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脉冲激光沉积非晶态Ni-V_2O_5复合薄膜及其电化学性能研究 被引量：8
1
作者 储艳秋 黄峰 秦启宗 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2002年第3期193-197,共5页
首次报道了用 35 5nm脉冲激光沉积非晶态Ni V2 O5复合薄膜电极的电化学性能 .采用不同摩尔比的NixV2 O5靶 (x =0 .1,0 .3,0 .5 ) ,在不同的基片温度 (Ts)和O2 气压力下制备了Ni V2 O5复合薄膜 .XRD和SEM测定表明 ,在不锈钢基片上 ,Ts=3... 首次报道了用 35 5nm脉冲激光沉积非晶态Ni V2 O5复合薄膜电极的电化学性能 .采用不同摩尔比的NixV2 O5靶 (x =0 .1,0 .3,0 .5 ) ,在不同的基片温度 (Ts)和O2 气压力下制备了Ni V2 O5复合薄膜 .XRD和SEM测定表明 ,在不锈钢基片上 ,Ts=30 0℃和氧气压力为 14Pa沉积 0 .5h得到的是非晶态的Ni V2 O5薄膜 .将此非晶态的Ni0 .3 V2 O5薄膜电极用于锂电池的正极 ,与纯V2 O5薄膜相比 ,不仅具有良好的放电速率性能和高的比容量 ,而且其充放电循环稳定性优异 .该薄膜电极在放电速率为 2 0C时测得的比容量达 2 0 0mAh/ g ,并经 10 0 展开更多
关键词 电化学性能 脉冲激光沉积 五氧化二钒 复合薄膜 非晶态 锂离子 锂离子电池 正极材料 镍
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激光电离飞行时间质谱法研究Al原子与卤代甲烷气相化学反应 被引量：1
2
作者 梁彬勇 宁西京 秦启宗 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1998年第2期109-113,共5页
利用分子束和飞行时间质谱技术研究了激光烧蚀金属Ａｌ原子与４种不同的卤代甲烷：ＣＣｌ４、ＣＦ３Ｃｌ。ＣＦ３Ｂｒ、ＣＦ４的气相反应。由激光电离飞行时间质谱检测的结果表明，Ａｌ与ＣＦ３Ｃｌ反应生成ＡｌＣｌ，而与ＣＦ３Ｂｒ反... 利用分子束和飞行时间质谱技术研究了激光烧蚀金属Ａｌ原子与４种不同的卤代甲烷：ＣＣｌ４、ＣＦ３Ｃｌ。ＣＦ３Ｂｒ、ＣＦ４的气相反应。由激光电离飞行时间质谱检测的结果表明，Ａｌ与ＣＦ３Ｃｌ反应生成ＡｌＣｌ，而与ＣＦ３Ｂｒ反应生成ＡｌＢｒ，与ＣＣｌ４及ＣＦ４反应分别生成ＡｌＣｌ及ＡｌＦ。可以认为此类反应是一步完成的，反应势垒的主要来源是活性原子与中心Ｃ原子的Ｃｏｕｌｏｍｂ引力。 展开更多
关键词 卤代甲烷 飞行时间质谱 铝原子 气相反应
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脉冲激光沉积法制备SnSe薄膜电极及其电化学性质 被引量：4
3
作者 薛明喆 程孙超 +1 位作者 姚佳 傅正文 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第3期383-387,共5页
采用脉冲激光溅射Sn和Se粉末的混合靶制备SnSe薄膜,XRD结果显示室温下得到的是Sn和Se的混合薄膜,当基片温度为200℃时,薄膜主要由晶态的SnSe组成.该薄膜的首次放电容量为498mAh·g-1,30次循环之后的放电容量为260mAh·g-1.充放... 采用脉冲激光溅射Sn和Se粉末的混合靶制备SnSe薄膜,XRD结果显示室温下得到的是Sn和Se的混合薄膜,当基片温度为200℃时,薄膜主要由晶态的SnSe组成.该薄膜的首次放电容量为498mAh·g-1,30次循环之后的放电容量为260mAh·g-1.充放电测试、循环伏安曲线和ex-situXRD结果显示,SnSe能够和Li发生可逆的电化学反应,充电过程中能够重新生成SnSe,表现出不同于其它氧族元素锡化物的电化学性质. 展开更多
关键词 SnSe 脉冲激光沉积 锂离子电池 薄膜
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脉冲激光沉积CuF2薄膜的电化学性能 被引量：4
4
作者 张华 周永宁 +1 位作者 吴晓京 傅正文 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1287-1291,共5页
