全光纤白光干涉型光纤传感器 被引量：5

1

作者 李川 张以谟 +2 位作者 刘铁根 李欣 陈希明 《传感技术学报》 CAS CSCD 2001年第2期91-95,共5页

根据传统光学干涉原理研制出的相位调制型光纤传感器 ,其突出优点是灵敏度高 .但却只能进行相对测量 ,即只能用作变化量的测量 ,而不能用于状态量的测量 .因此 ,本文介绍了能实现绝对测量的全光纤白光干涉型光纤传感器及其检测技术 ,该... 根据传统光学干涉原理研制出的相位调制型光纤传感器 ,其突出优点是灵敏度高 .但却只能进行相对测量 ,即只能用作变化量的测量 ,而不能用于状态量的测量 .因此 ,本文介绍了能实现绝对测量的全光纤白光干涉型光纤传感器及其检测技术 ,该技术基于白光干涉的绝对测量原理 . 展开更多

关键词 白光干涉仪 白光零级干涉条纹 光纤传感器

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F-P标准具用于量块量值的传递与溯源 被引量：2

2

作者 张成悌 薛靓 +7 位作者 付天坤 刘静 冉莉萍 徐德宇 王冠熹 龚柯安 李华 张宝武 《中国测试》 CAS 北大核心 2022年第S02期54-58,共5页

文章介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度进行分析,充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪满足检定1等量块的要求。... 文章介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度进行分析,充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪满足检定1等量块的要求。通过该文的介绍,印证该技术可以实现量块自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的检定。文章还给出具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块具有的9个优点。 展开更多

关键词 白光干涉仪 F-P标准具 零次干涉带 等倾干涉环

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白光光源光谱对白光干涉信号的影响 被引量：5

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作者 胡艳敏 程思晗 +2 位作者 聂平 马龙 秦哲 《大学物理》 2018年第5期44-48,51,共6页

传统白光光源一般由一个纯高斯函数来进行模拟,通过改变中心波长和带宽来调节干涉信号.本文分别利用高斯模型和洛伦兹模型来讨论白光干涉信号,得出中心波长与相干长度的比值越大,零级条纹可见性越高,以及高斯模型的可靠范围.鉴于现代白... 传统白光光源一般由一个纯高斯函数来进行模拟,通过改变中心波长和带宽来调节干涉信号.本文分别利用高斯模型和洛伦兹模型来讨论白光干涉信号,得出中心波长与相干长度的比值越大,零级条纹可见性越高,以及高斯模型的可靠范围.鉴于现代白光光源与传统光源不同,以发光二极管(LED)为例,模拟研究现代白光光源对白光干涉信号的影响.利用洛伦兹模型模拟白色LED光源时干涉信号存在凹陷,通过合理调整LED拟合光峰值间的距离降低凹陷对零级条纹的影响,以期得到在实际应用中干涉特性较优的白光光源光谱. 展开更多

关键词 白光干涉 白光光源光谱 发光二极管 相干长度 零级条纹可见性

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使用光纤白光干涉仪测一维形变实验 被引量：2

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作者 李叶芳 柳华 《物理实验》 2007年第3期7-9,共3页

光纤白光干涉仪是使用波长为1310 nm的半导体发光二极管的相位调制型光纤传感器,可用于压力、温度和应变的测量.本文介绍了光纤白光干涉仪的工作原理,设计了一维形变实验.

关键词 光纤白光干涉仪 一维形变 零级干涉条纹 半导体发光二极管

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基于波长颜色映射关系的白光干涉及衍射图样仿真 被引量：2

5

作者 徐代升 杜旭日 甘亮勤 《江西科学》 2012年第1期5-7,29,共4页

依据建立的可见光波长与MATLAB色谱矩阵参数的映射关系,把按照真实实验参数计算获得的杨氏干涉实验干涉图样的强度分布,变成了用于干涉图样显示的色谱矩阵,从而实现了单色光杨氏干涉实验的计算机写真;以同样的方式获得了单色光圆孔夫琅... 依据建立的可见光波长与MATLAB色谱矩阵参数的映射关系,把按照真实实验参数计算获得的杨氏干涉实验干涉图样的强度分布,变成了用于干涉图样显示的色谱矩阵,从而实现了单色光杨氏干涉实验的计算机写真;以同样的方式获得了单色光圆孔夫琅和费衍射实验的计算机写真。以此为铺垫,根据颜色匹配理论和计算机颜色显示的叠加原理,用波长分别为700 nm(红)、546.1 nm(绿)和435.8 nm(蓝)的光谱色为三原色匹配等能白光,实现白光杨氏干涉和圆孔夫琅和费衍射图样的计算机仿真。这种方法可广泛用于与可见光有关的色散、激光传播规律、空间滤波等物理现象讨论与分析。 展开更多

