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采用环形扩散电阻的硅压力传感器 被引量：1
1
作者 唐祯安 蒋国平 牛德芳 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1992年第6期1-3,共3页
本文通过对C型硅杯式压力传感器工艺误差的分析,介绍了采用环形扩散电阻的优点,设计方法和实验结果。
关键词 传感器 压力传感器 硅 压阻式
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