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显微精密成像与微型机械尺寸检测技术 被引量:25
1
作者 王向军 王峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期511-513,共3页
讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准 ,对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定 ,以实现视觉检测系统的精密数字成像 ,为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段。对若干... 讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准 ,对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定 ,以实现视觉检测系统的精密数字成像 ,为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段。对若干问题进行了详细的讨论 ,显微视觉检测是微机械量微几何量计量中最有效的方法之一 ,而精密数字成像是必须解决的问题之一。研究精密数字成像是视觉检测技术向微观检测领域发展所必须解决的科研课题。 展开更多
关键词 视觉计量 微电机械系统 纳米基准 显微精密成像 微型机械 尺寸控制
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太赫兹光谱技术在生物活性肽检测中应用研究 被引量:6
2
作者 王璞 何明霞 +3 位作者 李萌 曲秋红 刘锐 陈永德 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期2696-2701,共6页
生物活性肽作为21世纪人类健康的新宠儿,研究证明其对人体生命活动有着很好的作用,其检测方法也是备受关注,太赫兹时域光谱技术因为其独特的性质在检测生物活性肽中有着不可比拟的优势。选用牛骨肽、海参肽和牛肽这三种生物活性肽,通过... 生物活性肽作为21世纪人类健康的新宠儿,研究证明其对人体生命活动有着很好的作用,其检测方法也是备受关注,太赫兹时域光谱技术因为其独特的性质在检测生物活性肽中有着不可比拟的优势。选用牛骨肽、海参肽和牛肽这三种生物活性肽,通过透射式太赫兹时域光谱系统得到其在0.5~2 THz的吸收系数曲线。从太赫兹吸收系数曲线来看,鱼肽吸收系数大于海参肽和牛骨肽。因为生物活性肽的氨基酸种类和肽键的相互作用,导致其在太赫兹频段内没有明显的吸收峰,为了更好的对其进行检测区分,建立分类判别模型,寻找出最适合这类物质的方法。在对太赫兹原始吸收系数数据进行S-G平滑处理,归一化预处理之后,随机选取四分之三预处理好的数据划分为训练集,其余为预测集,导入分类判别模型。模型包括分类器和最优参数选取两部分,分类器选取支持向量机,随机森林和极限学习机等有监督的分类方法,使用遗传算法、粒子群算法和网格搜索等智能优化算法选取支持向量机最优参数。为了减少原始光谱数据维数并提高模型的运算速度,使用主成分分析进行预处理,将降维之后的结果导入分类模型。综合考虑其准确率和运行时间等因素,虽然基于粒子群算法的支持向量机具有最高的准确率98.3%,但是运行时间较长为180 s;使用极限学习机能够有着最短的运行时间0.2 s,但是准确率为73.3%。基于网格搜索的支持向量机准确率为95%,运行时间为11 s,能够在准确率较高的情况下使用较短的时间,证明基于网格搜索的支持向量机对生物活性肽太赫兹吸收光谱具有快速,准确的分类结果。研究结果表明,利用太赫兹时域光谱技术结合机器学习算法能够实现快速、无损检测生物活性肽,为生物活性肽的检测提供了一种新思路,同时也为THz-TDS结合机器学习对吸收峰不明显的多肽之间的鉴别提供参考。 展开更多
关键词 生物活性肽 太赫兹时域光谱技术 机器学习 主成分分析
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光纤Bragg光栅用于高频应变测试的研究(英文) 被引量:5
3
作者 朱萍玉 林玉池 王为 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期135-139,共5页
提出了一种传感部分采用光纤Bragg光栅(Fiber Bragg grating,FBG)传感器的高频应变测试新方法。设计并构建了基于非平衡马赫-曾德(Mach-Zehnder)干涉仪的高频解调系统。完整的测试系统由FBG传感器、高频应变产生装置和解调系统三部分组... 提出了一种传感部分采用光纤Bragg光栅(Fiber Bragg grating,FBG)传感器的高频应变测试新方法。设计并构建了基于非平衡马赫-曾德(Mach-Zehnder)干涉仪的高频解调系统。完整的测试系统由FBG传感器、高频应变产生装置和解调系统三部分组成。所产生的应变信号的频率可以通过专门的实验装置来控制,这是一种广泛用于测试材料机械性能的变形分离式霍布金逊压杆(Split Hopkinson PressureBar,SHPB)实验装置,应变持续的时间根据与撞击弹性等径的冲锤长度计算。借助高频振动信号研究了测试系统可测信号的频率范围。给出了振动和冲击实验结果,并进行了讨论。所设计的系统可以实时测试动态应变的幅值,实验结果表明,该系统对频率为8kHz以下的信号具有好的响应。 展开更多