关键词 物理光学 干涉图样 衍射图样 三原色 白光

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具有F-P标准具照明系统的白光干涉仪测量量块的测量不确定度分析

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作者 张成悌 薛靓 +7 位作者 付天坤 徐德宇 刘静 冉莉萍 王冠熹 龚柯安 李华 张宝武 《中国测试》 CAS 北大核心 2023年第S01期231-240,共10页

文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的... 文献[1]F-P标准具用于量块量值的传递与溯源一文(中国测试技术2012年增刊第2期54-58页)介绍具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的光学原理及其结构,以及检定F-P标准具的等倾干涉的原理。而进一步对具有F-P标准具的白光干涉仪检定量块的测量不确定度的分析,则由本文完成。该文首先对F-P标准具的检定及其测量不确定度就行了分析。量块尺寸在白光干涉仪上与标准具作比较测量。为减少标准具的数量,量块尺寸可以与两块或三块标准具组成的尺寸进行比较,也可以是由一块尺寸较小的标准具经过光学倍增法实现与被检量块尺寸相同进行比较。例如80mm的量块用40mm的标准具进行比较,这时在量块上的光路在标准具中多一次反射达到;90mm量块则用30mm标准具进行比较。他们也可以由两块标准具组成的尺寸进行比较。分析时以倍增法测量误差最大,以其进行计算。充分证明具有F-P标准具的白光干涉仪完全满足检定1等量块的要求。通过文献[1]及本文的介绍,映证该技术可以实现普及1等量块的检定及量块的自动化检定,特别适用于量块生产厂00级、K级、0级量块的自动化检定。 展开更多

关键词 F-P标准具 白光干涉仪 零次干涉带 等倾干涉环

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基于白光透射反射干涉的形貌重构方法验证

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作者 刘君 薛晨阳 +2 位作者 丑修建 刘毅 牛康康 《测试技术学报》 2010年第5期463-466,共4页

利用扫描白光干涉的测量方法,通过透射反射干涉的方式,对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试,实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证.该测量方法是在Pizeo的驱动下,通过改变测量臂和参考臂之间的光程差... 利用扫描白光干涉的测量方法,通过透射反射干涉的方式,对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试,实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证.该测量方法是在Pizeo的驱动下,通过改变测量臂和参考臂之间的光程差,使其不同高度的表面到达零光程差位置,并由CCD记录整个扫描过程中干涉条纹的变化状况,进而提取被测件的三维形貌信息.该测试技术具有非接触、无破损、高灵敏度和快速测量的特点.可为膜后形貌的三维重构提供借鉴方法. 展开更多

关键词 扫描白光干涉 GaAs台阶结构 透射反射干涉 三维形貌还原 零光程差

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基于白光干涉测量技术的微器件三维形貌重构 被引量：8

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作者 李秋柱 刘毅 +2 位作者 牛康康 刘君 丑修建 《测试技术学报》 2009年第3期201-204,共4页

垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的... 垂直扫描法可以重构微系统中微纳结构的表面形貌,更适合具有台阶结构的微纳结构,其分辨率高、解算速度快、精度较高.本文利用基于白光干涉技术的垂直扫描法,对微器件的台阶形貌在微系统测试仪下所得的干涉图进行分析,并重构台阶结构的表面形貌,微系统测试仪所取的干涉图符合垂直扫描法的要求,即光强峰值附近没有达到饱和,得出了清晰的三维形貌图,解算出的台阶高度和实际台阶高度一致,其横向分辨率为1.6μm,纵向分辨率为0.05μm. 展开更多

关键词 微器件 白光干涉 垂直扫描法 包络线 零光程差位置

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扫描白光干涉技术在硅片检焦过程中的应用 被引量：2

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作者 李旺 张文涛 +1 位作者 杜浩 熊显名 《现代电子技术》 2023年第15期140-146,共7页

