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题名双面键合长波长垂直腔面发射激光器的制备与分析
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作者
何国荣
渠红伟
郑婉华
陈良惠
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机构
深圳信息职业技术学院电子通信技术系
中国科学院半导体研究所光电子中心．北京
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2010年第4期618-622,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60837001)
信息学院青年自然科学基金项目(QN-08011)
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文摘
研制了双面键合长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL),有效克服了传统外延生长方法存在的诸多难题。通过对布拉格反射镜、有源区和光学腔的设计,结合键合技术进行工艺设计,于国内首次研制出双面键合长波长VCSEL,并分别采用光泵浦和电泵浦对其进行了测试与分析。测试结果表明结构及工艺设计是合理的,两次键合后的界面可以承受腐蚀、剥离、氧化等后工艺,且键合界面光、电性能良好,未对激光器性质造成明显的不良影响。器件激射波长约为1 273.6 nm,脉冲条件下表现出动态单纵模特性,在仪器测试范围内,20μm尺寸的器件常温连续工作条件下的最大输出功率为0.16 mW。但P-I曲线的扭折说明器件仍旧存在着较大的热、电阻,需在后续的材料生长及键合技术中进一步优化。
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关键词
垂直腔面发射激光器(VCSEL)
键合
布拉格反射镜(DBR)
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Keywords
Vertical cavity surface emitting laser（VCSEL）
Bonding
Distributed Brag reflector（DBR）
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分类号
O485
[理学—固体物理]
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