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Laboratory evaluation of a low-cost micro electro-mechanical systems sensor for inclination and acceleration monitoring
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作者 Antonis Paganis Vassiliki NGeorgiannou +1 位作者 Xenofon Lignos Reina El Dahr 《Deep Underground Science and Engineering》 2025年第1期46-54,共9页
In this study,the design and development of a sensor made of low-cost parts to monitor inclination and acceleration are presented.Αmicro electro-mechanical systems,micro electro mechanical systems,sensor was housed i... In this study,the design and development of a sensor made of low-cost parts to monitor inclination and acceleration are presented.Αmicro electro-mechanical systems,micro electro mechanical systems,sensor was housed in a robust enclosure and interfaced with a Raspberry Pi microcomputer with Internet connectivity into a proposed tilt and acceleration monitoring node.Online capabilities accessible by mobile phone such as real-time graph,early warning notification,and database logging were implemented using Python programming.The sensor response was calibrated for inherent bias and errors,and then tested thoroughly in the laboratory under static and dynamic loading conditions beside high-quality transducers.Satisfactory accuracy was achieved in real time using the Complementary Filter method,and it was further improved in LabVIEW using Kalman Filters with parameter tuning.A sensor interface with LabVIEW and a 600 MHz CPU microcontroller allowed real-time implementation of highspeed embedded filters,further optimizing sensor results.Kalman and embedded filtering results show agreement for the sensor,followed closely by the lowcomplexity complementary filter applied in real time.The sensor's dynamic response was also verified by shaking table tests,simulating past recorded seismic excitations or artificial vibrations,indicating negligible effect of external acceleration on measured tilt;sensor measurements were benchmarked using highquality tilt and acceleration measuring transducers.A preliminary field evaluation shows robustness of the sensor to harsh weather conditions. 展开更多
关键词 field monitoring Kalman filter laboratory evaluation micro electro mechanical systems(mems) monitoring node shaking table
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MEMS悬空结构上纳米材料的EHD打印工艺优化研究
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作者 林鑫烨 刘亚东 +3 位作者 姚冠宇 吴昊 唐祯安 余隽 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第1期14-19,共6页
