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悬浮液等离子喷涂制备Y_(2)O_(3)涂层及耐等离子刻蚀性 被引量：1
1
作者 马文 申喆 +3 位作者 刘琪 高元明 白玉 李荣星 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期929-936,共8页
随着高端芯片竞争的白热化,Y_(2)O_(3)涂层作为等离子体刻蚀工艺腔的重要组成部分,对其研究逐渐成为科研热点。利用悬浮液等离子喷涂(Suspension Plasma Spraying,SPS)在铝合金表面制备Y_(2)O_(3)涂层,研究了不同工艺参数对涂层的物相... 随着高端芯片竞争的白热化,Y_(2)O_(3)涂层作为等离子体刻蚀工艺腔的重要组成部分,对其研究逐渐成为科研热点。利用悬浮液等离子喷涂(Suspension Plasma Spraying,SPS)在铝合金表面制备Y_(2)O_(3)涂层,研究了不同工艺参数对涂层的物相组成、力学性能、显微形貌和介电强度等的影响;在CF4/Ar/O_(2)氟等离子体环境中对Y_(2)O_(3)涂层分别刻蚀30、60、120 min后,分析了Y2O3涂层微观孔隙率对刻蚀速率的影响。最优工艺1(喷涂距离80 mm、送液速率35 mL/min、雾化气流速15 L/min、横向移枪速率700 mm/s、纵向移动步进1 mm/step)制备的Y2O3涂层的显微硬度为(3.78±0.36)GPa,孔隙率为(2.35±0.24)%,结合强度为(36.0±3.6)MPa,介电强度为(29.74±2.01)kV/mm。在CF4/Ar/O_(2)组成的混合等离子气体中,Y_(2)O_(3)涂层发生物理和化学反应,Ar+对涂层强烈冲击、轰击诱导,使表面化学键断裂;CF_(2)^(*)和F^(*)使Y_(2)O_(3)不断被刻蚀,生成的YF3附着在涂层表面;同时Ar+不断对涂层表面进行物理冲击,去除YF3层,少量残余在涂层表面的YF3被氧化形成了YOF,最终导致涂层刻蚀率低至(11.48±5.21)nm/min。高致密性、低孔隙率、高均匀性的Y_(2)O_(3)涂层可以有效提高零件的耐等离子刻蚀性能,对半导体工业具有重要意义。 展开更多
关键词 悬浮液等离子喷涂 Y_(2)O_(3)涂层 孔隙率 耐等离子刻蚀性
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WC-10Co-4Cr含量对HVOF制备WC-10Co-4Cr/Ni60涂层性能的影响 被引量：1
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作者 赵宝辉 祝浩 +2 位作者 高元明 马文 郑飞 《热喷涂技术》 2023年第4期75-83,共9页
为改善农业机械工作部件的耐磨性和耐腐蚀性能,提高其使用寿命,采用超音速火焰喷涂的技术,在45#钢表面制备WC-10Co-4Cr/Ni60涂层。在Ni60粉末中分别添加质量分数为0、10%、20%和30%的WC-10Co-4Cr粉末,探究WC-10Co-4Cr含量对WC-10Co-4Cr/... 为改善农业机械工作部件的耐磨性和耐腐蚀性能,提高其使用寿命,采用超音速火焰喷涂的技术,在45#钢表面制备WC-10Co-4Cr/Ni60涂层。在Ni60粉末中分别添加质量分数为0、10%、20%和30%的WC-10Co-4Cr粉末,探究WC-10Co-4Cr含量对WC-10Co-4Cr/Ni60涂层性能的影响。结果表明,制备的WC-10Co-4Cr/Ni60涂层组织均匀致密,涂层主要由γ(NiCr)相和WC相组成,含有少量的W_(2)C、Ni_(3)Fe和Cr_(3)Si相,没有明显的氧化脱碳现象。30%WC-10Co-4Cr/Ni60涂层的硬度达到9.35 GPa,是Ni60涂层的1.23倍,该涂层的耐磨性能最好,在摩擦115 m后,单位面积的总磨损量47.2 mg/cm^(2),比Ni60涂层减少了35.3%。20%WC-10Co-4Cr/Ni60涂层的断裂韧性最高为6.04 MPa·m^(1/2),相较于Ni60涂层提高了24.3%,此外,该涂层在酸性环境中的耐腐蚀性能均最佳。 展开更多
关键词 超音速火焰喷涂 WC-10Co-4Cr/Ni60涂层 摩擦磨损 电化学腐蚀
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