关键词 光纤BRAGG光栅 高频应变 非平衡马赫-曾德(Mach-Zehnder)干涉仪 测试
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超高速光导开关的机理及测试系统 被引量:1
4
作者 李源 刘庆纲 +1 位作者 匡登峰 胡小唐 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期484-486,490,共4页
超高速光导开关是纳米电子器件和纳米光电子器件的主要研究目标之一 ,本文在分析光导开关基本工作原理和关键技术的基础上 ,对光导器件的材料进行了研究和选择 ,设计了先导开关飞秒响应的测量装置 。
关键词 光导开关 飞秒响应 电光采样 飞秒激光器
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采用光平面交汇的大尺寸坐标测量方法 被引量:34
5
作者 杨凌辉 杨学友 +2 位作者 劳达宝 邾继贵 叶声华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2010年第6期1105-1109,共5页
工业大尺寸测量中常用的经纬仪、跟踪仪等多站式测量系统大多使用基于空间球坐标系的角度交汇测量方式。由于这种测量方法对测站轴系结构有严格的要求,导致现有的测量设备制造成本高、组装困难,并使最终测量结果受轴系误差影响较大。介... 工业大尺寸测量中常用的经纬仪、跟踪仪等多站式测量系统大多使用基于空间球坐标系的角度交汇测量方式。由于这种测量方法对测站轴系结构有严格的要求,导致现有的测量设备制造成本高、组装困难,并使最终测量结果受轴系误差影响较大。介绍了一种基于光平面交汇的多站式大尺寸测量方法。采用分布于工作空间内的多台激光发射站及接收器测量待测点坐标。建立了基于双旋转激光平面的单发射站数学模型,推导了接收器三维坐标计算公式并对基于光束平差原理的测站定向方法进行了讨论。新方法降低了对测站轴系精度的要求,提高了可靠性。实验结果证明:新方法的测量精度优于0.2mm。 展开更多
关键词 大尺寸坐标测量 多平面交汇测量 光束平差
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远距离高精度多普勒位移测量(英文) 被引量:5
6
作者 贺顺忠 刘金凤 +2 位作者 蒋诚志 刘宏利 康佳 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期56-59,共4页
通过泛函、激光散斑理论和随机过程各态遍历的研究,导出激光多普勒信号强度与聚焦光斑直径、接收透镜通光口径、光电接收器响应等参数间的关系,在此基础上设计出一种适用于远距离处面内位移测量的光路。此光路将高斯光束束腰聚焦在被测... 通过泛函、激光散斑理论和随机过程各态遍历的研究,导出激光多普勒信号强度与聚焦光斑直径、接收透镜通光口径、光电接收器响应等参数间的关系,在此基础上设计出一种适用于远距离处面内位移测量的光路。此光路将高斯光束束腰聚焦在被测体上,实现最小聚焦光斑和平面波叠加,此外采用大口径透镜接收散射光,用响应度高的光电接收器转换光电信号等措施获得高强度高信噪比的测量信号。将此光路用于 100m 处面内位移(49.70mm)测量,其精度可达 2%。此设计方法能用于振动或地震波的高精度检测。 展开更多
关键词 泛函分析 激光散斑 激光多普勒信号强度 位移测量
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纱线检测中光电传感器及其前置放大器设计 被引量:11
7
作者 董晓亮 李醒飞 +1 位作者 杨光 高雅彪 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第3期102-103,108,共3页
针对当今纱线检测中"色纱疵"难以检测的问题,设计了一种新型的光电传感器。通过专门的反射光检测通路感知由纱线反射回来的光强的变化,根据接收到的光强变化,判断有无纱疵。设计了前置放大电路,通过实验验证了该系统的可行性。
关键词 纱线检测 纱疵 光电 前置放大
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工作空间测量定位系统定向参数修正方法 被引量:6
8
作者 杨凌辉 邾继贵 +2 位作者 魏振忠 张广军 叶声华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第6期1629-1634,共6页