电流体动力学(EHD)打印具有非接触、精度高和材料选择灵活等优点,可应用于MEMS悬空结构上沉积各种纳米材料从而实现传感器微型化。以悬空微热板上打印气敏薄膜为研究对象,采用高速摄像机对EHD打印进行实验观测,结合有限元仿真进行墨水... 电流体动力学(EHD)打印具有非接触、精度高和材料选择灵活等优点,可应用于MEMS悬空结构上沉积各种纳米材料从而实现传感器微型化。以悬空微热板上打印气敏薄膜为研究对象,采用高速摄像机对EHD打印进行实验观测,结合有限元仿真进行墨水受力分析,研究了微滴和锥射流2种稳定的EHD打印模式的形成过程,通过将悬空的MEMS桥式结构纳入EHD打印仿真模型中,分析了MEMS悬空结构对EHD打印效果的影响。根据研究结果优化打印工艺参数,实现了SnO 2纳米气敏材料在微热板阵列上的批量化EHD打印,打印稳定性好,纳米材料分布均匀。 展开更多
关键词 电流体动力学打印 纳米材料 微机电系统 悬空结构 有限元仿真
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MEMS电热驱动器多场耦合模型及温度特性
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作者 谢海鹏 曹云 +3 位作者 孔啸宇 朱恒伯 陈旺生 席占稳 《哈尔滨工业大学学报》 北大核心 2025年第4期142-150,共9页
为研究微小尺度下MEMS电热驱动器的温度特性,考虑空气对驱动器动态热平衡的影响,提出了一种基于空气对流传热的电-热-流-固多场耦合模型。根据能量守恒方程以及气体对流换热和热传导等理论,建立MEMS电热驱动器的电-热-流-固多场耦合模型... 为研究微小尺度下MEMS电热驱动器的温度特性,考虑空气对驱动器动态热平衡的影响,提出了一种基于空气对流传热的电-热-流-固多场耦合模型。根据能量守恒方程以及气体对流换热和热传导等理论,建立MEMS电热驱动器的电-热-流-固多场耦合模型,并进行了有限元仿真。搭建MEMS电热驱动器温度特性试验平台,将恒定电压激励下的驱动器温度响应试验结果与电-热-流-固多场耦合模型以及传统传热模型仿真结果进行对比分析,结果表明:相较于基于恒定对流换热系数及经验公式的模型,采用电-热-流-固多场耦合模型得到的结果准确性更高,稳态温度分布误差在0.8%~7.6%之间;驱动器各表面的对流换热系数分布不均匀;对流换热系数在上表面、下表面及竖直壁面分别呈现先下降后上升、上升以及先上升后下降的趋势,但在3个特征面上对流换热系数几乎同时达到稳态,此时驱动器温度也达到稳态。基于空气对流换热不均匀特性,所获得的电热驱动器温度特性为MEMS电热驱动器在微机电系统中的应用奠定了基础。 展开更多
关键词 电热驱动器 温度特性 对流换热 电-热-流-固 微机电系统(mems)
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MEMS传感器异质材料键合界面的可靠性分析
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作者 袁婷 许高斌 +2 位作者 关存贺 马渊明 冯建国 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第4期469-474,共6页
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)传感器的制备会涉及多种材料的键合,键合过程中不同材料之间由于热膨胀系数不同而产生各种内部应力,当应力大于键合强度时,材料分层从而导致器件失效。为了明确异质材料间微观应力对... 微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)传感器的制备会涉及多种材料的键合,键合过程中不同材料之间由于热膨胀系数不同而产生各种内部应力,当应力大于键合强度时,材料分层从而导致器件失效。为了明确异质材料间微观应力对器件可靠性的影响,文章考虑材料的热膨胀系数和温度影响下的杨氏模量,利用COMSOL仿真获得的应力数据建立异质材料间的键合界面应力在不同温度、热膨胀系数和杨氏模量3种因素共同影响下的理论数学模型;并针对MEMS传感器中的硅-玻璃键合界面,基于相关键合强度数据,结合蒙特卡洛方法和应力强度干涉模型计算得到异质材料键合界面的可靠度。结果显示,异质材料键合界面的可靠度为0.992108,表明在服从韦布尔分布下的温度产生的应力不足以引起材料失效,此时器件的稳定性和可靠性较高,验证了所建模型的正确性和实用性,实现了对MEMS传感器退化行为的建模及预测。 展开更多
关键词 微机电系统(mems)传感器 异质材料 键合界面 热应力 可靠性
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基于MEMS微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器
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作者 解涛 袁宇鹏 李小飞 《微纳电子技术》 2025年第3期74-81,共8页
随着气体探测技术的不断进步,对气体传感器提出了高精度、小型化、高可靠性、易批量生产等要求。研制了基于微机电系统(MEMS)微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器,利用MEMS加工技术实现了微型气室、红外光源、探测器等关键部件的... 随着气体探测技术的不断进步,对气体传感器提出了高精度、小型化、高可靠性、易批量生产等要求。研制了基于微机电系统(MEMS)微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器,利用MEMS加工技术实现了微型气室、红外光源、探测器等关键部件的制备。该传感器的性能测试结果表明其具有高分辨率、良好的重复性与一致性,对体积分数低于10%的二氧化碳气体具有优良响应。此外,基于MEMS微型气室的集成式红外型二氧化碳气体传感器既具有较强的抗干扰特性,对环境的适应性较强,又具备MEMS传感器体积小、易批量生产的优势。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 集成式 红外型 二氧化碳气体传感器
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MEMS电容薄膜真空计微电容检测系统的设计 被引量:1
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作者 高青松 郭朝帽 +3 位作者 陶院 杨雷 马动涛 张虎忠 《真空与低温》 2024年第6期603-609,共7页