采用脉冲激光沉积法在不锈钢基片上制备了纳米结构的CuF2薄膜,其充放电性能显示该薄膜具有540mAh·g-1可逆容量,对应于每个CuF2可与2.0个Li发生反应.其循环伏安特性显示在2.2和2.8V(vsLi/Li+)处出现了一对新的氧化还原峰.充放电后... 采用脉冲激光沉积法在不锈钢基片上制备了纳米结构的CuF2薄膜,其充放电性能显示该薄膜具有540mAh·g-1可逆容量,对应于每个CuF2可与2.0个Li发生反应.其循环伏安特性显示在2.2和2.8V(vsLi/Li+)处出现了一对新的氧化还原峰.充放电后薄膜的组成与结构通过非原位高分辨电子显微和选区电子衍射来表征.结果揭示了纳米结构CuF2薄膜的电化学反应机理,LiF在过渡金属Cu的驱动下可以发生可逆的分解和形成. 展开更多
关键词 CuF2 薄膜 脉冲激光沉积 锂离子电池
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LiF-Ni纳米复合薄膜的电化学性能研究 被引量：3
5
作者 周永宁 吴长亮 +2 位作者 张华 吴晓京 傅正文 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1111-1115,共5页
采用脉冲激光沉积法在不锈钢基片上制备了LiF-Ni纳米复合薄膜,用充放电和循环伏安实验测量了该薄膜的电化学性能.首次充电容量为107mAh·g-1,它对应第一次释放锂的过程.在充放电循环过程中,锂的嵌入、脱出通过非原位高分辨电子显微... 采用脉冲激光沉积法在不锈钢基片上制备了LiF-Ni纳米复合薄膜,用充放电和循环伏安实验测量了该薄膜的电化学性能.首次充电容量为107mAh·g-1,它对应第一次释放锂的过程.在充放电循环过程中,锂的嵌入、脱出通过非原位高分辨电子显微和选区电子衍射得到证实.这一结果为LiF可以由过渡金属Ni驱动分解提供了直接的实验证据. 展开更多
关键词 LiF-Ni 纳米复合薄膜 脉冲激光沉积 电化学反应
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溶胶-凝胶法制备LiCo_xMn_(2-x)O_4及电化学性能研究 被引量：7
6
作者 蔡羽 赵胜利 +1 位作者 文九巴 刘文元 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期38-41,共4页
采用溶胶-凝胶（sol-gel）法制备了颗粒较小（100-300nm）、分布均匀的尖晶石LiCoxMn2-xO4粉体,研究了不同掺杂水平对其结构及电化学性能的影响。结果表明,掺杂少量Co于LiMn2O4中并不改变材料的尖晶石结构;随着Co掺杂量增加,材料结构稳... 采用溶胶-凝胶（sol-gel）法制备了颗粒较小（100-300nm）、分布均匀的尖晶石LiCoxMn2-xO4粉体,研究了不同掺杂水平对其结构及电化学性能的影响。结果表明,掺杂少量Co于LiMn2O4中并不改变材料的尖晶石结构;随着Co掺杂量增加,材料结构稳定性提高,极化降低,首次放电比容量逐渐减小,但充放电循环性能却明显改善;在低温（500℃）条件下退火6h后,LiCoxMn2-xO4粉体的放电比容量稍有增加,但对循环性能影响不大;在电流密度0.1mA/cm^2和截止电压3.5-4.4V时,LiCo0.1Mn1.9O4粉体首次放电比容量达123mAh/g,20次循环后的稳定放电比容量为106mAh/g,具有较好的电化学性能。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶(sol-gel)法 LiCoxMn2-xO4粉体 掺杂 电化学性质
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脉冲激光沉积LiFePO_4阴极薄膜材料及其电化学性能 被引量：10
7
作者 薛明喆 傅正文 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第7期707-710,共4页
采用脉冲激光沉积结合高温退火的方法在不锈钢基片上制备了LiFePO4薄膜电极.XRD谱图显示,经650℃退火制得的是具有橄榄石结构的LiFePO4薄膜.充放电测试表明,LiFePO4薄膜具有3.45/3.40V的充放电平台,与LiFePO4粉体材料相当.首次放电容量... 采用脉冲激光沉积结合高温退火的方法在不锈钢基片上制备了LiFePO4薄膜电极.XRD谱图显示,经650℃退火制得的是具有橄榄石结构的LiFePO4薄膜.充放电测试表明,LiFePO4薄膜具有3.45/3.40V的充放电平台,与LiFePO4粉体材料相当.首次放电容量约为27mAh·g-1,充放电循环100次后容量衰减51%. 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 锂离子电池 LiFeO4 薄膜