为保证工作空间测量定位系统的现场测量精度,需要在发射站姿态受到温度、震动等环境因素影响时对其定向参数进行修正。提出了一种以固定接收器为基准的定向参数修正方法,通过在工作空间内稳定参考点处安装的冗余接收器监控发射站工作状... 为保证工作空间测量定位系统的现场测量精度,需要在发射站姿态受到温度、震动等环境因素影响时对其定向参数进行修正。提出了一种以固定接收器为基准的定向参数修正方法,通过在工作空间内稳定参考点处安装的冗余接收器监控发射站工作状态并对定向参数进行实时在线修正,采用光平面参数描述的发射站几何模型推导了接收器坐标测量方程。在此基础上,以参考点坐标为已知条件,建立了基于共面约束的定向参数修正量优化方程,给出了平差解算方法。实验结果表明,当采用6个接收器进行修正时,系统坐标测量偏差在0.15 mm以内,满足现场大尺寸坐标测量的精度要求,有效提高了系统的可靠性、实用性。 展开更多
关键词 定向 光电扫描 大尺寸坐标测量 优化算法
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水轮机参数在线辨识及调节器参数自整定 被引量:5
9
作者 张霄元 郑玉森 +3 位作者 刘长胜 徐志恒 蒋诚志 陈林才 《电力系统及其自动化学报》 CSCD 2000年第2期16-18,共3页
本文以一般混流式水轮机的六参数模型为基础 ,推导了参数在线辨识的算法 ,研究了 PID调节器参数在线整定的方法 ,利用仿真技术对整套方案的实现进行了仿真 ,并对此自适应控制方案的性能进行了分析。
关键词 水轮机 在线辨识 自适应控制 调节器 自整定
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激光多普勒检波系统的研究 被引量:3
10
作者 贺顺忠 姚欣 +2 位作者 蒋诚志 杜振辉 刘金凤 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期190-192,共3页
为了进一步提高地震检波器的指标 ,研究了激光多普勒测量方法和微弱信号检测技术等 ,设计出了一种LD做光源的差动式激光多普勒检波系统 ,此系统采用高斯光束聚焦、大口径透镜接收 ,能接收到很强的多普勒信号 ,并且具有高的空间分辨力 ,... 为了进一步提高地震检波器的指标 ,研究了激光多普勒测量方法和微弱信号检测技术等 ,设计出了一种LD做光源的差动式激光多普勒检波系统 ,此系统采用高斯光束聚焦、大口径透镜接收 ,能接收到很强的多普勒信号 ,并且具有高的空间分辨力 ,同时 ,采用声光调制技术及锁相放大技术 ,提高了信号的信噪比 ,其结构简单、紧凑 ,装调方便 ,光能利用率和空间分辨力高 ,可测频率范围为 0 .5Hz~ 10 0 0Hz ;振幅范围为 2 μm~ 5mm ;频率测量精度为 0 .6 % ;振幅测量精度为 1% 展开更多
关键词 差动检波 激光多普勒 声光调制 锁相放大
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基于光电振荡器的长度测量方法温度误差 被引量:3
11
作者 邾继贵 郭庭航 +3 位作者 张涛 于晋龙 王菊 王婧 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期254-259,共6页
基于光电振荡器的距离测量方法将包含待测长度的空间光路耦合入光学谐振腔,通过测量振荡频率得到被测距离,借助振荡频率对谐振腔长的高敏感特性,具有实现大尺度高精度距离测量的潜力。但是长光纤作为谐振腔中的高Q值器件,容易受环境温... 基于光电振荡器的距离测量方法将包含待测长度的空间光路耦合入光学谐振腔,通过测量振荡频率得到被测距离,借助振荡频率对谐振腔长的高敏感特性,具有实现大尺度高精度距离测量的潜力。但是长光纤作为谐振腔中的高Q值器件,容易受环境温度影响,导致测量精度及稳定性严重恶化。文中理论分析了温度变化对距离测量的影响,建立并分析了温度误差与温度变化、光纤长度的关系。针对温度误差提出了系统参数优化方法,进行了不同长度光纤与温度误差的实验,实验结果与误差模型相符,为测量误差补偿奠定了基础。 展开更多
关键词 长度测量 光电振荡器 温度误差 误差模型
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双结构光视觉传感器圆钢在线测量系统的研究 被引量:4
12
作者 李杏华 张京美 陈培芬 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2015年第14期175-178,185,共5页
以提高双结构光圆钢在线测量系统的精度为目的,分析了测量系统中双光面位置变化给测量结果带来的误差,由于机械调整精度低,提出利用交比不变原理对光面位置进行调整,解决了机械调整精度低的问题,减少了由两光面之间存在夹角而产生的测... 以提高双结构光圆钢在线测量系统的精度为目的,分析了测量系统中双光面位置变化给测量结果带来的误差,由于机械调整精度低,提出利用交比不变原理对光面位置进行调整,解决了机械调整精度低的问题,减少了由两光面之间存在夹角而产生的测量误差。搭建了包含光面调整与传感器标定的实验平台。该系统重复测量精度在0.1 mm以内,测量相对误差小于0.10%。交比不变光面调整方法与机械光面调整方法相比,测量结果精度提高了0.082 mm,证明了实验方法的可行性。 展开更多
关键词 结构光 标定 交比不变 圆钢测量
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相邻孔壁和小盲孔测量系统的研究 被引量:2
13