为了满足空间环境探测对真空测量仪器准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,基于微机电系统(MEMS)的小型化电容薄膜真空计应运而生。针对MEMS电容薄膜真空计微小电容测量需求,设计了一种基于CDC电容数字转换器的微电容检测系统,... 为了满足空间环境探测对真空测量仪器准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,基于微机电系统(MEMS)的小型化电容薄膜真空计应运而生。针对MEMS电容薄膜真空计微小电容测量需求,设计了一种基于CDC电容数字转换器的微电容检测系统,获得了fF级微电容检测分辨率。采用温度漂移误差自校准技术,解决了测量压力受温度扰动影响的问题。地面样机测试与验证表明,该检测系统具有宽量程、高分辨率和低功耗检测的优点,为MEMS电容薄膜真空计实现空间应用奠定了技术基础。 展开更多
关键词 mems 电容薄膜 真空计 微弱电容 电子测量
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基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法
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作者 齐兵 程建华 +1 位作者 赵砚驰 汪籽粒 《系统工程与电子技术》 EI CSCD 北大核心 2024年第7期2437-2445,共9页
针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构... 针对传统的电容式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计(capacitive MEMS accelerometers,CMA)温漂误差(temperature drift error,TDE)补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构建过程复杂繁琐的问题,提出基于微形变分析的CMA TDE精密补偿方法。首先,通过微形变分析内部结构精准溯源TDE,基于径向基函数神经网络(radial basis function neural network,RBFNN)构建改进型TDE精密估计模型;其次,基于专家经验和模糊理论提出Expert-Fuzzy辅助决策下TDE估计模型辨识方法,为改进模型提供有效的构型指导;然后,设计升温试验测试CMA,构建传统模型和改进模型并通过对比其输出偏置稳定性评估TDE估计性能。实验结果表明,改进模型构建过程大大简化,补偿后CMA偏置稳定性提升约35%。本方法能够更加精准地估计TDE,有效解耦硅基材料的温度依赖性并提升CMA的环境适应性。 展开更多
关键词 微机电系统 温漂误差估计 微形变分析 Expert-Fuzzy辅助决策 径向基函数神经网络
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基于改进LSTM网络的无人机MEMS-IMU零偏在线标定方法
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作者 程向红 吴昕怡 +1 位作者 刘丰宇 钟志伟 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第3期213-218,共6页
针对在卫星信号拒止、视觉系统退化场景中无人机MEMS-IMU零偏无法准确估计并补偿导致导航误差迅速发散的问题,提出一种基于改进长短时记忆(LSTM)网络的零偏在线标定方法。首先,为解决MEMS-IMU零偏数据非线性强、传统循环时间网络训练效... 针对在卫星信号拒止、视觉系统退化场景中无人机MEMS-IMU零偏无法准确估计并补偿导致导航误差迅速发散的问题,提出一种基于改进长短时记忆(LSTM)网络的零偏在线标定方法。首先,为解决MEMS-IMU零偏数据非线性强、传统循环时间网络训练效果差的问题,设计序列到序列的LSTM神经网络结构,引入教师强迫机制,提高了网络特征学习能力。然后,在导航过程中使用训练后的网络对MEMS-IMU零偏在线标定,补偿后的IMU量测与视觉信息联合优化,保证了导航定位精度。实验结果表明,在纯惯性导航实验中,所提方法的绝对位置误差比传统LSTM方法减小了6.5%;在EUROC数据集下进行的视觉惯性组合导航实验中,所提方法的平均绝对位置误差比传统LSTM方法减小了15%。 展开更多
关键词 无人机导航定位 微惯性测量单元 在线标定 长短时记忆神经网络
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高频压电MEMS微镜设计与仿真
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作者 张浩 汪洋 武震宇 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期76-80,共5页
阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方... 阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备,减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力,降低微镜应力断裂风险,提高了微镜的可靠性,采用六边形密排的方式可以实现大于90%的占空比。所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3种工作自由度,工作频率达到了23 000 Hz以上,共振偏转角度可以达到6.5°。对比传统的微镜阵列设计,本文设计提高了空间利用率和致动效率。 展开更多
关键词 微机电系统 压电驱动 微镜阵列 高频
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面向MEMS质谱仪离子源的场发射针尖阵列研制及性能
