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Far-field vector-diffraction of off-axis parabolic mirror under oblique incidence 被引量:2
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作者 Xia-Hui Zeng Xi-Yao Chen 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第3期190-201,共12页
Based on a full vector-diffraction theory, a detailed theoretical study is carried out, aiming at providing a clear insight into the effects of different focusing and off-axis parabola parameters on far-field vector-d... Based on a full vector-diffraction theory, a detailed theoretical study is carried out, aiming at providing a clear insight into the effects of different focusing and off-axis parabola parameters on far-field vector-diffraction properties of an offaxis parabolic mirror in the presence of misalignments of the incoming beam. The physical origin of these effects is also explored. The results show that the far-field intensity profile is altered by the distortion-, coma-, and astigmatism-like aberrations, which are caused by oblique incidence rather than inherent aberrations for the off-axis configuration. The radius of 90% encircled energy also increases but does not change monotonically with incident beam size increasing, or rather,it first decreases and then increases. The focal shift strongly depends on the effective focal length and oblique incidence angle, but it is almost independent of the beam size, which affects the focusing spot patterns. The intensity distribution produces a higher astigmatic image with off-axis angle increasing. Coma-like aberration starts to become dominant with beam size increasing and results in larger curved propagation trajectory. The incident polarization also affects the intensity distribution. The variation in the Strehl ratio with oblique incidence angle strongly depends on the misalignment direction and beam size as well. In addition, we find that the difference in locus between the catacaustic and the diffraction focus in the meridian is small. But the locus of the sagittal foci is obviously different from the locus of the meridian foci and the catacaustic focus. Moreover, the peak intensity of the sagittal focus is maximum, and the ratio of the peak intensity to that in the meridian plane is approximately 1.5. Understanding these effects is valuable for assessing a practical focused intensity and describing the motion of charged particles under a strong electric field in ultraintense laser–matter interaction. 展开更多
关键词 laser beam focusing off-axis PARABOLIC mirror vector-diffraction theory oblique incidence
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Asphericalizing the Light Collection Mirror for the 200-Point Thomson Scattering Diagnostic Installed on the Large Helical Device
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作者 Kazumichi NARIHARA Hiroshi HAYASHI 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第4期415-419,共5页
