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题名基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟
被引量：7
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作者
麻健勇
傅克祥
王植恒
卢向东
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机构
四川大学物理科学和技术学院
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第5期42-44,共3页
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文摘
将一种广泛用于求解系统优化问题的方法———正单纯形法 ,求解光栅的椭偏方程。首先 ,利用求解光栅的傅立叶模式理论对TE和TM波的复反射系数进行求解 ,然后计算出其相应的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,并在该值的基础上加入不同偏差的随机高斯噪声 ,将加入噪声后的值(Δm,Ψm)作为模拟测量值 ,最后使用优化算法进行反演。通过对几种常用面形光栅椭偏参数的数值模拟 ,一方面表明傅立叶模式理论计算光栅的椭偏参数不仅精度高 ,而且速度快 ;另一方面表明利用正单纯形法得到的光栅参数值很接近于正演时假设的参数值 。
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关键词
光栅
椭偏参数
正单纯形法
数值模拟
正单纯形法
高斯噪声
反演
傅立叶模式理论
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Keywords
normal simple algorithm,ellipsometric parameters,inversion,fourier modal theory
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分类号
TN253
[电子电信—物理电子学]
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