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作者 吴章旭 程玉鹏 +5 位作者 李山 朱五林 沈琛 胡郑蕊 徐椿景 陈池来 《微纳电子技术》 CAS 2024年第9期100-107,共8页
针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求,同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势,研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm^(2)的针尖密度,并在4和... 针对微电子机械系统(MEMS)质谱仪应用中对高工作气压和高电子电流的需求,同时保持MEMS技术在体积和质量上的优势,研制了一种用于MEMS质谱仪离子源的基于场发射原理的针尖阵列。通过MEMS加工技术实现了最大44个/mm^(2)的针尖密度,并在4和6英寸(1英寸=2.54 cm)的硅基晶圆上完成平行批量制造。实验结果显示,1600个针尖组成的阵列在3.4×10^(-3)Pa气压下最大发射电流达到1.28 mA,在23.71 Pa的气压下达到92.93μA,同时单片集成结构使其具备与永磁体结合的放电增强能力,磁场下针尖阵列的最大放电电流提升175.79%。初步的测试结果证实了场发射针尖阵列作为离子源在MEMS质谱仪中的应用潜力。 展开更多
关键词 质谱仪 微电子机械系统(mems) 针尖阵列 离子源 场发射 电子发射
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一种基于压电驱动的扭转式MEMS电场传感器设计与仿真优化
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作者 刘阳 饶宇飞 +6 位作者 李海峰 王誉铮 魏诗超 马斌 杨庆 柯锟 廖伟 《科学技术与工程》 北大核心 2024年第28期12211-12219,共9页
电力传感技术是实现新型电力系统数字化转型的关键,其中电场参量是重要的监测对象之一。提出一种基于压电驱动的扭转式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)电场传感器。该微机电系统电场传感器的通过驱动结构带动屏蔽电... 电力传感技术是实现新型电力系统数字化转型的关键,其中电场参量是重要的监测对象之一。提出一种基于压电驱动的扭转式微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)电场传感器。该微机电系统电场传感器的通过驱动结构带动屏蔽电极在感应电极表面周期性振动实现电场的调制测量。其压电驱动结构为4个对称分布的L型压电悬臂梁,屏蔽电极和感应电极为两对交错耦合的梳齿电极构成。接着通过COMSOL仿真软件建立了结构的固体力学-静电耦合模型,计算了敏感结构的谐振频率和振动幅值。结果显示:结构的工作模态下的谐振频率可达到25047 Hz,在3 V的交流驱动电压下屏蔽电极末端位移为85.06μm。进一步通过参数扫描方式对敏感结构的关键参数进行仿真分析。优化了梳齿电极的长度、宽度、间距、个数等参数以及感应电极长度、感应电极宽度、梳齿电极的个数和感应电极间距。最后完成了传感器的测试。测试结果表明:该传感器的灵敏度为3.24 mV/(kV/m),测量误差最大仅为3.75%。 展开更多
关键词 微机电系统(mems) 电场传感器 压电驱动 COMSOL
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Code mechanical solidification and verification in MEMS security devices
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作者 张卫平 陈文元 +2 位作者 赵小林 李胜勇 姜勇 《Journal of Shanghai University(English Edition)》 CAS 2006年第4期334-338,共5页
The virtual machine of code mechanism (VMCM) as a new concept for code mechanical solidification and verification is proposed and can be applied in MEMS (micro-electromechanical systems) security device for high c... The virtual machine of code mechanism (VMCM) as a new concept for code mechanical solidification and verification is proposed and can be applied in MEMS (micro-electromechanical systems) security device for high consequence systems. Based on a study of the running condition of physical code mechanism, VMCM's configuration, ternary encoding method, running action and logic are derived. The cases of multi-level code mechanism are designed and verified with the VMCM method, showing that the presented method is effective. 展开更多
关键词 mems micro-electromechanical systems security device code mechanical solidification and verification virtual machine of code mechanism (VMCM) ternary system.
