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声表面波气体传感器研究进展
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作者 崔柏乐 杨启明 王文 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期827-839,共13页
声表面波(SAW)气体传感器以其独特的微纳声学传感结构和力-声-电多物理场耦合传感机制,表现出高灵敏度、快速响应、宽量程及微型轻质等特点,逐渐成为广受人们关注的新兴气体传感技术之一。该文从SAW传播及传感理论出发,详细介绍敏感膜... 声表面波(SAW)气体传感器以其独特的微纳声学传感结构和力-声-电多物理场耦合传感机制,表现出高灵敏度、快速响应、宽量程及微型轻质等特点,逐渐成为广受人们关注的新兴气体传感技术之一。该文从SAW传播及传感理论出发,详细介绍敏感膜式与非敏感膜式SAW气体传感效应及机制、传感器件设计与制备、传感信号采集与处理等相关研究进展,探讨了SAW气体传感器在新能源、航空航天、国防、工业控制及智能制造等众多领域的潜在应用,最后对其发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 声表面波 气体 感机理及效应 saw感器件 saw气体传感应用
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