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题名系统级模拟的MEMS器件宏模型
被引量：6
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作者
戎华
黄庆安
李伟华
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机构
东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期366-371,共6页
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文摘
MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节 ,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型 ,该宏模型要能与电路模拟软件相连接 ,再用电路模拟软件进行系统级模拟。因此 ,关键是如何建立能满足此种要求的宏模型。本文介绍了常用的等效电路宏模型和硬件描述语言宏模型的建立方法以及这两种宏模型的优缺点。
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关键词
MEMS器件
系统级模拟
等效电路宏模型
硬件描述语言宏模型
微机电系统
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Keywords
system level simulation,equivalent circuit macromodels,hdl macromodels
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分类号
TH－39
[机械工程]
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名基于等效电路法的微加速度计系统建模研究
被引量：2
- 2
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作者
王永泉
陈花玲
贺学明
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机构
西安交通大学机械工程学院
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出处
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期820-824,共5页
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文摘
讨论一类硅微闭环电容式加速度计系统级动态模型的建模过程与方法。MEMS(micro-electro-mechanical system)快速有效的系统级模拟依赖于准确简洁的器件宏模型的建立。文中首先针对一种基本机电换能器件进行研究,利用二元函数的Taylor公式,建立器件偏置点附近增量信号间的线性关系,进而建立可用等效电路形式描述的器件宏模型。以此为基础,分别探讨传感器中检测和加力两类差动电容模型的建立方法及其与外部环境的联接,得到可利用电路模拟软件进行分析的系统级等效电路。通过仿真实例验证模型的正确性,并简要讨论系统的主要动态特性。这些工作为进一步的系统仿真和全局优化提供可靠的模型基础。
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关键词
微电子机械系统
加速度计
宏模型
等效电路
系统级模拟
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Keywords
Micro-electro-mechanical system（MEMS）
Accelerometer
Macromodel
equivalent circuit
system-levd simulation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH702
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名MEMS微传感器件IP库的建立方法
被引量：1
- 3
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作者
殷刚毅
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机构
东南大学微电子中心
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出处
《电子器件》
EI
CAS
2005年第3期690-692,695,共4页
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文摘
为实现MEMS器件系统级的模拟,运用等效电路宏模型的方法建立相应的IP模型库单元。本文以悬臂梁结构的微传感器为例,描述了如何根据基本结构与数学方程建立等效电路宏模型,并采用COVENTORWARE软件进行了模型的各个模态的谐振频率和相关曲线的验证,最后通过我们自行开发的IP库单元建立接口软件对单元进行了封装与入库。
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关键词
等效电路宏模型
系统级
SPICE
IP库
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Keywords
macromodel of equivalent circuit
system level
SPICE
IP library
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP15
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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题名基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
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作者
李蓓佳
李伟华
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机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期607-610,共4页
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基金
国家863项目支持(2006AA04Z302)
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文摘
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性。
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关键词
MEMS设计
系统级模拟
薄膜
受力分析
等效电路宏模型
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Keywords
MEMS design
system-level simulatiom thin membrane
force analysis
equivalent circuit macromodel
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分类号
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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