作者 郭辉 周兴林 +2 位作者 刘书桂 孙长库 郑义忠 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z2期185-187,共3页
提出了一种应用电容传感器对两个微小孔间相邻孔壁进行精密测量的系统。基于非接触式电容测孔传感器的基本原理,研究了电容测头的电场边缘效应的影响及保护环的宽度选择,设计了电容瞄准测孔传感器的测头用于对相邻小孔的中心进行瞄准定... 提出了一种应用电容传感器对两个微小孔间相邻孔壁进行精密测量的系统。基于非接触式电容测孔传感器的基本原理,研究了电容测头的电场边缘效应的影响及保护环的宽度选择,设计了电容瞄准测孔传感器的测头用于对相邻小孔的中心进行瞄准定位;设计了测量孔壁的电容差动测厚传感器。由一个瞄准测孔传感器和两个差动测厚传感器及三通道测量电路组成的系统,再配以RS232接口可直接与计算相连,采用LAB虚拟软件,经数据处理直接显示孔的大小和两孔间的壁厚。此系统不仅可对相邻小盲孔或通孔的壁厚进行测量,同时可测量小孔的任意截面的尺寸及形状误差。由于属于非接触测量,有无需进行测头及工件变形误差修正的优点。瞄准测头在现有微加工的技术下可以做的很小。此系统测量精度高,操作方便,测量速度较快,应用前景广阔。 展开更多
关键词 电容传感器 非接触测量 微小盲孔
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基于旋转平面激光扫描测角的新型坐标测量系统 被引量:4
14
作者 劳达宝 杨学友 +1 位作者 邾继贵 叶声华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第12期99-101,104,共4页
为了满足现代制造业中超大尺寸测量高效高精度的要求,以空间角度交汇测量原理为基础,提出了一种新的三维坐标测量系统。介绍了该系统的测量原理,分析了系统的几何模型。结合测量原理和结构对系统精度的影响,对系统的重要部件进行了结构... 为了满足现代制造业中超大尺寸测量高效高精度的要求,以空间角度交汇测量原理为基础,提出了一种新的三维坐标测量系统。介绍了该系统的测量原理,分析了系统的几何模型。结合测量原理和结构对系统精度的影响,对系统的重要部件进行了结构设计分析,完成整个系统的设计。最后通过实验数据验证该系统的可行性,该系统在6m的测量距离精度可达±0.15mm。 展开更多
关键词 工作空间测量定位系统 空间角度测量 三维坐标测量 结构设计
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工作空间测量定位系统加权问题研究 被引量:3
15
作者 任永杰 薛彬 +2 位作者 杨凌辉 赵子越 邾继贵 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第2期668-672,共5页
工作空间测量定位系统(workspace Measuring and Positioning System,简称w MPS)是一种基于旋转激光扫描平面定位技术的室内大尺寸定位系统。它可实现计量精度的三维坐标测量,主要应用于制造加工及装配领域。作为一种分布式系统,工作空... 工作空间测量定位系统(workspace Measuring and Positioning System,简称w MPS)是一种基于旋转激光扫描平面定位技术的室内大尺寸定位系统。它可实现计量精度的三维坐标测量,主要应用于制造加工及装配领域。作为一种分布式系统,工作空间测量定位系统也存在着为不同测量节点分配权重的问题。考虑到在定位过程中误差的复杂性,提出一种根据不同测量区域,利用统计数据对不同测量节点动态分配权重的分权方法。为验证此方法,设计了对比实验,实验结果表明:文中提出的加权方法可显著提高工作空间测量定位系统的测量精度。 展开更多
关键词 工作空间测量定位系统 动态加权 解算方法
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大气湿度对AFM针尖氧化加工金属Ti膜的影响 被引量:3
16
作者 匡登峰 刘庆纲 +2 位作者 郭维廉 张世林 胡小唐 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2004年第3期234-236,共3页
AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。通过大量实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进... AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。通过大量实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好湿度范围为30%~50%。 展开更多
关键词 AFM针尖诱导阳极氧化 Ti氧化线 大气湿度
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石英挠性加速度计的压膜阻尼分析 被引量:3
17
作者 王错 李醒飞 董九志 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2016年第2期218-224,共7页