Shown is a possibility to make the image of a laser beam over a distance of 2.5 m, formed by the spherical multi-segment mirror installed in LHD, twice sharper by suitably adjusting the inclination of each segment mir... Shown is a possibility to make the image of a laser beam over a distance of 2.5 m, formed by the spherical multi-segment mirror installed in LHD, twice sharper by suitably adjusting the inclination of each segment mirror, which is equivalent to making the mirror surface aspherical. This will further enhance the attractiveness of a mirror-based Thomson scattering system. 展开更多
关键词 Thomson scattering LHD aspherical mirror
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Design of Ultra-Precision CNC Grinding Machine and Its Application in Machining Large Aspheric Mirrors
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作者 Bin Li Huiying Zhao +1 位作者 Jianpu Xi Dongxu Ren 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》 EI CAS 2015年第2期61-66,共6页
Large aspheric mirrors are needed for the remote sensing and ground based telescope optical systems,these mirrors are made of hard and brittle materials which require ultra-precision grinding process to guarantee the ... Large aspheric mirrors are needed for the remote sensing and ground based telescope optical systems,these mirrors are made of hard and brittle materials which require ultra-precision grinding process to guarantee the high profile accuracy and machining efficiency. The ultra-precision aspheric CNC grinding machine( UAG900) is presented by this paper,as well as its grinding capability. The hydrostatic bearings of high accuracy and stiffness are adopted by the linear and rotary motions to guarantee the mirror accuracy,material removal rate and subsurface damage. Disk type grinding wheel with arc edge is used. The material removal rate can be up to 360 mm3/ min to guarantee the machining efficiency during rough grinding using D180 diamond grinding wheel while the fine grinding is performed using D15 grinding wheel. It indicates that the grinding wheel radius measuring error is proportional to the profile error induced by the grinding path. The grinding step size is better to be 0. 01 mm for the reduction of the grinding movement accelerations and program length. The grinding path is planned and expressed based on the grinding mode according to the mirror shape. One540 mm×450 mm× 100 mm zerodur mirror is ground and re-ground using the measuring data acquired by the Leitz CMM. The final surface accuracy of P-V value is less than 5 μm after compensation grinding. 展开更多
关键词 ULTRA-PRECISION large aspheric mirror compensation grinding
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Use of Virtual Medium in Designing of the CGH Wave Front Generator for Aspheric Testing 被引量:1
4
作者 康果果 谢敬辉 刘祎 《Journal of Beijing Institute of Technology》 EI CAS 2007年第1期78-82,共5页
