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扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法（英文）
被引量：
11
1
作者
刘俭
谷康
+4 位作者
李梦周
由小玉
刘辰光
王宇航
谭久彬
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019年第4期549-556,共8页
扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,...
扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,描述了不准确轮廓、样品深度和探针形状之间的耦合关系;在此基础上,提出了一种具有良好精度的深度测量标定方法。与现有的国际深度测量标准(W/3规则)进行比较,该方法提供了一个明确的边界来确定测量结果是否有效;此外,它还可以指导用户在执行测量之前选择适当的探针。
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关键词
计量学
深度测量
微纳结构
扫描探针显微镜
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职称材料
题名
扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法（英文）
被引量：
11
1
作者
刘俭
谷康
李梦周
由小玉
刘辰光
王宇航
谭久彬
机构
哈尔滨工业大学现代显微仪器研究所
哈尔滨工业大学
超精密光电
仪器
工程
研究所
哈尔滨工业大学
空间基础科学
研究
中心
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019年第4期549-556,共8页
基金
国家自然科学基金(51775148)
装备预研领域基金(6140923020102)
黑龙江省杰出青年科学家基金(JC2017013)
文摘
扫描探针显微镜(SPM)是微纳结构三维测量中的一项重要技术。然而,在测量过程中台阶或沟槽样品的边缘附近会出现不准确的轮廓,这就造成了深度测量的精度损失。为了避免深度测量的精度损失,分别建立了机械探针和光学探针的两个分析模型,描述了不准确轮廓、样品深度和探针形状之间的耦合关系;在此基础上,提出了一种具有良好精度的深度测量标定方法。与现有的国际深度测量标准(W/3规则)进行比较,该方法提供了一个明确的边界来确定测量结果是否有效;此外,它还可以指导用户在执行测量之前选择适当的探针。
关键词
计量学
深度测量
微纳结构
扫描探针显微镜
Keywords
metrology
depth measurement
nano/microstructure
scanning probe microscopy
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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被引量
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1
扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法（英文）
刘俭
谷康
李梦周
由小玉
刘辰光
王宇航
谭久彬
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019
11
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