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脉冲激光沉积GeO_2薄膜的电化学性能 被引量：2
8
作者 周永宁 张华 +2 位作者 吴长亮 吴晓京 傅正文 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1353-1357,共5页
采用脉冲激光沉积法在不锈钢基片上制备了GeO2薄膜。充放电性能显示其具有高达1336mAh·g-1可逆容量,这相当于每个GeO2可与5.1个Li发生反应。其循环伏安特性显示在1.2V和0.4V处出现一对新的氧化还原峰。充放电后薄膜的组成与结构通... 采用脉冲激光沉积法在不锈钢基片上制备了GeO2薄膜。充放电性能显示其具有高达1336mAh·g-1可逆容量,这相当于每个GeO2可与5.1个Li发生反应。其循环伏安特性显示在1.2V和0.4V处出现一对新的氧化还原峰。充放电后薄膜的组成与结构通过非原位高分辨电子显微和选区电子衍射来表征。结果显示在外电场作用下,Ge能够可逆地驱动Li2O分解和形成。这是金属氧化物的一种新的电化学反应机理。 展开更多
关键词 GeO2 薄膜 脉冲激光沉积 锂离子电池
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脉冲激光烧蚀金属氧化物的物理化学过程及反应机理 被引量：4
9
作者 党海军 秦启宗 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期216-223,共8页
本文回顾了前人有关脉冲激光烧蚀过程的各种理论模型,重点综述了脉冲激光烧蚀金属氧化物的物 理化学过程及反应机理,并对激光能量不很高时金属氧化物的烧蚀过程提出了热控制机制的新观点。
关键词 脉冲激光 烧蚀 金属氧化物 反应机理 热控制
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脉冲激光沉积法制备FeSe薄膜电极及其电化学性质 被引量：4
10
作者 薛明喆 傅正文 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第23期2715-2719,共5页
采用脉冲激光溅射Fe和Se粉末的混合靶制备FeSe薄膜并用XRD、充放电和循环伏安测试研究了薄膜的结构和电化学性质.XRD结果显示,当基片温度为200℃时,薄膜主要由晶态的FeSe组成.在电压1.0～3.0V范围内,该薄膜的可逆容量为360.8mAh·g... 采用脉冲激光溅射Fe和Se粉末的混合靶制备FeSe薄膜并用XRD、充放电和循环伏安测试研究了薄膜的结构和电化学性质.XRD结果显示,当基片温度为200℃时,薄膜主要由晶态的FeSe组成.在电压1.0～3.0V范围内,该薄膜的可逆容量为360.8mAh·g-1,经过100次循环之后的放电容量为396.5mAh·g-1,具有很好的循环性能.ex situ XRD结果显示FeSe能够和Li发生可逆的电化学反应,颗粒尺寸大于5nm的纳米铁颗粒能够驱动Li2Se的分解并在充电过程中重新生成FeSe.FeSe具有较高的可逆容量和较好的循环性能,可能成为一种优良的锂二次电池正极材料. 展开更多
关键词 FESE 脉冲激光沉积 薄膜 电化学
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脉冲激光沉积MnF2薄膜的电化学性能 被引量：1
11
作者 崔艳华 薛明喆 +6 位作者 胡可 李达 汪小琳 苏伟 刘效疆 孟凡明 傅正文 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期145-150,共6页
采用脉冲激光沉积法在不锈钢基片上制备了纳米结构的MnF2薄膜.充放电测试显示该薄膜在2μA/cm2的放电电流下,前50次循环具有350~530mAh/g的可逆容量.在循环伏安测试中得到了0.5和1.0V的可逆氧化还原峰,分别代表了MnF2在充放电时的可逆反... 采用脉冲激光沉积法在不锈钢基片上制备了纳米结构的MnF2薄膜.充放电测试显示该薄膜在2μA/cm2的放电电流下,前50次循环具有350~530mAh/g的可逆容量.在循环伏安测试中得到了0.5和1.0V的可逆氧化还原峰,分别代表了MnF2在充放电时的可逆反应.薄膜的晶体结构和形貌采用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）分析,充放电后薄膜的组成与结构通过高分辨电子显微镜和选区电子衍射来表征.实验结果揭示了纳米结构MnF2薄膜与Li的电化学反应机理,LiF在首次放电后形成的纳米粒子在过渡金属Mn颗粒的驱动下,可以发生可逆的分解和形成.MnF2薄膜较小的极化和较高的容量使其可用作锂离子电池阳极材料. 展开更多
