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声表面波气体传感器研究进展
1
作者
崔柏乐
杨启明
王文
《压电与声光》
北大核心
2024年第6期827-839,共13页
声表面波(SAW)气体传感器以其独特的微纳声学传感结构和力-声-电多物理场耦合传感机制,表现出高灵敏度、快速响应、宽量程及微型轻质等特点,逐渐成为广受人们关注的新兴气体传感技术之一。该文从SAW传播及传感理论出发,详细介绍敏感膜...
声表面波(SAW)气体传感器以其独特的微纳声学传感结构和力-声-电多物理场耦合传感机制,表现出高灵敏度、快速响应、宽量程及微型轻质等特点,逐渐成为广受人们关注的新兴气体传感技术之一。该文从SAW传播及传感理论出发,详细介绍敏感膜式与非敏感膜式SAW气体传感效应及机制、传感器件设计与制备、传感信号采集与处理等相关研究进展,探讨了SAW气体传感器在新能源、航空航天、国防、工业控制及智能制造等众多领域的潜在应用,最后对其发展趋势进行了展望。
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关键词
声表面波
气体
传
感
传
感机理及效应
saw
传
感器件
saw气体传感应用
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题名
声表面波气体传感器研究进展
1
作者
崔柏乐
杨启明
王文
机构
中国科学院声学研究所
中国科学院大学
出处
《压电与声光》
北大核心
2024年第6期827-839,共13页
基金
国家重点研发计划国际合作专项(2024YFE0199800)。
文摘
声表面波(SAW)气体传感器以其独特的微纳声学传感结构和力-声-电多物理场耦合传感机制,表现出高灵敏度、快速响应、宽量程及微型轻质等特点,逐渐成为广受人们关注的新兴气体传感技术之一。该文从SAW传播及传感理论出发,详细介绍敏感膜式与非敏感膜式SAW气体传感效应及机制、传感器件设计与制备、传感信号采集与处理等相关研究进展,探讨了SAW气体传感器在新能源、航空航天、国防、工业控制及智能制造等众多领域的潜在应用,最后对其发展趋势进行了展望。
关键词
声表面波
气体
传
感
传
感机理及效应
saw
传
感器件
saw气体传感应用
Keywords
saw
gas sensing
sensing mechanism and effect
saw
sensor
applications of
saw
gas sensor
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN65 [电子电信—电路与系统]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
声表面波气体传感器研究进展
崔柏乐
杨启明
王文
《压电与声光》
北大核心
2024
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