Design method and procedures of computer-generated hologram (CGH) used for aspheric test are in- troduced in detail. For CGH phase calculation, virtual medium which has zero refractive index at given wavelength is u... Design method and procedures of computer-generated hologram (CGH) used for aspheric test are in- troduced in detail. For CGH phase calculation, virtual medium which has zero refractive index at given wavelength is used to model ideal aspheric wavefront. Reflective Fresnel zones located in a ring area concentric to the CGH structure is designed to reduce or eliminate alignment errors. Substrate figure error, pattern distortion, etching and duty cycle variations that influence the reconstructed wavefront are quantitatively analyzed in theory and corresponding error equations are obtained to guide the tolerance distribution during CGH fabricating. A design example is given and the uncertainty of t achieves λ20. 展开更多
关键词 computer-generated hologram (CGH) optical path difference (OPD) aspheric mirror
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高次碳化硅非球面次镜CGH补偿面形检测技术
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作者 唐卓睿 毛朝斌 +4 位作者 张瀛怀 冯畅 丘敏艳 胡承 张鑫 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第2期94-100,共7页
次镜的全口径面形测量是干涉检测中的难点问题,为了实现同轴高次碳化硅非球面次镜的全口径面形检测,提出了一种基于CGH的零位补偿测量模型。利用该模型对90 mm口径的高次碳化硅非球面次镜进行了零位补偿设计。设计中,为了降低次镜的调... 次镜的全口径面形测量是干涉检测中的难点问题,为了实现同轴高次碳化硅非球面次镜的全口径面形检测,提出了一种基于CGH的零位补偿测量模型。利用该模型对90 mm口径的高次碳化硅非球面次镜进行了零位补偿设计。设计中,为了降低次镜的调整测试难度,采用平面波出射干涉仪、CGH及待测同轴高次碳化硅非球面次镜进行光路搭建设计。从设计分析可以得出,基于文中的次镜补偿设计方法,其补偿设计的理论设计精度RMS值为0 nm,验证了该设计方法的精度与准确性。同时,对该次镜进行了干涉检测及误差分析,其全口径面形检测结果 RMS值达到0.015λ(λ=632.8 nm),标定CGH透射波像差后其全口径面形检测结果 RMS值为0.016λ(λ=632.8 nm),进一步验证了文中方法的可靠性。 展开更多
关键词 干涉检测 零位补偿 计算全息 非球面次镜
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小F数红外光学系统设计
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作者 关禹聪 胡源 +1 位作者 刘子龙 周新雨 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第12期1433-1439,共7页
红外探测器不断朝着高分辨率、小像元的方向发展。要想实现小像元的探测,那就要求红外光学系统要具有更小的F数。所以本文基于对小像元探测的需求,通过采用库克型离轴三反结构,设计出了一款F数接近1的离轴三反红外光学系统。该光学系统... 红外探测器不断朝着高分辨率、小像元的方向发展。要想实现小像元的探测,那就要求红外光学系统要具有更小的F数。所以本文基于对小像元探测的需求,通过采用库克型离轴三反结构,设计出了一款F数接近1的离轴三反红外光学系统。该光学系统的主镜、次镜、三镜均采用偶次非球面,F数为1.3,焦距为60 mm,视场角为1.6°×2.4°,波段为1.1~2.5μm。该设计的红外光学系统在空间截止频率100线对每毫米处调制传递函数(MTF)都大于0.6,并且弥散斑RMS值远小于探测器的像元尺寸,畸变小于2%,系统设计以及仿真后的结果说明,系统各视场的MTF均接近衍射极限,满足成像质量要求,能够实现小像元探测的需求。 展开更多
关键词 小F数 离轴三反 非球面 光学设计
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大口径空间非球面反射镜加工与检测技术研究
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作者 赵静 杨业 +3 位作者 薛卫涛 王鹏 于建海 秦扬 《科技创新与应用》 2024年第17期30-33,共4页
空间非球面反射镜在现代光学系统中发挥着重要作用,然而其复杂的曲率和大口径特性使得其加工和检测变得更加困难和复杂。该文研究当前大口径空间非球面反射镜加工与检测技术的最新进展和应用。通过对这些技术的研究,该文为提高大口径空... 空间非球面反射镜在现代光学系统中发挥着重要作用,然而其复杂的曲率和大口径特性使得其加工和检测变得更加困难和复杂。该文研究当前大口径空间非球面反射镜加工与检测技术的最新进展和应用。通过对这些技术的研究,该文为提高大口径空间非球面反射镜的加工和检测质量提供重要的参考和指导。 展开更多
关键词 大口径空间非球面反射镜 加工技术 检测技术 表面质量 加工质量
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Intra-cycle depolarization of ultraintense laser pulses focused by off-axis parabolic mirrors 被引量:2
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作者 Luca Labate Gianluca Vantaggiato Leonida A.Gizzi 《High Power Laser Science and Engineering》 SCIE CAS CSCD 2018年第2期141-148,共8页