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Absorption Line Profile Recovery Based on TDLS and MEMS Micro-Mirror for Photoacoustic Gas Sensing
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作者 LI Li Norhana Arsad +3 位作者 George Stewart Deepak Uttamchandani Brian Culshaw WANG Yi-ding 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1814-1818,共5页
A novel and efficient absorption line recovery technique is presented.A micro-electromechanical systems(MEMS) mirror driven by an electrothermal actuator is used to generate laser intensity modulation through the mirr... A novel and efficient absorption line recovery technique is presented.A micro-electromechanical systems(MEMS) mirror driven by an electrothermal actuator is used to generate laser intensity modulation through the mirror reflection.Tunable diode laser spectroscopy(TDLS) and photoacoustic spectroscopy(PAS) are used to recover the target absorption line profile which is compared with the theoretical Voigt profile.The target gas is 0.01% acetylene(C2H2) in a nitrogen host gas.The laser diode wavelength is swept across the P17 absorption line of acetylene at 1 535.4 nm by a current ramp,and an erbium-doped fibre amplifier(EDFA) is used to enhance the optical intensity and increase the signal-to-noise ratio(SNR).A SNR of about 35 is obtained with 100 mW laser power from the EDFA.Good agreement is achieved between the experimental results and the theoretical simulation for the P17 absorption line profile. 展开更多
关键词 micro-electro-mechanical-systems(mems) Laser intensity modulation Absorption line profile recovery Tunable diode laser spectroscopy Photo-acoustic gas sensing
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集成差分电容式MEMS微型电场传感器设计与研制
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作者 黄国平 陈锦荣 +1 位作者 王跃强 廖峰 《电子器件》 CAS 2024年第1期79-83,共5页
在继电保护实际运行中,屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效,严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性,设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设... 在继电保护实际运行中,屏柜内部一些隐性故障将造成压板投退失效,严重威胁着电网的安全可靠运行。为了能够可靠、有效地监测出口压板的带电状态或电气导通性,设计了一种SOI差分电容式MEMS电场传感器。所设计的传感器以微机械元件物理设计为基础,构造出可靠的运行结构,并且依靠一个低噪声、高动态范围的接口IC来完成操作。所设计的接口集成电路在应对脉冲式的间歇性操作的同时,组织互补设备阵列以感应各种不同的测量信号。通过COMSOL Multiphysics仿真实验可以看出,所设计的传感器能够很好地满足压板状态监测的需求。 展开更多
关键词 继电保护 电场传感器 mems 硬压板
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基于MEMS电场传感器的电压反演方法研究
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作者 崔凤庆 栗晓政 +4 位作者 樊彦国 梁纲 宋晓燕 廖伟 杨庆 《电气自动化》 2024年第5期72-75,共4页
针对电场逆问题的电压反演方法涉及复杂的矩阵逆运算问题,提出了一种基于微机电系统电场传感器的电压反演测量方法。首先介绍电场积分法反演电压原理,其次建立仿真模型获取空间电场分布规律;然后利用电场积分法进行计算分析;最后通过模... 针对电场逆问题的电压反演方法涉及复杂的矩阵逆运算问题,提出了一种基于微机电系统电场传感器的电压反演测量方法。首先介绍电场积分法反演电压原理,其次建立仿真模型获取空间电场分布规律;然后利用电场积分法进行计算分析;最后通过模拟架空线路测试平台对电场积分法进行验证。结果表明:仿真显示比例系数k=0.9时,3点高斯-切比雪夫积分法可实现三相电压的准确反演,最大误差为2.55%;k=0.7时,测试得到的反演电压幅值误差为5.75%。通过仿真与试验结果验证了所提反演方法的有效性,其研究结果可为架空线路非侵入电压反演测量提供理论方法指导。 展开更多
关键词 微机电系统电场传感器 电场积分法 高斯-切比雪夫算法 电压反演 架空线路
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双向高过载硅基差压敏感元件的研制