关键词 MnF2 薄膜 脉冲激光沉积 锂离子电池
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Li_2O-V_2O_5-SiO_2薄膜结构与电化学性能研究 被引量：1
12
作者 蔡羽 赵胜利 +1 位作者 文九巴 刘先年 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1413-1415,1419,共4页
采用355nm脉冲激光沉积（PLD）法以Li6．16V0.61Si0.39O5．36为靶制备了Li2O-V2O5-SiO2薄膜。由X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、表面轮廓、交流阻抗（ACI）、直流极化（DCP）等方法对薄膜的形貌、结构及电化学性能进行表征... 采用355nm脉冲激光沉积（PLD）法以Li6．16V0.61Si0.39O5．36为靶制备了Li2O-V2O5-SiO2薄膜。由X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、表面轮廓、交流阻抗（ACI）、直流极化（DCP）等方法对薄膜的形貌、结构及电化学性能进行表征，讨论了Li2O-V2O5-SiO2薄膜电化学性能与其结构的关系。结果表明，该薄膜是一种元针孔和裂缝、厚度均匀、组成致密的非晶态结构；Li2O-V2O5-SiO2薄膜离子电导率与温度符合Arrhenius关系，离子迁移数接近1．0（tion〉99．999％），是一种性能良好的离子导体材料；Li2O-V2O5-SiO2薄膜室温时离子电导率达4．0×10^-7S／cm，而电子电导率仅为10^-11～10^-12S／cm，可作为电解质材料用于全固态薄膜锂电池。 展开更多
关键词 无机非金属材料 Li2O-V2O5-SiO2 脉冲激光沉积 薄膜 结构 电化学性质
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锑硅纳米复合薄膜作为钠离子电池负极材料的电化学行为研究 被引量：4
13
作者 肖娜 潘洋 +3 位作者 宋云 吴晓京 傅正文 周永宁 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期494-500,共7页
近年来,合金作为钠离子电池的负极材料具有较高的比容量而受到广泛关注。然而,硅与钠离子的电化学反应活性很低,硅基合金型负极材料鲜有报道。本研究通过脉冲激光沉积技术制备了锑硅(Sb-Si)纳米复合薄膜,并对其作为钠离子电池负极材料... 近年来,合金作为钠离子电池的负极材料具有较高的比容量而受到广泛关注。然而,硅与钠离子的电化学反应活性很低,硅基合金型负极材料鲜有报道。本研究通过脉冲激光沉积技术制备了锑硅(Sb-Si)纳米复合薄膜,并对其作为钠离子电池负极材料的电化学性能和反应机理进行了研究。电化学性能表征发现,锑硅纳米复合薄膜在10μA/cm^2的电流密度下,循环100次后能保持约0.011 mAh/cm^2(270 mAh/g)的可逆比容量,远优于同样方法和条件下制备的单质锑和单质硅薄膜电极的电化学性能。进一步的研究表明,在放电过程中,Sb和Si分别和钠离子发生合金化反应生成了Na_3Sb和NaSi的纳米晶。在充电过程中,Na_3Sb和NaSi纳米晶发生可逆的脱钠反应,重新形成单质Sb和Si纳米晶粒。大量存在于锑硅纳米复合薄膜中的异质晶界有利于钠离子的扩散和输运,从而提高了纳米复合薄膜电极的电化学性能。 展开更多
关键词 钠离子电池 负极材料 锑硅复合材料 薄膜 脉冲激光沉积
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脉冲激光沉积CrP薄膜及其电化学性能 被引量：1
14
作者 吴济今 孙正 傅正文 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1761-1766,共6页