A study of the structure of the electric and magnetic fields of ultraintense laser pulses focused by an off-axis parabolic mirror is reported. At first, a theoretical model is laid out, whose final equations integrati... A study of the structure of the electric and magnetic fields of ultraintense laser pulses focused by an off-axis parabolic mirror is reported. At first, a theoretical model is laid out, whose final equations integration allows the space and time structure of the fields to be retrieved. The model is then employed to investigate the field patterns at different times within the optical cycle, for off-axis parabola parameters normally employed in the context of ultraintense laser–plasma interaction experiments. The results show that nontrivial, complex electromagnetic field patterns are observed at the time at which the electric and magnetic fields are supposed to vanish. The importance of this effect is then studied for different laser polarizations, f numbers and off-axis angles. 展开更多
关键词 laser-driven particle acceleration laser focusing off-axis parabolic mirrors ultrashort laser pulses
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Configuration optimization of off-axis parabolic mirror for enhancing the focusability of a laser beam 被引量:1
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作者 Xiahui Zeng 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第3期80-85,共6页
We demonstrate a configuration optimization process of an off-axis parabolic mirror to maximize the focused peak intensity based on a precise knowledge of the tight focusing properties by using a full vector-diffracti... We demonstrate a configuration optimization process of an off-axis parabolic mirror to maximize the focused peak intensity based on a precise knowledge of the tight focusing properties by using a full vector-diffraction theory and obtain an optimum configuration scaling rule, which makes it possible to achieve the maximum peak intensity. In addition, we also carry out an assessment analysis of the offset and off-axis angle tolerances corresponding to a 5% drop of the maximum focused peak intensity and present scaling laws for the tolerances of the offset and off-axis angle. Understanding these scaling laws is important to enhance the focusability of a laser beam by an off-axis parabolic mirror in the optimum configuration, in particular, which is valuable for structural design and selection of an off-axis parabolic mirror in ultrashort and ultraintense laser–matter interaction experiments. 展开更多
关键词 off-axis parabolic mirror laser focusing vector-diffraction theory configuration optimization
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基于SiC材料的空间相机非球面反射镜结构设计 被引量:65
10
作者 张学军 李志来 张忠玉 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期577-582,共6页
针对空间相机中优质轻型光学反射镜对材料提出的要求,详细讨论了设计基于SiC材料空间反射镜的一系列问题,包括径厚比的选择、支撑点数量、轻量化结构形式、材料特性匹配等,提出了一种背部半封闭、三角形孔的轻量化形式,并设计制造了Φ60... 针对空间相机中优质轻型光学反射镜对材料提出的要求,详细讨论了设计基于SiC材料空间反射镜的一系列问题,包括径厚比的选择、支撑点数量、轻量化结构形式、材料特性匹配等,提出了一种背部半封闭、三角形孔的轻量化形式,并设计制造了Φ600 mm轻量化SiC反射镜实验件。抛光后反射镜面形精度优于λ/20 rms。为验证重力变形的影响,将反射镜分别旋转了90°和180°,用Zygo干涉仪检验,3个方向检测结果误差均小于λ/100 rms。在此基础上设计完成了某空间相机中的SiC非球面主镜、次镜、第三镜,结果表明基于SiC材料的反射镜在重力变形、谐振频率、热变形等方面均能满足使用要求,而且与玻璃材料相比,在很大程度上降低了重量。 展开更多