石英挠性加速度计是导航与制导系统中常用的一种惯性元件,其表头阻尼影响加速度计的动态性能但相关研究却鲜有报道,基于此提出一种适用于石英挠性加速度计的压膜阻尼分析方法。根据石英摆片的形状和转动规律建立雷诺方程,采用时域有限... 石英挠性加速度计是导航与制导系统中常用的一种惯性元件,其表头阻尼影响加速度计的动态性能但相关研究却鲜有报道,基于此提出一种适用于石英挠性加速度计的压膜阻尼分析方法。根据石英摆片的形状和转动规律建立雷诺方程,采用时域有限差分方法在摆片上的非规则区域内求解压强分布和阻尼力矩,进而得到阻尼系数为1.69×10-4Nms/rad,对应阻尼比为12.75。计算阻尼比与系统参数辨识实验得到的阻尼比11.57相近,证明提出的压膜阻尼分析方法有效可行,该方法可以为石英挠性加速度计及类似惯性传感器中的阻尼分析与设计提供指导。 展开更多
关键词 石英挠性加速度计 压膜阻尼 雷诺方程 时域有限差分
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工作空间测量定位系统最佳测量点的确定方法 被引量:3
18
作者 薛彬 邾继贵 郑迎亚 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第4期1218-1222,共5页
工作空间测量定位系统(workspace Measuring and Positioning System,w MPS)是一种基于旋转激光扫描平面交会的室内大尺寸定位系统。它可实现计量精度的三维坐标测量,主要应用于制造加工及装配领域的测量和检测任务。作为一种大尺寸的... 工作空间测量定位系统(workspace Measuring and Positioning System,w MPS)是一种基于旋转激光扫描平面交会的室内大尺寸定位系统。它可实现计量精度的三维坐标测量,主要应用于制造加工及装配领域的测量和检测任务。作为一种大尺寸的测量系统,与中小尺寸测量系统相比,它的测量空间与测量精度的矛盾更加突出。如何寻找此系统所覆盖测量空间内精度最高的一个点或者以此点为中心的一个区域是一个非常重要而且有意义的问题。从该测量系统的测量原理出发,与传统经纬仪相对比,给出一种利用解算方程系数矩阵的条件数作为评价空间交会优劣的评价模型,继而引入粒子群算法来求解测量空间内的最佳测量点,实验结果表明:评价模型和对应的求解方法是正确的,也是有效的,利用此方法得到的测量点为中心的区域坐标不确定度最小,而且此方法为今后的发射站布局问题的研究打下了有益的基础。 展开更多
关键词 工作空间测量定位系统 最佳测量点 条件数 粒子群算法
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用于纳米光电子器件加工的纳米金属膜的制作 被引量:1
19
作者 王战 刘庆纲 +3 位作者 匡登峰 米文博 白海力 胡小唐 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期563-565,共3页
在利用 Top- Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中 ,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节。采用金属 Ti- SOS结构的纳米器件 ,Ti膜的厚度和成膜质量成为影响基于 AFM针尖诱导氧化加工 Ti纳米氧化线 /电路图形结构质... 在利用 Top- Down方式加工纳米电子器件和纳米光电子器件的研究中 ,纳米薄膜的制作和加工技术是一个关键环节。采用金属 Ti- SOS结构的纳米器件 ,Ti膜的厚度和成膜质量成为影响基于 AFM针尖诱导氧化加工 Ti纳米氧化线 /电路图形结构质量的重要因素。文中叙述了 Ti膜的制备和检测方法 ,给出了纳米 展开更多
关键词 纳米器件 AFM针尖诱导氧化 Ti膜
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脉冲时间对AFM阳极诱导氧化加工的影响 被引量:1
20
作者 李敏 刘庆纲 +4 位作者 匡登峰 郭维廉 张世林 张珊 胡小唐 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2006年第1期79-82,共4页
通过改变AFM阳极诱导氧化加工点结构时的偏压和脉冲时间,发现氧化点高度和宽度与所施加偏压呈对数关系,并且发现氧化点高度与宽度与脉冲时间呈指数关系.同时,在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,研究... 通过改变AFM阳极诱导氧化加工点结构时的偏压和脉冲时间,发现氧化点高度和宽度与所施加偏压呈对数关系,并且发现氧化点高度与宽度与脉冲时间呈指数关系.同时,在环境温度和氧气浓度保持不变的条件下通过改变加工中的相对大气湿度,研究了大气湿度对所加工氧化点结构的高度和宽度的影响,即氧化点的高度和宽度都随着相对湿度的增加而增加。通过实验,发现扫描速率为1μm/s、所施加偏压为7 V、脉冲时间为1 s、相对湿度为40%左右时所加工结构较为理想. 展开更多
关键词 AFM阳极氧化 脉冲时间 偏压
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