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各向异性腐蚀表面粗糙度的“应力模型” 被引量：1
1
作者 郝达兵 姜岩峰 +1 位作者 黄庆安 王维波 《光电子技术》 CAS 2003年第3期202-206,共5页
微电子机械系统 ( MEMS)关键的体加工工艺——各向异性腐蚀的样品表面会出现一定程度的不平面貌 ,针对这一现象提出了“应力模型”,用来解释腐蚀后表面粗糙度出现的物理机制 ,对表面激活能、腐蚀液激活能等物理概念进行了分析 ,提出了... 微电子机械系统 ( MEMS)关键的体加工工艺——各向异性腐蚀的样品表面会出现一定程度的不平面貌 ,针对这一现象提出了“应力模型”,用来解释腐蚀后表面粗糙度出现的物理机制 ,对表面激活能、腐蚀液激活能等物理概念进行了分析 ,提出了腐蚀表面粗糙度的计算公式 ,解释了各向异性腐蚀与表面形貌相关的实验现象。 展开更多
关键词 各向异性腐蚀 表面粗糙度 “应力模型” 表面激活能 腐蚀液激活能
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