关键词 碳化硅 空间相机 反射镜 非球面
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非球面干涉定心方法研究 被引量:14
11
作者 马臻 李英才 +2 位作者 樊学武 陈荣利 段学霆 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1455-1458,共4页
由于非球面光轴的唯一性,非球面定心工艺中需分别定义顶点偏心误差和球心偏心误差.通过估算顶点偏心在传统定心仪上的测量误差,可以发现传统定心仪很难达到控制目的,而干涉测量方法却能得到较高的准确度.理论推导和模拟计算表明:顶点偏... 由于非球面光轴的唯一性,非球面定心工艺中需分别定义顶点偏心误差和球心偏心误差.通过估算顶点偏心在传统定心仪上的测量误差,可以发现传统定心仪很难达到控制目的,而干涉测量方法却能得到较高的准确度.理论推导和模拟计算表明:顶点偏心角与偏心彗差之间有线性关系,顶点偏心角的彗差灵敏度与非球面的陡度成正比.使用干涉检测的方法可以同时控制非球面的两种偏心误差,且其检测准确度可以达到0.02mm. 展开更多
关键词 非球面 定心 干涉检验 偏心彗差
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大口径轻质非球面反射镜制造技术研究 被引量:6
12
作者 宋淑梅 陈亚 +3 位作者 吕学峰 姚春 张红 姚国安 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期246-248,251,共4页
研制某卡塞格林光学系统的关键技术之一是通光口径超过1000mm的轻质抛物面主反射镜。该反射镜相对口径为1/2,减重率为65%,是目前国内最大口径的轻质非球面反射镜。成功地解决了大口径轻质镜坯的制造和大口径轻质非球面镜的加工与检测方... 研制某卡塞格林光学系统的关键技术之一是通光口径超过1000mm的轻质抛物面主反射镜。该反射镜相对口径为1/2,减重率为65%,是目前国内最大口径的轻质非球面反射镜。成功地解决了大口径轻质镜坯的制造和大口径轻质非球面镜的加工与检测方面的难题。通过对高比刚度轻质镜的设计和进行CAD工程分析以及选用合理的光学材料,采用计算机控制的数控钻铣技术制造出了反射镜镜坯。在经典光学加工技术的基础上,摸索到了针对大口径轻质镜的支撑、加工与检测方面的技术。检测结果表明,该反射镜的研制达到了各项设计指标,其面形精度的均方根值RMS=0 029λ(λ=633nm)。 展开更多
关键词 轻质 非球面 反射镜 制造
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大口径碳化硅材料凸非球面反射镜的检验 被引量:14
13
作者 薛栋林 张忠玉 +1 位作者 郑立功 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2491-2496,共6页
为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.0082λ,RMS:0.0029λ(λ=632.8nm)。采用会聚光束,使用... 为了实现某大口径碳化硅材料凸非球面反射镜检验,研究了无像差点法以及补偿检验法方案。经过比较优选,确定选用补偿检验方案并专门设计了高精度大口径非球面补偿器,设计精度为PV:0.0082λ,RMS:0.0029λ(λ=632.8nm)。采用会聚光束,使用大口径数字干涉仪进行凸非球面正面检测,最终检测结果为0.022λ(RMS)。所述补偿器的设计方法和要求具有普遍性,设计结果也可用于同类型大口径凸非球面检验用补偿器的设计。采用该方法提高了凸非球面检测精度,并且在凸非球面镜的材料选择、结构设计、支撑方式等方面提供了更多的优化空间,为新型光学材料在凸非球面反射镜的应用奠定了基础。 展开更多
关键词 凸非球面镜 碳化硅反射镜 零位检验 补偿器设计
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大口径光学非球面镜先进制造技术概述 被引量:21
14
作者 刘锋伟 吴永前 +5 位作者 陈强 刘海涛 闫锋涛 张仕杨 万勇建 伍凡 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第10期63-85,共23页
在光学系统中使用非球面可以有效校正像差,改善像质,进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领,因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及国防安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在... 在光学系统中使用非球面可以有效校正像差,改善像质,进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领,因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及国防安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在现代光学制造工程中扮演着重要的角色。本文以大口径非球面镜的先进制造为主题,对大口径非球面镜的光学加工技术,特别是研磨抛光技术及其过程中所采用的面形检测方法进行了综述,特别总结了新一代先进光学制造的技术特征,展望了未来大口径非球面镜的制造策略。 展开更多
关键词 大口径非球面 光学加工 光学测试
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中小口径非球面元件加工技术的探讨 被引量:13
15
作者 张忠玉 张学军 牛海燕 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第6期524-525,共2页
结合非球面轮廓检验和抛光工艺技术设备的研究 ,探讨了一种规范化的针对中小口径非球面元件的加工方法 ,并具体分析了实现非球面高效率批量化生产的技术途径 ,为中小非球面元件的广泛应用提供了有利的技术支持。
关键词 非球面镜 轮廓仪 抛光工艺 光学元件
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表面改性非球面碳化硅反射镜的加工 被引量:17
16