采用脉冲激光溅射Cr和P粉的混合靶成功制备了CrP薄膜,选区电子衍射(SAED)和光电子能谱(XPS)分析显示经过真空原位400℃退火以后,薄膜主要由多晶态的CrP组成。非原位HRTEM和SEM测试结果表明CrP薄膜在充放电前后的形貌有较大的改变。SAED... 采用脉冲激光溅射Cr和P粉的混合靶成功制备了CrP薄膜,选区电子衍射(SAED)和光电子能谱(XPS)分析显示经过真空原位400℃退火以后,薄膜主要由多晶态的CrP组成。非原位HRTEM和SEM测试结果表明CrP薄膜在充放电前后的形貌有较大的改变。SAED、充放电和循环伏安测试证实了CrP和锂的电化学反应机理如下:CrP在Li+的驱动下,生成了Cr和Li3P。在其后的充放电过程中,发生了Li在LiP中可逆的嵌入和脱出反应。由于CrP首次容量高达1168mAh·g-1以及在0.7V左右具有平稳的放电平台,显示了它可能成为一种新型的锂离子电池的负极材料。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 锂离子电池 CRP 薄膜
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激光化学气相沉积法制备铜膜的性能与形态分析
15
作者 茅敦民 连志睿 +1 位作者 金忠 秦启宗 《量子电子学》 CSCD 1995年第2期169-173,共5页
本文对以二（乙酸丙酮根）合铜（Ⅱ）和二（三甲基乙酰三氟代丙酮根）合铜（Ⅱ）为母体的化合物，用１０．６μｍ和２８０ｎｍ激光气相沉积法生成铜膜的形态及性能采用探针轮廓仪、扫描电子显微镜和四探针法进行了分析，观察到紫外激光... 本文对以二（乙酸丙酮根）合铜（Ⅱ）和二（三甲基乙酰三氟代丙酮根）合铜（Ⅱ）为母体的化合物，用１０．６μｍ和２８０ｎｍ激光气相沉积法生成铜膜的形态及性能采用探针轮廓仪、扫描电子显微镜和四探针法进行了分析，观察到紫外激光生成铜膜中具有环状周期性图案的现象。 展开更多
关键词 激光 化学气相沉积 铜膜 金属有机化合物
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三维尖晶石Li_4Ti_5O_(12)纳米丝网状电极的构置与电化学性能 被引量：5
16
作者 陆海纬 周永宁 +2 位作者 曾韡 李越生 傅正文 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1802-1806,共5页
首次采用电纺丝技术结合高温退火成功地构置了含尖晶石Li4Ti5O12的纳米纤维丝三维(3D)网状结构,并测量了三维电池的充放电性能。X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和电池循环性能测试等方法表征纤维丝3D结构和电化学性能。研究结... 首次采用电纺丝技术结合高温退火成功地构置了含尖晶石Li4Ti5O12的纳米纤维丝三维(3D)网状结构,并测量了三维电池的充放电性能。X射线衍射谱(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和电池循环性能测试等方法表征纤维丝3D结构和电化学性能。研究结果表明了Li4Ti5O12纳米丝的零应变特性、构建的3D阵列的结构稳定性和在大电流密度下较好的充放电性能。显示了Li4Ti5O12可作为3D电池的电极材料。 展开更多
关键词 电纺丝 纳米纤维丝 尖晶石Li4Ti5O12 三维锂离子电池
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全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5｜LiPON｜Li的制备及电化学性能 被引量：6
17
作者 赵胜利 文九巴 +1 位作者 祝要民 秦启宗 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期91-94,共4页
采用紫外脉冲激光沉积（PLD）法制备了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜,结合真空热蒸镀法原位组装0.3Ag-V2O5｜LiPON｜Li薄膜电池。由扫描电镜（SEM）和X射线衍射（XRD）表征了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜形貌与结构,利用恒电流充放电、循环伏安等技... 采用紫外脉冲激光沉积（PLD）法制备了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜,结合真空热蒸镀法原位组装0.3Ag-V2O5｜LiPON｜Li薄膜电池。