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直流磁控溅射法在Mg-Li合金表面沉积TiN薄膜提高合金抗腐性的研究
被引量:
3
1
作者
高福毅
陈玉强
+2 位作者
彭鸿雁
薛晓宇
姜宏伟
《牡丹江师范学院学报(自然科学版)》
2010年第1期13-16,共4页
TiN薄膜具有良好的抗腐蚀性,采用直流磁控溅射法低温下合成TiN薄膜可以节约能源,简化工艺.采用直流磁控溅射法在Mg-Li合金表面沉积TiN膜,TiN膜厚度约为1.6μm,靶材为纯度99.99%的钛靶.用X射线衍射仪(XRD)来表征薄膜的成分,薄膜的表面形...
TiN薄膜具有良好的抗腐蚀性,采用直流磁控溅射法低温下合成TiN薄膜可以节约能源,简化工艺.采用直流磁控溅射法在Mg-Li合金表面沉积TiN膜,TiN膜厚度约为1.6μm,靶材为纯度99.99%的钛靶.用X射线衍射仪(XRD)来表征薄膜的成分,薄膜的表面形貌用扫描隧道显微镜(SEM)以及原子力电子显微镜(AFM)来表征.将样品放入浓度为3.5%的NaCl溶液中进行腐蚀实验,结果镀TiN膜的镁锂合金样品析氢速率很慢;用SEM进行腐蚀表面观察,未镀TiN薄膜的合金表面比镀TiN薄膜的合金表面腐蚀严重,说明在Mg-Li合金表面沉积TiN薄膜提高了镁锂合金的抗腐蚀性.
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关键词
镁锂合金
TIN薄膜
抗腐蚀性
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职称材料
题名
直流磁控溅射法在Mg-Li合金表面沉积TiN薄膜提高合金抗腐性的研究
被引量:
3
1
作者
高福毅
陈玉强
彭鸿雁
薛晓宇
姜宏伟
机构
牡丹江
师范
学院新型碳基功能与超硬材料省级重点
实验室
哈尔滨工程
大学
超轻材料与表面技术教育部重点
实验室
东北师范大学物理实验室
出处
《牡丹江师范学院学报(自然科学版)》
2010年第1期13-16,共4页
文摘
TiN薄膜具有良好的抗腐蚀性,采用直流磁控溅射法低温下合成TiN薄膜可以节约能源,简化工艺.采用直流磁控溅射法在Mg-Li合金表面沉积TiN膜,TiN膜厚度约为1.6μm,靶材为纯度99.99%的钛靶.用X射线衍射仪(XRD)来表征薄膜的成分,薄膜的表面形貌用扫描隧道显微镜(SEM)以及原子力电子显微镜(AFM)来表征.将样品放入浓度为3.5%的NaCl溶液中进行腐蚀实验,结果镀TiN膜的镁锂合金样品析氢速率很慢;用SEM进行腐蚀表面观察,未镀TiN薄膜的合金表面比镀TiN薄膜的合金表面腐蚀严重,说明在Mg-Li合金表面沉积TiN薄膜提高了镁锂合金的抗腐蚀性.
关键词
镁锂合金
TIN薄膜
抗腐蚀性
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流磁控溅射法在Mg-Li合金表面沉积TiN薄膜提高合金抗腐性的研究
高福毅
陈玉强
彭鸿雁
薛晓宇
姜宏伟
《牡丹江师范学院学报(自然科学版)》
2010
3
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