作者 张峰 徐领娣 +2 位作者 范镝 高劲松 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2479-2484,共6页
为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si... 为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si的改性方法。然后,采用氧化铈(CeO2)、氧化铝(Al2O3)以及二氧化硅(SiO2)等各种抛光液对离子束辅助沉积(IBAD)Si的碳化硅样片进行抛光实验。最后,在上述实验的基础上,采用计算机控制光学表面成型(CCOS)技术对尺寸为650mm×200mm的表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行加工。实验结果表明:CeO2抛光液的抛光效率较高;使用SiO2抛光液抛光后的样片表面质量最好;表面改性离轴非球面碳化硅反射镜加工后的最终检测结果为:实际使用口径内的面形精度(RMS值)为0.016λ(λ=0.6328μm),表面粗糙度为0.85nm(Rq值)。反射镜的加工结果满足设计技术指标的要求。 展开更多
关键词 离轴非球面 碳化硅反射镜 计算机控制光学表面成型 表面改性
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离轴二镜平行光管的光学设计 被引量:8
17
作者 车驰骋 李英才 +1 位作者 樊学武 胡永明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1793-1796,共4页
介绍了大口径长焦距离轴二镜平行光管的设计过程,给出了系统初始结构的求解方程,并分析了主次镜同轴设计方法的缺陷.为提高系统像质,提出了在主次镜同轴方法的基础上对次镜绕主镜焦点旋转的离轴化方法.以一个离轴二镜平行光管作为设计实... 介绍了大口径长焦距离轴二镜平行光管的设计过程,给出了系统初始结构的求解方程,并分析了主次镜同轴设计方法的缺陷.为提高系统像质,提出了在主次镜同轴方法的基础上对次镜绕主镜焦点旋转的离轴化方法.以一个离轴二镜平行光管作为设计实例,计算了次镜离轴对系统像质的影响,通过次镜的离轴优化,得到了成像质量良好的光学系统设计结果. 展开更多
关键词 平行光管 离轴 非球面反射镜 光学设计
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环形子孔径拼接检测大口径非球面镜的规划模型及分析 被引量:14
18
作者 侯溪 伍凡 +2 位作者 杨力 吴时彬 陈强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期207-212,共6页
环形子孔径拼接技术是一种无需辅助元件就能检测旋转对称大口径非球面镜的有效手段。根据该技术的检测原理,从几何光学的角度建立了子孔径规划模型,给出了模型数值求解的具体方法。以一口径为700 mm、中心遮拦为160mm、顶点曲率半径为3 ... 环形子孔径拼接技术是一种无需辅助元件就能检测旋转对称大口径非球面镜的有效手段。根据该技术的检测原理,从几何光学的角度建立了子孔径规划模型,给出了模型数值求解的具体方法。以一口径为700 mm、中心遮拦为160mm、顶点曲率半径为3 000 mm的抛物面镜为例进行了数值计算,且从物理光学的角度对数值计算结果进行了进一步分析和解释,并进行了初步的实验研究。结果表明,该模型具有较好的预测效果,可为实际检测方案设计提供理论依据,使得检测过程可控、量化和可重复。 展开更多
关键词 光学测试 干涉计量 规划模型 数值计算 环形子孔径 大口径非球面镜
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Shack-Hartmann波前传感器检测大口径圆对称非球面反射镜 被引量:17
19
作者 张金平 张学军 +1 位作者 张忠玉 郑立功 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期492-498,共7页
针对大口径非球面反射镜在研磨阶段后期其面形与理想面形存在较大偏差,且表面粗糙度较大、反射率较低,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足测试要求等问题,提出采用动态范围大且精度高的Shack-Hartmann波前传感器来检测大口径非球面反... 针对大口径非球面反射镜在研磨阶段后期其面形与理想面形存在较大偏差,且表面粗糙度较大、反射率较低,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足测试要求等问题,提出采用动态范围大且精度高的Shack-Hartmann波前传感器来检测大口径非球面反射镜。研究分析了Shack-Hartmann波前传感器检测系统的原理及系统误差并编写了相应的数据处理软件。为了验证该方法的可行性,对已经加工完成的350mm口径旋转对称双曲面面形进行了检测,测量得到的面形误差PV值、RMS值分别为0.388λ、0.043λ(λ=632.8nm);与干涉测量的标准结果进行了对比,得到的面形偏差PV值、RMS值分别为0.014λ和0.001λ。对比结果表明,Shack-Hartmann波前传感器的测量结果正确可靠,从而验证了Shack-Hartmann波前传感器检测大口径非球面反射镜的可行性。 展开更多
关键词 Shack-Hartmann波前传感器 轮廓仪 非球面反射镜 大口径反射镜 相对测量
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大型非球面主镜细磨中的一种在线检测技术 被引量:7
20
作者 万勇建 范斌 +3 位作者 袁家虎 杨力 郑耀 曾志革 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期1-4,共4页
提出了一种在大型非球面镜细磨加工阶段使用的低成本在线检测技术。该技术将高精度测长装置集成在普通数控加工机床上,构成在线测量系统。通过测量工件面形上的各点空间坐标,并将测量数据经过坐标变换、误差补偿等处理,实现在线面形测... 提出了一种在大型非球面镜细磨加工阶段使用的低成本在线检测技术。该技术将高精度测长装置集成在普通数控加工机床上,构成在线测量系统。通过测量工件面形上的各点空间坐标,并将测量数据经过坐标变换、误差补偿等处理,实现在线面形测量。与 Leize 三坐标测量机对比测量同一个面形,二者的测量结果误差 P-V为 4.0ìm,RMS 为 0.8ìm。在普通数控细磨机床上实现了在线面形测量且测量精度优于 5ìm。利用此系统,实现了细磨加工过程的镜面面形在线检测。 展开更多
关键词 在线检测 细磨 非球面镜 数控机床
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