晶圆检测设备常采用机器视觉方法采集晶圆图像,但基于光谱共焦位移传感器的调焦系统测量精度低、鲁棒性差,基于三角测量原理的调焦系统虽精度足够高,但硅片表面图案与沟槽会影响探测光路从而导致系统无法工作。针对这些问题,提出一种基... 晶圆检测设备常采用机器视觉方法采集晶圆图像,但基于光谱共焦位移传感器的调焦系统测量精度低、鲁棒性差,基于三角测量原理的调焦系统虽精度足够高,但硅片表面图案与沟槽会影响探测光路从而导致系统无法工作。针对这些问题,提出一种基于扫描白光干涉技术的调焦系统,以实现对于不同工艺属性硅片焦面位置的快速精准测量。此检焦系统首先进行相机最佳焦面位置与PZT零光程差位置之间垂向距离的标定,使得在检焦测量时可将零光程差位置作为检出对象,极大地提高了检出速度,并且在零光程差位置定位时,根据干涉波形的形状自适应选择定位算法,提高了检焦系统的工艺适应性。实验结果表明,对于单峰波形和双峰且双峰半分离波形,重心法处理得到的焦面位置的平均绝对误差分别为20 nm和56.1 nm,而包络法则有38 nm和56.2 nm,并且重心法处理耗时在1 ms之内,包络法则需25 ms左右,故选用重心法作为零光程差定位算法。对于双峰且双峰完全融合波形和双峰且双峰完全分离波形,重心法处理得到的焦面位置的平均绝对误差分别为20.3 nm和17.8 nm,而包络法则有13.2 nm和15.8 nm,故选用包络法作为零光程差定位算法。模板匹配法对于4种波形的处理精度最高,在模板形状确定的情况下使用。文中所提系统的焦面测量结果最大平均绝对误差仅为57 nm,最小可达到8 nm,有较强的实际应用意义。 展开更多

关键词 检焦 最佳焦面 清晰度 扫描白光干涉 零光程差 硅片 垂向距离补偿量 工艺适应性

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靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量技术

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作者 樊婷 马小军 +3 位作者 王宗伟 王琦 何智兵 易勇 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2021年第9期38-42,共5页

为了精密检测靶丸壳层厚度及其分布数据,开展了靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量技术研究。介绍了靶丸壳层的白光反射光谱及其光谱数据处理方法(极值法、峰值拟合法、干涉级次校正法等)的基本原理,搭建了基于白光反射光谱的精密... 为了精密检测靶丸壳层厚度及其分布数据,开展了靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量技术研究。介绍了靶丸壳层的白光反射光谱及其光谱数据处理方法(极值法、峰值拟合法、干涉级次校正法等)的基本原理,搭建了基于白光反射光谱的精密回转轴系测量装置;开展了GDP靶丸壳层厚度及其分布的白光反射光谱测量、数据处理和可靠性验证实验,获得了靶丸壳层厚度圆周分布曲线。结果表明,基于峰值拟合法和干涉级次校正的白光反射光谱技术可实现靶丸壳层厚度及其分布的准确测量,其测量误差小于0.1μm。 展开更多

关键词 白光反射光谱 厚度分布 峰值拟合法 干涉级次校正法 靶丸

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基于实数全息图的无零级光全息显示技术

11

作者 杨靖宇 《数字通信世界》 2019年第3期100-101,63,共3页

通过MATLAB软件对计算全息图做滤波处理,并将其滤波后的频谱变换回一个复数的全息图。取其实部作为新的全息图,这样生成的全息图零级光被完全干涉相消,且为实数全息图,比较于复数全息图,这样的全息图更易实现。

关键词 无零级光 全息显示系统 完全干涉相消 滤波 实数全息图

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光纤定位仪中电流调制的准白光干涉特性研究

12

作者 钟明 段发阶 +1 位作者 杨蓓 叶声华 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1089-1092,共4页

研究了注入电流调制下半导体激光器(LD)干涉特性,建立了光纤准白光干涉模型,并分析了多纵模半导体激光(MLD)调制对光纤干涉信号的影响。在实验中,选用不同的电流波形调制,研究了相应条件下的光纤干涉特性,并找到了最佳的调制参数。实验... 研究了注入电流调制下半导体激光器(LD)干涉特性,建立了光纤准白光干涉模型,并分析了多纵模半导体激光(MLD)调制对光纤干涉信号的影响。在实验中,选用不同的电流波形调制,研究了相应条件下的光纤干涉特性,并找到了最佳的调制参数。实验表明,采用类三角波电流调制可有效减小半导体激光的相干长度,从400 mm减小到40μm,将准白光干涉瞄准的精度提高到1μm。 展开更多

关键词 光纤干涉 零位点 准白光干涉多纵模 多纵模半导体激光(MLD)调制

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