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“中国科学院上海光学精密机械研究所建所60周年”纪念专辑前言
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作者 陈卫标 李学春 +3 位作者 冷雨欣 邵宇川 吉亮亮 王俊 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期1-2,F0002,共3页
2024年是中国科学院上海光学精密机械研究所建所60周年,值此之际,我们联合《中国激光》策划出版“中国科学院上海光学精密机械研究所建所60周年”纪念专辑,旨在全面介绍我所在光学及激光领域中的最新研究成果。中国科学院上海光学精密... 2024年是中国科学院上海光学精密机械研究所建所60周年,值此之际,我们联合《中国激光》策划出版“中国科学院上海光学精密机械研究所建所60周年”纪念专辑,旨在全面介绍我所在光学及激光领域中的最新研究成果。中国科学院上海光学精密机械研究所始建于1964年。 展开更多
关键词 中国科学院 激光领域 最新研究成果 策划出版 上海光学精密机械研究所 《中国激光》 纪念
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离轴非球面干涉测量中标记点最优排布求解与畸变误差校正方法(特邀)
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作者 闫烁 万嵩林 +7 位作者 李瀚捷 韩宜池 牛振岐 吴珍 路晴 江国昌 沈鹏程 魏朝阳 《光学学报(网络版)》 2024年第3期33-42,共10页
为了在有限标记点数量下实现更高精度的畸变校正,提出一种基于泽尼克多项式的标记点最优排布求解与逆向拟合畸变校正方法。校正过程不直接依据测量结果中标记点位置误差拟合得到的畸变分布,而是先基于标记点在元件真实位置下的畸变误差... 为了在有限标记点数量下实现更高精度的畸变校正,提出一种基于泽尼克多项式的标记点最优排布求解与逆向拟合畸变校正方法。校正过程不直接依据测量结果中标记点位置误差拟合得到的畸变分布,而是先基于标记点在元件真实位置下的畸变误差进行拟合,再逆向求解恢复畸变分布,可有效避免畸变引入的高阶误差;同时,建立基于矩阵条件数最小化的标记点分布求解算法,得到以泽尼克多项式为基函数的标记点最优排布坐标。在更少的标记点数量需求下,所提方法的校正精度相比传统方法提升了7倍以上。该方法成功应用于有效口径为150 mm双曲率椭球镜(非球面度为8.86 mm,最大畸变量为79 mm)的检测及加工过程中,平均校正精度可达0.252 mm,最终面形精度(RMS)达到0.029λ,有力支撑了相关重要元件的制造。 展开更多
关键词 干涉检测 畸变校正 条件数 泽尼克多项式
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