由扫描电镜（SEM）和X射线衍射（XRD）表征了0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜形貌与结构,利用恒电流充放电、循环伏安等技术考察了薄膜电池的电化学性能。结果表明,采用PLD方法在O2气氛和N2气氛中分别获得了表面均匀、无针孔、无裂缝、具有非晶态结构的0.3Ag-V2O5和LiPON薄膜。在电压1.0-4.0V,充放电速率2C时,以厚度100nm的0.3Ag-V2O5薄膜为阴极组装的液态电解质电池循环1000次后稳定容量仍为260mAh/g,表现出良好的循环性能。PLD沉积的Li-PON电解质薄膜具有很好的锂离子导电能力,室温离子电导率为1.6×10^-6S/cm,电子电导率〈10^-14S/cm。在电流密度7μA/cm^2,电压1.0-3.5V条件下全固态薄膜锂电池0.3Ag-V2O5│LiPON│Li的循环性能良好,100次循环后的体积比容量达40μAh/（μm.cm^2）。 展开更多
关键词 全固态 薄膜锂电池 0.3Ag-V2O5薄膜 LiPON薄膜 PLD
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NiO阳极薄膜制备与电化学性能 被引量：4
18
作者 赵胜利 文九巴 +1 位作者 祝要民 秦启宗 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期494-497,共4页
采用真空蒸镀并辅以热氧化法制备了NiO电极薄膜,考察了氧化温度对薄膜结构与电化学性能的影响. 结果表明,在600～700 ℃氧化温度下制备的NiO薄膜由颗粒大小为56～81 nm的纳晶组成. NiO薄膜的可逆放电容量随氧化温度的升高而增大,循环性... 采用真空蒸镀并辅以热氧化法制备了NiO电极薄膜,考察了氧化温度对薄膜结构与电化学性能的影响. 结果表明,在600～700 ℃氧化温度下制备的NiO薄膜由颗粒大小为56～81 nm的纳晶组成. NiO薄膜的可逆放电容量随氧化温度的升高而增大,循环性能却略有降低. 在600 ℃氧化2 h时制得的NiO薄膜具有较高的放电容量和很好的循环性能. 展开更多
关键词 NiO薄膜 真空蒸发 热氧化
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激光烧蚀金属氯化物的发光光谱和飞行时间质谱研究
19
作者 周鸣飞 王朝辉 +1 位作者 施世明 秦启宗 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第2期286-289,共4页
测定了３５５ｎｍ紫外线光烧蚀ＡｇＣｌ，ＣｕＣｌ和ＣｕＣｌ２产生的等离子体发光光谱顺３００～５００ｎｍ范围内的发光谱线可归属为激光态金属原子的发射线，飞行时间质谱测定表明激光烧蚀产生的正，负离子主要有Ａｇ，Ｃｕ，Ｃｕ２... 测定了３５５ｎｍ紫外线光烧蚀ＡｇＣｌ，ＣｕＣｌ和ＣｕＣｌ２产生的等离子体发光光谱顺３００～５００ｎｍ范围内的发光谱线可归属为激光态金属原子的发射线，飞行时间质谱测定表明激光烧蚀产生的正，负离子主要有Ａｇ，Ｃｕ，Ｃｕ２Ｃｌ＾＋，Ｃｕ２Ｃｌ２＾＋，Ｃｕ３Ｃｌ２及Ｃｌ，ＡｇＣｌ，ＡｇＣｌ２，Ａｇ２Ｃｌ３，ＣｕＣｌ，ＣｕＣｌ２，Ｃｕ２Ｃｌ３等，对激光烧蚀机理也进行了讨论。 展开更多
关键词 激光烧蚀 金属氯化物 发光光谱 质谱
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紫外脉冲激光烧蚀沉积Ta_2O_5薄膜过程的研究
20
作者 傅正文 周鸣飞 +1 位作者 韩镇辉 秦启宗 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 1997年第6期487-491,共5页
对３５５ｎｍ激光烧蚀沉积Ｔａ２Ｏ５薄膜的过程进行了研究。由时间分辨四极质谱测得烧蚀Ｔａ２Ｏ５产生的正离子有Ｔａ＋、Ｏ＋、ＴａＯ＋和ＴａＯ＋２，中性粒子有Ｏ、Ｔａ、ＴａＯ和ＴａＩＯ２，并测定了它们的飞行时间（ＴＯＦ）谱... 对３５５ｎｍ激光烧蚀沉积Ｔａ２Ｏ５薄膜的过程进行了研究。由时间分辨四极质谱测得烧蚀Ｔａ２Ｏ５产生的正离子有Ｔａ＋、Ｏ＋、ＴａＯ＋和ＴａＯ＋２，中性粒子有Ｏ、Ｔａ、ＴａＯ和ＴａＩＯ２，并测定了它们的飞行时间（ＴＯＦ）谱。在不同压强的Ｏ２气氛下，由测得的时间分辨发光光谱表明，烧蚀产物在向基片飞行过程在发生了氧化反应。对沉积薄膜的组成分析表明，钽及其氧化物在基片上存在进一步氧化过程。 展开更多
关键词 超大集成电路 脉冲激光沉积 PLD 五氧化二钽薄膜
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