检索结果-维普期刊中文期刊服务平台

期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

共找到7篇文章

< 1 >

每页显示 20 50 100

已选择0条

导出题录引用分析

统计分析

显示方式：

文摘详细列表

相关度排序被引量排序时效性排序

基于MEMS的微泵研究进展被引量：3: 1; 作者苏宇锋陈文元《微纳电子技术》 CAS 2004年第5期33-40,55,共9页; 基于微加工技术的微流体系统是微机电系统(MEMS)的一个重要分支,可广泛应用于航空航天、生物、医学、化工、电子等领域。本文主要综述了微流体系统中的微型泵结构、工作原理以及国内外研究现状。; 关键词 MEMS 微泵微加工技术微机电系统工作原理; 在线阅读下载PDF 职称材料

柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺被引量：2: 2; 作者苏宇锋陈文元 +2 位作者陈晓梅张卫平王伟《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第12期10-12,共3页; 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由 Parylene 振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。对平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变进行了分析,并对其关键尺寸进行优化。采用电镀工... 展开更多; 关键词 PARYLENE 制作工艺柔性膜微型电磁驱动器 NiFe合金阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新型电磁驱动微泵的设计与制作工艺被引量：4: 3; 作者苏宇锋陈文元崔峰《新技术新工艺》 2005年第2期27-29,共3页; 主要阐述了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺。该微泵结构简单 ,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成 ,采用硅加工工艺和非硅加工工艺 (电镀 )相结合进行制作。采用模压法和硅橡胶加工方法将振动膜直接做在一个硅片上 ;用电... 展开更多; 关键词新型硅橡胶电镀工艺模压法泵体基片微泵电磁驱动振动; 在线阅读下载PDF 职称材料

电磁驱动柔性振动膜无阀微泵被引量：3: 4; 作者苏宇锋陈文元崔峰《微细加工技术》 2003年第4期60-64,共5页; 提出了一种新型微泵设计方案和制作工艺,将电磁驱动器与大振幅振动膜相结合,得到流量大、易于控制的新型微泵。该微泵结构简单,由硅橡胶(聚二甲基硅氧烷PDMS橡胶)振动膜和无阀泵泵体组成,将硅加工工艺和非硅加工工艺(电镀)相结合。采用... 展开更多; 关键词电磁驱动柔性振动膜无阀微泵硅橡胶电镀体硅; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺被引量：1: 5; 作者苏宇锋陈文元《机械制造》北大核心 2004年第12期25-28,共4页; 主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片... 展开更多; 关键词电磁驱动微驱动器 Parylene振动膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种高分子聚合物PCR芯片的设计及有限元分析: 6; 作者牛志强贾晓宇 +2 位作者张卫平李建华陈文元《微细加工技术》 2004年第3期76-80,共5页; 设计了一种以PDMS为基底的微型PCR芯片,并用有限元软件对芯片做了详细的温度场分析,主要分析了微型PCR芯片温度场的均匀性和分布以及芯片升、降温的效率。分析结果表明设计的聚合物芯片温度分布均匀,有较高的升、降温速率,可以满足PCR... 展开更多; 关键词 PCR芯片 PDMS 有限元模拟; 在线阅读下载PDF 职称材料

磁性Fe_3O_4/CRGO复合物的制备及其酶的固定化(英文): 7; 作者吴晓晨张艳 +1 位作者吴从宇吴海霞《中国有色金属学会会刊：英文版》 CSCD 2012年第S1期162-168,共7页; 四氧化三铁(Fe3O4)纳米颗粒可通过水热法一步复合在化学还原氧化石墨烯(CRGO)表面,得到的复合物Fe3O4/CRGO用于固载酶。通过扫描电子显微镜(SEM)、X 线衍射仪、红外光谱仪及振动样品磁强计对Fe3O4/CRGO的表观形貌及结构进行测试和表征... 展开更多; 关键词化学还原氧化石墨烯四氧化三铁纳米颗粒辣根过氧化物酶酶固载; 在线阅读下载PDF 职称材料

已选择0条

导出题录引用分析

统计分析

上一页 1 下一页到第页

使用帮助返回顶部