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作者 杜立群 李奥奇 +3 位作者 李蒙 杨晓臣 孟祥悦 邱汇烽 《光学精密工程》 北大核心 2025年第2期209-219,共11页
为了提高差压传感器的双向过载能力,本文设计了一种梁-群岛错位膜结构差压敏感元件。该敏感元件由梁-群岛硅膜结构和玻璃基底键合而成。其中,梁结构降低了应力集中,群岛结构提高了结构刚度;玻璃基底键合面设计有方形凹槽和圆形通孔,硅... 为了提高差压传感器的双向过载能力,本文设计了一种梁-群岛错位膜结构差压敏感元件。该敏感元件由梁-群岛硅膜结构和玻璃基底键合而成。其中,梁结构降低了应力集中,群岛结构提高了结构刚度;玻璃基底键合面设计有方形凹槽和圆形通孔,硅膜结构和玻璃基底的方形凹槽形成的错位结构进一步降低了最大应力。首先,通过有限元软件分析了双向高过载硅基差压敏感元件的应力分布、敏感元件的满量程输出及最大应力。其次,分析了结构尺寸与爆破压力的关系,采用尺寸优化求解出最大爆破压力下的结构尺寸。最后,通过MEMS硅工艺制作了具有双向高过载的硅基差压敏感元件。压力测试结果表明:制得的双向高过载硅基差压敏感元件的爆破压力为8.5倍量程,与传统C型膜结构差压敏感元件(爆破压力6.5倍量程)相比,过载能力提高了30.7%。实验结果证明梁-群岛错位膜结构可以有效提高差压敏感元件的双向过载能力。 展开更多
关键词 mems 差压敏感元件 有限元 尺寸优化 过载能力
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基于 MEMS 技术的智能传感器系统(“智能灰尘”) 被引量:5
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作者 张紫辰 董恺琛 +3 位作者 张益源 王建中 赵嘉昊 尤政 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2095-2109,共15页
基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本... 基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本文首先明确智能灰尘的基本概念及应用领域;随后介绍智能灰尘集成系统的设计方法和结构组成;通过综述智能灰尘技术的发展历程与趋势,以及国内外相关技术的发展现状,最后总结智能灰尘系统关键的技术难点与重点,并明确今后MEMS工艺及集成技术突破的可行性方案. 展开更多
关键词 mems (micro ELECTRO mechanical systems) 智能灰尘 无线通信 复合能源
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MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准 被引量:8
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作者 吴俊杰 李源 +2 位作者 李东升 卢歆 何明轩 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3087-3094,共8页
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动... 由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。 展开更多
关键词 微触觉测头 微电容传感器 微机电系统 校准装置 纳米测量机
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三轴数字MEMS加速度计现场标定方法 被引量:28
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作者 彭孝东 张铁民 +1 位作者 李继宇 闫国琦 《振动.测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期544-548,595,共5页
微机电系统(micro electro mechanical systems,简称MEMS)加速度传感器作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测中有着广泛应用。根据三轴数字加速度传感器的输出数学模型,详细推导了如何计算数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值... 微机电系统(micro electro mechanical systems,简称MEMS)加速度传感器作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测中有着广泛应用。根据三轴数字加速度传感器的输出数学模型,详细推导了如何计算数学模型中标度因数、安装误差系数以及零偏值。提出一种基于长方体的六位置简单标定方法,对比三轴转台精确标定结果表明六位置简单标定法简单易行,精度较高,易于单片机实现,适合不具备三轴转台的场所,且该方法对MEMS三轴数字加速度计的校准具有很好的通用性。 展开更多
关键词 微机电系统 加速度计传感器 标定 转台
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适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器 被引量:34
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作者 伞海生 宋子军 +2 位作者 王翔 赵燕立 余煜玺 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期550-555,共6页
为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介... 为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介绍了此种压力传感器的工作原理,使用ANSYS软件并结合有限元方法模拟了压敏薄膜在压力作用下的应力分布情况。最后,利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为1.5mm×1.5mm×500μm的压阻式压力传感器。用压力检测平台对该压力传感器进行了测试,结果表明,在25~125℃,其线性度小于2.73%,灵敏度约为20mV/V-MPa,满足现代工业使用要求。 展开更多
关键词 微机电系统 压阻式压力传感器 恶劣环境 可靠性
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