线切割加工中极为关键的问题。提出在线电极进行轴向往复运动的同时叠加阳极低频微幅振动的方法,促进加工间隙内产物排出,提高加工精度与加工稳定性。探讨加工间隙内电解产物影响微细电解线切割加工精度的机理,研究线电极往复运动条件下阳极振动对加工间隙内产物排出效率的影响。试验结果表明提高阳极的振动频率和振动幅值可以改善微细电解线切割的加工精度和加工稳定性;阳极叠加振动较阳极无振动的切缝更宽、更均匀。采用优化参数加工出宽度4.28μm的微缝、微槽以及方螺旋结构。 展开更多
关键词 微细电解 线切割 振动 微结构
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纳秒脉冲微细电化学加工的理论及试验 被引量:24
17
作者 张朝阳 朱荻 王明环 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期208-213,共6页
根据电化学反应原理,探讨纳秒脉冲电化学加工的特点及其实现微细加工的机理。建立纳秒脉冲微细电化学加工的理论模型,并分析电解液浓度、加工间隙、脉冲参数和加工电压等因素对微细电解加工的影响作用。构建微细电化学加工系统,包括微... 根据电化学反应原理,探讨纳秒脉冲电化学加工的特点及其实现微细加工的机理。建立纳秒脉冲微细电化学加工的理论模型,并分析电解液浓度、加工间隙、脉冲参数和加工电压等因素对微细电解加工的影响作用。构建微细电化学加工系统,包括微细加工机床、纳秒脉冲电源、电解液循环系统、运动控制部分和加工检测部分。试验研究了超短脉冲的电压幅值和脉冲宽度对侧面加工间隙的影响,结果表明减小脉冲宽度和降低加工电压可以提高微细电解加工的精度。在自制的微细电化学机床上,实现工具电极和工件微结构的连续加工。将加工间隙控制在5μm以内,加工出中间有20μm×30μm×30μm棱台的微型腔和30μm槽宽的十字形孔,分析加工起始点对成形精度的影响,并提出解决方法。试验证明纳秒脉冲微细电解加工可以很好地满足微机电系统(Micro e1ectro-mechanical system,MEMS)微器件的加工要求。 展开更多
关键词 微细电化学加工 纳秒脉冲 极间间隙 加工精度
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超声电解复合微细加工装置与试验研究 被引量:14
18
作者 朱永伟 王占和 云乃彰 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2008年第8期986-991,共6页
分析微细电解复合超声频振动加工过程机理,提出一种微细加工新方法--超声电解复合微细加工;设计、构造并完善复合微细加工装置;研究微细阴极制作工艺,利用微细组合电加工技术制作各类截面形状的微细阴极;进行超声电解复合微细加工试验,... 分析微细电解复合超声频振动加工过程机理,提出一种微细加工新方法--超声电解复合微细加工;设计、构造并完善复合微细加工装置;研究微细阴极制作工艺,利用微细组合电加工技术制作各类截面形状的微细阴极;进行超声电解复合微细加工试验,验证微细电解复合超声频振动实现微细加工的可行性及其在加工速度、精度、表面质量等方面的技术优势,探讨超声电解复合微细加工制作微结构的工艺规律。 展开更多
关键词 电解加工 超声振动 复合微细加工 微细加工系统
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电化学腐蚀法加工微圆柱体 被引量:12
19
作者 王明环 朱荻 张朝阳 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期128-132,共5页
基于电化学腐蚀原理加工微机械加工中使用的微圆柱体,对微细圆柱体成形的机理进行详细的分析。通过对腐蚀过程进行理论建模,利用对电压和腐蚀时间的控制来决定腐蚀后微圆柱体成形的形状以及圆柱体直径尺寸大小。同时,对影响微圆柱体成... 基于电化学腐蚀原理加工微机械加工中使用的微圆柱体,对微细圆柱体成形的机理进行详细的分析。通过对腐蚀过程进行理论建模,利用对电压和腐蚀时间的控制来决定腐蚀后微圆柱体成形的形状以及圆柱体直径尺寸大小。同时,对影响微圆柱体成形的试验参数进行详细的分析,如对电压的控制、电流的变化、电解液浓度的影响、腐蚀时间决定的微圆柱体直径大小等,最后得出微圆柱体成形的规律。理论模型计算结果与试验结果进行比较,证明了理论建模的正确性。利用此种方法试验加工出总长1 180μm,前端较细处长300 μm,直径6μm的钨微细圆柱体结构,长径比达到50:1,并可以在微细加工作为工具电极使用。 展开更多
关键词 电化学 蚀微圆柱体 微细加工
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UV-LIGA制作超高微细阵列电极技术 被引量:12
20
作者 胡洋洋 朱荻 +3 位作者 李寒松 曲宁松 曾永彬 明平美 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期670-676,共7页
采用UV-LIGA技术制作了超高金属微细阵列电极,并利用电解置桩的方法辅助去除SU-8胶。通过单次涂胶和提高前烘温度、降低后烘温度的方法制作了厚度达1mm的SU-8胶结构;采取反接电极法在金属基底上电解得到微坑,增强电铸金属电极与金属基... 采用UV-LIGA技术制作了超高金属微细阵列电极,并利用电解置桩的方法辅助去除SU-8胶。通过单次涂胶和提高前烘温度、降低后烘温度的方法制作了厚度达1mm的SU-8胶结构;采取反接电极法在金属基底上电解得到微坑,增强电铸金属电极与金属基底的结合力,保证去胶后电铸金属的完整性。选取优化的工艺参数:单次注射式涂胶,前烘110℃/12h,适量曝光剂量,分步后烘50℃/5min、70℃/10min、90℃/30min,反接电极电解10V/15min等,获得了高900μm、线宽300μm的金属微细阵列电极结构。试验表明,UV-LIGA技术是一种高效、经济的制造超高微细阵列电极的有效手段。 展开更多
关键词 UV-LIGA SU-8胶 电解 去胶 微细阵列电极
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